ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ထုတ်လုပ်သည့်အနေဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် သင့်အား Semiconductor အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးလိုပါသည်။ Semicorex သည် semiconductor processing တွင် ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် သင်၏လုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာများသည် အလွန်သိပ်သည်းပြီး အပူချိန်မြင့်မားပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer နှင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းတစ်ခုလုံးတွင် မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိပါသည်။
သန့်စင်မှုမြင့်မားသော SiC coated အစိတ်အပိုင်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာရှိ လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အရေးကြီးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကမ်းလှမ်းချက်သည် ကြည်လင်ကြီးထွားလာနေသော အပူပိုင်းဇုန်များအတွက် ဂရပ်ဖိုက်စားသုံးနိုင်သောပစ္စည်းများမှသည် Epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD အတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံစုပ်ကိရိယာများကဲ့သို့သော wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တိကျမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများအထိ ပါဝင်သည်။
semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အားသာချက်များ
epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD ကဲ့သို့သော ပါးလွှာသော ဖလင် စုဆောင်းခြင်း အဆင့်များ၊ သို့မဟုတ် etching သို့မဟုတ် ion implant ကဲ့သို့သော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။ Semicorex သည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်တည်ဆောက်မှုတွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်အား ပံ့ပိုးပေးသည်၊၊ တသမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်အတွက် အပူတူညီမှုပင်။
Chamber Lids →
ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသည့် Chamber Lids များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။
End Effector →
End effector သည် wafer processing equipment နှင့် carriers များကြားရှိ semiconductor wafer များကို ရွေ့လျားပေးသည့် စက်ရုပ်၏လက်ဖြစ်သည်။
Inlet Rings →
MOCVD စက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသော SiC ဓာတ်ငွေ့အဝင်အဝိုင်းသည် မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်မှုရှိသည်။
အာရုံစူးစိုက်ကွင်း →
Semicorex သည် Silicon Carbide Coated focus ring သည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုသန့်ရှင်းရေးအတွက် အမှန်တကယ်တည်ငြိမ်သည်။
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks သည် wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဖြစ်သည်။
Semicorex SiC Coating Heater ၏ CVD SiC coating သည် Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) နှင့် Epitaxial Growth ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကြုံတွေ့ရလေ့ရှိသော ကြမ်းတမ်းသော၊ အဆိပ်သင့်ခြင်းနှင့် ဓာတ်ပြုနိုင်သော ပတ်ဝန်းကျင်များမှ အပူဒြပ်စင်များကို ကာကွယ်ရာတွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းပါသည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးပန်းကန် သို့မဟုတ် ဓာတ်ငွေ့ရေချိုးခေါင်းဟု လူသိများသော Metallic Shower ဦးခေါင်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးပြုသည့် အရေးပါသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ပစ္စည်းများကို လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် တစ်ပြေးညီ ထိတွေ့မှုရှိစေရန် ဓာတ်ငွေ့များကို ဓါတ်ပြုခန်းတစ်ခုသို့ အညီအမျှ ဖြန့်ဖြူးပေးရန် ဖြစ်သည်။ ဓာတ်ငွေ့။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex မှ MOCVD အပူပေးစက်သည် ထူးထူးခြားခြား ဓာတုသန့်စင်မှု၊ အပူထိရောက်မှု၊ လျှပ်စစ်စီးကူးမှု၊ ထုတ်လွှတ်မှုမြင့်မားမှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ ဓာတ်မတည့်မှု နှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားတို့အပါအဝင် အကျိုးကျေးဇူးများစွာကို ပေးဆောင်သည့် အလွန်အဆင့်မြင့်ပြီး စေ့စေ့စပ်စပ် အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။