TaC coating graphite ကို မူပိုင် ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာဖြင့် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို ဖုံးအုပ်ခြင်းဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။
Tantalum carbide (TaC) သည် တန်တလမ် နှင့် ကာဗွန်တို့ ပါဝင်သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် သတ္တုလျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် အရည်ပျော်မှတ် အထူးမြင့်မားသောကြောင့် ၎င်းကို ခိုင်ခံ့မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်နှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့အတွက် လူသိများသော သတ္တုဓာတ်သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်လာသည်။ Tantalum Carbides ၏ အရည်ပျော်မှတ်သည် သန့်ရှင်းမှုပေါ်မူတည်၍ 3880°C ခန့်တွင် အမြင့်ဆုံးဖြစ်ပြီး ဒွိဒြပ်ပေါင်းများကြားတွင် အမြင့်ဆုံး အရည်ပျော်မှတ်တစ်ခုရှိသည်။ MOCVD နှင့် LPE ကဲ့သို့သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အပူချိန်မြင့်မားသော လိုအပ်ချက်များသည် စွမ်းဆောင်ရည်ထက် ကျော်လွန်သောအခါ ၎င်းသည် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အခြားရွေးချယ်စရာတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။
Semicorex TaC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ပရောဂျက်များ |
ကန့်သတ်ချက်များ |
သိပ်သည်းမှု |
14.3 (gm/cm³) |
အငွေ့ပျံမှု |
0.3 |
CTE (×၁၀စာ-၆/K) |
6.3 |
မာကျောမှု (HK) |
2000 |
ခုခံမှု (Ohm-cm) |
1×10စာ-၅ |
အပူတည်ငြိမ်မှု |
<2500 ℃ |
Graphite Dimension ပြောင်းလဲခြင်း။ |
-10~-20um (ရည်ညွှန်းတန်ဖိုး) |
အပေါ်ယံအထူ |
≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
|
|
အထက်ဖော်ပြပါများသည် ပုံမှန်တန်ဖိုးများဖြစ်သည်။ |
|
Semicorex CVD Caber ကိုင်ဆောင်သူသည် Semiconductor Eargaxy ဖြစ်စဉ်များတွင်တိကျမှုနှင့်ကြာရှည်ခံမှုအတွက်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသော Tantalum carbide အပေါ်ယံပိုင်းနှင့်အတူစွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောအစိတ်အပိုင်းဖြစ်သည်။ သင်၏ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကိုမြှင့်တင်ရန်နှင့်လျှောက်လွှာတိုင်းတွင်သာလွန်သောအရည်အသွေးမြင့်မားသောအရည်အသွေးမြင့်မားမှုအတွက် semicorex ကိုရွေးချယ်ပါ။ *
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TAC အပေါ်ယံပိုင်းသည်လဝက်ပတ် 0 တ်ဆိုသော 0 တ် 0 င်မှုတွင်အသုံးပြုသောစွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ မတူနိုင်သည့်အရည်အသွေး, တိကျသောအင်ဂျင်နီယာများအတွက် semicorex ကိုရွေးချယ်ပါ။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။LPE အတွက် Semicorex Halfmoon Part သည် SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နေသည့် LPE ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် TaC-coated ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဝယ်လိုအားရှိသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်အတွက် အကောင်းဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုသေချာစေသည့် ၎င်း၏အရည်အသွေးမြင့်၊ တာရှည်ခံအစိတ်အပိုင်းများအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Plate သည် SiC epitaxy ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော TaC-coated ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ သင်၏တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကို အကောင်းဆုံးဖြစ်စေသော ယုံကြည်စိတ်ချရသော အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများကို ထုတ်လုပ်ရာတွင် ၎င်း၏ကျွမ်းကျင်မှုအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coated Graphite Part သည် SiC crystal ကြီးထွားမှုနှင့် epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး တာရှည်ခံ Tantalum Carbide coating ဖြင့် အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် ဓာတုဒဏ်ခံနိုင်ရည်ကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။ Semicorex သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆန်းသစ်သောဖြေရှင်းချက်၊ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ လိုအပ်ချက်များနှင့်အညီ အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်သော ယုံကြည်စိတ်ချရသော၊ ကြာရှည်ခံသောအစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် ကျွမ်းကျင်မှုတို့ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coated Graphite Chuck သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် တိကျသော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် အပူချိန်မြင့်မားသောလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအက်ပလီကေးရှင်းများတောင်းဆိုရာတွင် အကောင်းဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကိုသေချာစေသည့် ၎င်း၏ဆန်းသစ်သော၊ တာရှည်ခံထုတ်ကုန်များအတွက် Semicorex ကိုရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။