Focus ring သို့မဟုတ် edge rings များသည် wafer edge သို့မဟုတ် perimeter တစ်ဝိုက်ရှိ ထုထည်တူညီမှုကို တိုးတက်စေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။
Semicorex focus rings များသည် chemical vapor deposition (CVD) ကို အသုံးပြု၍ သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး၊ တသမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှုအတွက် အပူပိုင်းတူညီမှု၊ နှင့် ကြာရှည်ခံသော ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ပလာစမာ etching သို့မဟုတ် ခြောက်သွေ့သော etching လုပ်ငန်းစဉ်တွင် လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားသည်။ .
Semicorex တာရှည်ခံ အာရုံစူးစိုက်ကွင်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာလုပ်ဆောင်ရာတွင်အသုံးပြုသည့် ပလာစမာအတက်အဆင်းအခန်းများ၏ လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ focus rings များကို သန့်ရှင်းလတ်ဆတ်သော ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး ထူထပ်ကာ ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။ SiC coating သည် မြင့်မားသော သံချေးတက်ခြင်းနှင့် အပူခံနိုင်ရည်ရှိသော ဂုဏ်သတ္တိများအပြင် လွန်စွာကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှုပါရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ focus rings များ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးတက်စေရန်အတွက် ဓာတုငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြု၍ ဂရပ်ဖိုက်ပေါ်တွင် SiC ကို အလွှာပါးလွှာသောအလွှာများတွင် အသုံးချပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Plasma processing focus ring သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ပလာစမာအတက်အဆင်းပြုလုပ်ခြင်း၏ မြင့်မားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ အဆင့်မြင့်၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော Silicon Carbide Coated Components များသည် အလွန်အမင်း ပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားပြီး ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy semiconductors အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex အဆင့်မြင့်၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော SiC Focus Rings များသည် ပလာစမာ etch (သို့မဟုတ် dry etch) အခန်းများရှိ ပြင်းထန်သောပတ်ဝန်းကျင်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းများကို အာရုံစိုက်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်စျေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။