SiSiC Wafer လှေ

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် ဆိုလာဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ ပြိုင်ဆိုင်မှုအခင်းအကျင်းတွင်၊ အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကြာရှည်မှုနှင့် ဖြတ်သန်းစီးဆင်းမှုကို ဟန်ချက်ညီအောင်ထိန်းညှိရန်မှာ မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ ကျွန်တော်တို့ရဲ့SiSiC Wafer Boat ကို အပူချိန်မြင့်သည့် မီးဖိုလုပ်ငန်းများအတွက် "စက်မှုလုပ်သားမြင်းများ" အဖြစ် ဖန်တီးထားပါသည်။ တုံ့ပြန်မှု-ပေါင်းစပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့်၊ ရိုးရာ quartz နှင့် standard ceramics များထက် သာလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်တို့ကို ပေးဆောင်သည့် သယ်ဆောင်မှုကို ပေးဆောင်ပါသည်။

SiSiC ၏ သိပ္ပံပညာ- တုံ့ပြန်မှုနှောင်ကြိုးက ဘာကြောင့် အရေးကြီးတာလဲ။

sintered SiC နှင့်မတူဘဲ၊ ဖိအားမြင့်အမှုန့်များစုစည်းမှုဖြင့်ဖွဲ့စည်းသည်၊SiSiC Wafer လှေ သွန်းသောဆီလီကွန်ဖြင့် ကာဗွန်အကြိုပုံစံကို စိမ့်ဝင်ခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သည်။ ဤ "Reaction Bonding" လုပ်ငန်းစဉ်သည် ထုတ်လုပ်မှုကာလအတွင်း သုညနီးပါးကျုံ့သွားသည့်ပစ္စည်းကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ရှုပ်ထွေးပြီး ကြီးမားသောလှေဗိသုကာလက်ရာများကို မယုံနိုင်လောက်အောင် တိကျပြတ်သားစွာ ထုတ်လုပ်နိုင်စေသည်။

1. သာလွန်သော အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အစုလိုက်လုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် အရေးကြီးဆုံးစိန်ခေါ်မှုများထဲမှတစ်ခုမှာ မီးဖို၏ လျင်မြန်သော "တွန်းဆွဲခြင်း" သံသရာဖြစ်သည်။ Quartz သယ်ဆောင်သူများသည် အပူဒဏ်ကြောင့် ကွဲတတ်သည် ။ SiSiC တွင် သိသိသာသာ ပိုမိုမြင့်မားသော ကွဲအက်ခြင်း (MOR) နှင့် လွန်ကဲသော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းရှိသည်။ ၎င်းသည် ကျွန်ုပ်တို့၏လှေများသည် အရှိန်အဟုန်ဖြင့် အရှိန်မြှင့်တက်လာခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး စက်ပစ္စည်းစက်ရပ်ချိန်နည်းခြင်းသို့ တိုက်ရိုက်ဘာသာပြန်ကာ တည်ဆောက်မှုချို့ယွင်းမှုအန္တရာယ်မှ ကင်းဝေးစေသည်။

2. အပူချိန်တွင် Load-Bearing Capacity မြင့်မားသည်။

wafer အရွယ်အစားများ တိုးလာကာ အစီအစဥ်များ ပိုကြီးလာသည်နှင့်အမျှ carrier ပေါ်ရှိ အလေးချိန် တိုးလာသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiSiC လှေများသည် ထူးခြားသော တွားသွားခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ အခြားပစ္စည်းများသည် 1,250°C တွင် လေးလံသောဝန်များအောက်တွင် တိမ်းစောင်းသွားတတ်သော်လည်း SiSiC သည် ၎င်း၏ဂျီသြမေတြီကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး wafer slot parallelism သည် ထောင်ပေါင်းများစွာသော လည်ပတ်မှုတစ်လျှောက်တွင် ပြီးပြည့်စုံကြောင်း သေချာစေသည်။

