TaC coating graphite ကို မူပိုင် ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာဖြင့် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို ဖုံးအုပ်ခြင်းဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။
Tantalum carbide (TaC) သည် တန်တလမ် နှင့် ကာဗွန်တို့ ပါဝင်သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် သတ္တုလျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် အရည်ပျော်မှတ် အထူးမြင့်မားသောကြောင့် ၎င်းကို ခိုင်ခံ့မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်နှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့အတွက် လူသိများသော သတ္တုဓာတ်သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်လာသည်။ Tantalum Carbides ၏ အရည်ပျော်မှတ်သည် သန့်ရှင်းမှုပေါ်မူတည်၍ 3880°C ခန့်တွင် အမြင့်ဆုံးဖြစ်ပြီး ဒွိဒြပ်ပေါင်းများကြားတွင် အမြင့်ဆုံး အရည်ပျော်မှတ်တစ်ခုရှိသည်။ MOCVD နှင့် LPE ကဲ့သို့သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အပူချိန်မြင့်မားသော လိုအပ်ချက်များသည် စွမ်းဆောင်ရည်ထက် ကျော်လွန်သောအခါ ၎င်းသည် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အခြားရွေးချယ်စရာတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။
Semicorex TaC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
|
ပရောဂျက်များ |
ကန့်သတ်ချက်များ |
|
သိပ်သည်းမှု |
14.3 (gm/cm³) |
|
အငွေ့ပျံမှု |
0.3 |
|
CTE (×၁၀စာ-၆/K) |
6.3 |
|
မာကျောမှု (HK) |
2000 |
|
ခုခံမှု (Ohm-cm) |
1×10စာ-၅ |
|
အပူတည်ငြိမ်မှု |
<2500 ℃ |
|
Graphite Dimension ပြောင်းလဲခြင်း။ |
-10~-20um (ရည်ညွှန်းတန်ဖိုး) |
|
အပေါ်ယံအထူ |
≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
|
|
|
|
အထက်ဖော်ပြပါများသည် ပုံမှန်တန်ဖိုးများဖြစ်သည်။ |
|
Semicorex Porous Tantalum Carbide Rings များသည် Silicon Carbide (SiC) ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှု၏ Physical Vapor Transport (PVT) လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် သတ္တုဓာတ် အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်ပြီး ထူးခြားသော အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် ထိန်းချုပ်ထားသော ဓာတ်ငွေ့စိမ့်ဝင်မှုတို့ကို ပေးစွမ်းနိုင်သော monolithic sintered တည်ဆောက်ပုံ ပါဝင်ပါသည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC-coated graphite wafer susceptors များသည် အဆင့်မြင့် semiconductor epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များကို တည်ငြိမ်စွာ ပံ့ပိုးပေးပြီး နေရာချထားရန်အတွက် ခေတ်မီသော အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ ခေတ်မီဆန်းသစ်သော ထုတ်လုပ်မှုနည်းပညာများနှင့် ရင့်ကျက်သောထုတ်လုပ်မှုအတွေ့အကြုံကို အသုံးချခြင်းဖြင့်၊ Semicorex သည် ကျွန်ုပ်တို့၏တန်ဖိုးရှိသော သုံးစွဲသူများအတွက် စျေးကွက်တွင် ထိပ်တန်းအရည်အသွေးဖြင့် စိတ်ကြိုက်အင်ဂျင်နီယာလုပ် TaC-coated graphite wafer susceptors များကို ထောက်ပံ့ပေးရန် ကတိပြုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex CVD TaC Coated Susceptors များသည် SiC epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်များတောင်းဆိုရန်အတွက် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူတူညီမှုနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော သိပ်သည်းသော TaC အပေါ်ယံဖြင့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဂရပ်ဖိုက်ခံကူပစ္စည်းများဖြစ်သည်။ Semicorex သည် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ SiC epi ထုတ်လုပ်သူမှ ယုံကြည်စိတ်ချရသော ကာလရှည်ကြာ ညစ်ညမ်းမှုနည်းသော susceptors များကို ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် အဆင့်မြင့် CVD coating နည်းပညာကို တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex tantalum carbide coated guide rings များသည် semiconductor crystal growth equipment တွင် အသုံးပြုသည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် လက်စွပ် အစိတ်အပိုင်းများ ဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် ကြည်လင်ကြီးထွားလာချိန်တွင် သင့်လျော်သော အပူချိန် gradient နှင့် တည်ငြိမ်သော လေ၀င်လေထွက်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ဖန်တီးရန် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ Semicorex tantalum carbide coated guide rings များကို ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့်၊ ပြိုင်ဘက်ကင်းသော အပေါ်ယံပိုင်းနည်းပညာနှင့် အလွန်ထိရောက်ပြီး တည်ငြိမ်သော ထုတ်လုပ်မှု အတွေ့အကြုံမှ အကျိုးခံစားခွင့် ရရှိမည်ဖြစ်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coated Graphite Crucible ကို CVD နည်းလမ်းဖြင့် Tantalum Carbide coating graphite ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုရန် အသင့်တော်ဆုံး ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ Semicorex သည် CVD ကြွေထည်အပေါ်ယံပိုင်းကို အထူးပြုပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းဖြေရှင်းချက်များကို ပေးဆောင်သည့် ကုမ္ပဏီတစ်ခုဖြစ်သည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။