SiC coating သည် chemical vapor deposition (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် susceptor ပေါ်သို့ ပါးလွှာသောအလွှာဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းသည် ပြိုကွဲနေသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအား 10 ဆ၊ အပူချိန်နှင့် ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိသောပစ္စည်းကိုပေးဆောင်သည့် တီးဝိုင်းကွာဟမှု 3x အပါအဝင်၊ ဆီလီကွန်ထက် အားသာချက်များစွာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ပိုမိုကြာရှည်ခံသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်စေရန်၊ လည်ပတ်ချိန်များကို လျှော့ချပေးပြီး အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်စေပါသည်။
SiC coating တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များစွာရှိသည်။
မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု- CVD SiC coated susceptor သည် သိသာထင်ရှားသောအပူရှိန်ပြိုကွဲခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန် 1600°C အထိခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဓာတုခံနိုင်ရည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များအပါအဝင် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
Wear Resistance- SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ပြင်းထန်စွာ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်း ပါ၀င်သည့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
Thermal Conductivity- CVD SiC coating သည် ပစ္စည်းအား မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှု လိုအပ်သော အပူချိန်မြင့်သော application များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် မာကျောမှု- ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor သည် မြင့်မားသော ခိုင်ခံ့မှုနှင့် မာကျောမှုရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားလိုအပ်သော အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
SiC coating ကို အမျိုးမျိုးသော application များတွင် အသုံးပြုသည်။
LED ထုတ်လုပ်မှု- CVD SiC coated susceptor ကို အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV LED အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဖြစ်သည်။
မိုဘိုင်းဆက်သွယ်ရေး- CVD SiC coated susceptor သည် GaN-on-SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန် HEMT ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Semiconductor Processing- CVD SiC coated susceptor ကို wafer processing နှင့် epitaxial growth အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များအတွက် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုပါသည်။
SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ
Silicon Carbide Coating (SiC) graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် coating ကို CVD method ဖြင့် high density graphite grades များတွင် အသုံးပြုထားသောကြောင့် အပူချိန် 3000°C အထက်ရှိသော မီးဖိုထဲတွင် လည်ပတ်နိုင်ပြီး လေဟာနယ်တွင် 2200°C ရှိပါသည် .
ပစ္စည်း၏ အထူးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် သေးငယ်သောထုထည်သည် လျင်မြန်သော အပူနှုန်းများ၊ တူညီသော အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုကို ခွင့်ပြုပေးပါသည်။
Semicorex SiC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ရိုးရိုးဂုဏ်သတ္တိ |
ယူနစ် |
တန်ဖိုးများ |
ဖွဲ့စည်းပုံ |
|
FCC β အဆင့် |
တိမ်းညွှတ်မှု |
အပိုင်း (%) |
111 နှစ်ခြိုက်သည်။ |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု |
g/cm³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
အပူစွမ်းရည် |
J kg-1 K-1 |
640 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
နိဂုံး CVD SiC coated susceptor သည် susceptor နှင့် silicon carbide တို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ နှင့် မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု အပါအဝင် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုပြုပြင်ခြင်း၊ အပူကုသခြင်း၊ ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် LED ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
Semicorex SiC Coating Component သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် အဓိကကျသော SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်၏ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော မရှိမဖြစ်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ပုံဆောင်ခဲများအတွက် ကြီးထွားမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရာတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပြီး နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်၏ အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို သိသိသာသာ ပံ့ပိုးပေးပါသည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex LPE Part သည် SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော SiC-coated အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အပူချိန်မြင့်မားပြီး ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ထိရောက်သောလည်ပတ်မှုသေချာစေရန် ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် ဓာတုခံနိုင်ရည်တို့ကို ပေးဆောင်သည်။ Semicorex ထုတ်ကုန်များကို ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့်၊ SiC epitaxy ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်နှင့် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို မြှင့်တင်ပေးသည့် မြင့်မားသောတိကျမှု၊ ကြာရှည်ခံသည့် စိတ်ကြိုက်ဖြေရှင်းချက်များမှ အကျိုးကျေးဇူးရရှိမည်ဖြစ်သည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Coating Flat Susceptor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် တိကျသော epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အလွှာကိုင်ဆောင်သူဖြစ်သည်။ သင်၏ CVD လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ထိရောက်မှုနှင့် တိကျမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော၊ တာရှည်ခံပြီး အရည်အသွေးမြင့် susceptors အတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Coating Pancake Susceptor သည် MOCVD စနစ်များတွင် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး epitaxial အလွှာကြီးထွားမှုအတွင်း အကောင်းဆုံးသော အပူဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် တာရှည်ခံမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ထူးခြားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းပေးမည့် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအရည်အသွေး၊ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် သက်တမ်းတိုးဝန်ဆောင်မှုပေးသည့် ၎င်း၏တိကျသောအင်ဂျင်နီယာထုတ်ကုန်များအတွက် Semicorex ကိုရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex RTP Ring သည် Rapid Thermal Processing (RTP) စနစ်များတွင် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော အပလီကေးရှင်းများအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော SiC-coated ဂရပ်ဖိုက်လက်စွပ်ဖြစ်သည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် သာလွန်သောကြာရှည်ခံမှု၊ တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့ကို သေချာစေသည့် ကျွန်ုပ်တို့၏အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းနည်းပညာအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။SiC coating ပါရှိသော Semicorex Epitaxial Susceptor သည် epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်အတွင်း SiC wafers များကို ထောက်ပံ့ပေးနိုင်ပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုတွင် တိကျမှုနှင့် တူညီမှုရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ အဆင့်မြင့် semiconductor အပလီကေးရှင်းများ၏ ပြင်းထန်သော တောင်းဆိုမှုများနှင့် ကိုက်ညီသည့် ၎င်း၏ အရည်အသွေးမြင့်၊ တာရှည်ခံပြီး စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သော ထုတ်ကုန်များအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။