3. Chemical Inertness နှင့် Surface Integrity

ကျွန်ုပ်တို့၏ SiSiC လှေများသည် ပြင်းထန်သောဓာတုပတ်ဝန်းကျင်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ပစ္စည်းသည် LPCVD နှင့် Diffusion လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသော အဆိပ်သင့်ဓာတ်ငွေ့များကို မူလအတိုင်း ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ထို့အပြင်၊ သင်၏ wafers များ၏ လျှပ်စစ်ကြံ့ခိုင်မှုကို ကာကွယ်ပေးသည့် တည်ငြိမ်ပြီး သန့်ရှင်းသော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းသည့် "အခမဲ့ ဆီလီကွန်" ရွှေ့ပြောင်းခြင်း မရှိစေရန် မျက်နှာပြင်ကို ပြုပြင်ထားသည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာ သတ်မှတ်ချက်များ- SiSiC စွမ်းဆောင်ရည် မက်ထရစ်

Global Manufacturing Standards အတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ SiSiC Wafer Boat သည် TEL (Tokyo Electron)၊ ASM နှင့် Kokusai Electric အပါအဝင် ကမ္ဘာ့ထိပ်တန်း မီးဖို OEM များနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် စိတ်ကြိုက်ဖြေရှင်းနည်းများကို ပေးဆောင်သည်-

အလျားလိုက်ပျံ့သည့်မီးဖိုများ- 150mm နှင့် 200mm wafers အတွက် တိကျသောအပေါက်များပါရှိသော အရှည်လှေများ။

ဒေါင်လိုက်မီးဖိုစနစ်များ- ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုနှင့် အပူပိုင်းတူညီမှုကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ထုထည်နည်းသော ဒီဇိုင်းများ။

နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်သုံး PV Cell ထုတ်လုပ်မှု- အထူးပြု SiSiC သယ်ဆောင်သူများသည် ပမာဏမြင့်မားသော POCl3 ပျံ့နှံ့မှုအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး၊ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းသည် quartz ထက် 5-10x ပိုရှည်သည်။

ကျွမ်းကျင်သော ထိုးထွင်းသိမြင်မှု- 1,380°C ကျော်လွန်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ Sintered SiC လိုင်းကို အကြံပြုပါသည်။ သို့သော်၊ Diffusion၊ Oxidation နှင့် LPCVD အဆင့်အများစုအတွက် SiSiC သည် စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ကုန်ကျစရိတ်အထိရောက်ဆုံး စွမ်းဆောင်ရည်မှ သက်တမ်းအချိုးကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။

အဘယ်ကြောင့်ကျွန်ုပ်တို့နှင့်ပူးပေါင်းပါသနည်း။

ပစ္စည်းကျွမ်းကျင်မှု- ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏တုံ့ပြန်မှုနှောင်ကြိုးဖြစ်စဉ်အတွက် သန့်စင်မှုမြင့်မားသော alpha-SiC အမှုန့်နှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့် ဆီလီကွန်များကိုသာ အရင်းအမြစ်အဖြစ် ထုတ်ပေးပါသည်။

တိကျသောအင်ဂျင်နီယာ- ကျွန်ုပ်တို့၏ CNC ကြိတ်ခွဲနိုင်စွမ်းသည် ± 0.02 မီလီမီတာအတွင်း အထိုင်ခံနိုင်ရည်အား ခွင့်ပြုပေးပြီး wafer တုန်ခါမှုနှင့် ကွဲအက်မှုကို လျှော့ချပေးသည်။

ရေရှည်တည်တံ့မှုနှင့် ROI- quartz မှ SiSiC သို့ပြောင်းခြင်းဖြင့် Fabs များသည် ပုံမှန်အားဖြင့် အစားထိုးအကြိမ်ရေ သိသိသာသာလျော့နည်းသွားခြင်းကြောင့် နှစ်စဉ်စားသုံးနိုင်သောအသုံးစရိတ်တွင် 40% လျော့ကျသွားသည်ကို တွေ့ရပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ သင်္ဘောတိုင်းတွင် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေသော လက်မှတ် (CoC) နှင့် ပြည့်စုံသော ဘက်ပေါင်းစုံ စစ်ဆေးရေး အစီရင်ခံစာနှင့်အတူ သင်၏ လုပ်ငန်းစဉ် အစုံသည် သန့်စင်ခန်းသို့ ချက်ချင်း တပ်ဆင်ရန်အတွက် အဆင်သင့် ဖြစ်သည်ကို သေချာစေပါသည်။