ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ထုတ်လုပ်သည့်အနေဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် သင့်အား Semiconductor အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးလိုပါသည်။ Semicorex သည် semiconductor processing တွင် ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် သင်၏လုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာများသည် အလွန်သိပ်သည်းပြီး အပူချိန်မြင့်မားပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer နှင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းတစ်ခုလုံးတွင် မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိပါသည်။
သန့်စင်မှုမြင့်မားသော SiC coated အစိတ်အပိုင်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာရှိ လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အရေးကြီးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကမ်းလှမ်းချက်သည် ကြည်လင်ကြီးထွားလာနေသော အပူပိုင်းဇုန်များအတွက် ဂရပ်ဖိုက်စားသုံးနိုင်သောပစ္စည်းများမှသည် Epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD အတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံစုပ်ကိရိယာများကဲ့သို့သော wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တိကျမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများအထိ ပါဝင်သည်။
semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အားသာချက်များ
epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD ကဲ့သို့သော ပါးလွှာသော ဖလင် စုဆောင်းခြင်း အဆင့်များ၊ သို့မဟုတ် etching သို့မဟုတ် ion implant ကဲ့သို့သော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။ Semicorex သည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်တည်ဆောက်မှုတွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်အား ပံ့ပိုးပေးသည်၊၊ တသမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်အတွက် အပူတူညီမှုပင်။
Chamber Lids →
ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသည့် Chamber Lids များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။
End Effector →
End effector သည် wafer processing equipment နှင့် carriers များကြားရှိ semiconductor wafer များကို ရွေ့လျားပေးသည့် စက်ရုပ်၏လက်ဖြစ်သည်။
Inlet Rings →
MOCVD စက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသော SiC ဓာတ်ငွေ့အဝင်အဝိုင်းသည် မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်မှုရှိသည်။
အာရုံစူးစိုက်ကွင်း →
Semicorex သည် Silicon Carbide Coated focus ring သည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုသန့်ရှင်းရေးအတွက် အမှန်တကယ်တည်ငြိမ်သည်။
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks သည် wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဖြစ်သည်။
Semicorex Half Moon အစိတ်အပိုင်းများသည် LPE ပုံစံ epitaxial ကြီးထွားမှုအခန်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော တိကျသောအင်ဂျင်ဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်နှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖုံးဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများသည် အပူတူညီညီမှုကို ထိန်းသိမ်းထားရန်၊ ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု တည်ငြိမ်မှုနှင့် သန့်ရှင်းမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုသည့် အပူချိန်မြင့်သော epitaxial deposition လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ Semicorex သည် ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ အဆင့်မြင့် epitaxial processing စနစ်များအတွက် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးသည့် LPE အခန်းဖွဲ့စည်းပုံများနှင့် လိုက်ဖက်သော စိတ်ကြိုက်ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်ရာတွင် အထူးပြုပါသည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Horizontal Furnace Tube သည် semiconductor diffusion၊ oxidation, annealing, and thermal treatment systems အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အဆင့်မြင့် အပူချိန်မြင့် လုပ်ငန်းစဉ် အစိတ်အပိုင်းများ ဖြစ်သည်။ Semicorex သည် ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ သုံးစွဲသူများထံ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် SiC Horizontal Furnace Tubes များကို ပံ့ပိုးပေးကာ၊ အပူချိန်မြင့်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုင်ရာ စက်ကိရိယာများနှင့် အဆင့်မြင့် wafer ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအဆင့် ကြွေထည်ဖြေရှင်းချက်များအား ပေးအပ်သည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ထွင်းထုခြင်းအတွက် Semicorex poly-Si အပြင်ဘက်ကွင်းများသည် ပိုလီ-ဆီလီကွန်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော တိကျစွာပြုပြင်ထားသော လက်စွပ်အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ အဆင့်မြင့် etching ကိရိယာများ၏ လျှပ်ကူးပစ္စည်းစနစ်များအတွက် အထူး အင်ဂျင်နီယာချုပ်ဖြင့် ထွင်းထုခြင်းအတွက် Semicorex poly-Si အပြင်ဘက်ကွင်းများသည် etching လုပ်ငန်းစဉ်၏ တည်ငြိမ်မှုကို ထိရောက်စွာ အာမခံနိုင်ပါသည်။ Semicorex ကိုရွေးချယ်ခြင်းသည် wafer အထွက်နှုန်းနှင့် လည်ပတ်မှုထိရောက်မှုကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်သော etching အတွက် အရည်အသွေးမြင့် poly-Si အပြင်ဘက်ကွင်းများကို သင်ရရှိမည်ဖြစ်သည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex silicon ကွေးလျှပ်ကူးပစ္စည်းသည် တိကျမှုမြင့်မားသော semiconductor etching လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အထက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် etch gas channels နှစ်ခုလုံးအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ဆီလီကွန် အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ Semicorex silicon အကွေးလျှပ်ကူးပစ္စည်းများသည် အဆင့်မြင့်ထုပ်ပိုးမှုဆိုင်ရာပစ္စည်းများ (TSV၊ WLCSP) နှင့် 3D-structured wafers အတွက် etching equipment တွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုထားသည့် etching energy field ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် အကောင်းဆုံးဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex poly-Si slotted rings များသည် သန့်စင်မြင့် polycrystalline silicon မှ ဖန်တီးထုတ်လုပ်ထားသော မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော လက်စွပ်များဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့ကို ဓာတ်ပြုခန်းအတွင်း ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုကို တိကျစွာ ချိန်ညှိရန်နှင့် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရန် တိကျသော မြင့်မားသော semiconductor etching equipment တွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးပြုထားသည်။ Semicorex ကိုရွေးချယ်ခြင်းဖြင့်၊ ယုံကြည်စိတ်ချရသောအရည်အသွေး၊ ချက်ခြင်းပေးပို့ခြင်းနှင့် တွေးခေါ်မြော်မြင်သောဝန်ဆောင်မှုအတွက် စံပြဆီလီကွန်ဖြေရှင်းချက်များကို သင်ရရှိမည်ဖြစ်သည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Diffusion Tubes များသည် တိကျသောအပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုနှင့် တည်ငြိမ်သောလုပ်ဆောင်မှုပတ်ဝန်းကျင်များကိုလုပ်ဆောင်ပေးသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပျံ့နှံ့မှုစနစ်များတွင် core reaction chamber အဖြစ်ဆောင်ရွက်သော သန့်စင်မြင့်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အခေါင်းပေါက်အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ Semicorex သည် ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ သုံးစွဲသူများအတွက် အဆင့်မြင့် SiC diffusion tube solutions များကို ပေးဆောင်ထားပြီး စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သော ဒီဇိုင်းများ၊ တိကျသောထုတ်လုပ်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ထောက်ပံ့မှုများကို ပေးဆောင်ပါသည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။