Silicon Carbide Chamber အဖုံး

ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသော Silicon Carbide Chamber အဖုံးသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရမည်။ Semicorex သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ၏ အကြီးစားထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်စျေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

တစ်ခုတည်းသောပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု သို့မဟုတ် MOCVD တွင်အသုံးပြုသော Silicon Carbide Chamber အဖုံး၊ သို့မဟုတ် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်သည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရမည်။ Semicorex သည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) coated graphite တည်ဆောက်မှုတွင် သာလွန်သော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး တစ်သမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်အတွက် အပူပိုင်းတူညီမှု၊ နှင့် တာရှည်ခံဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ခံနိုင်ရည်တို့ကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။ ၎င်းတို့သည် မတည်ငြိမ်သော ရှေ့ပြေးဓာတ်ငွေ့များ၊ ပလာစမာနှင့် မြင့်မားသော အပူချိန်တို့ ပေါင်းစပ်မှုကို ခံစားရရန် တာရှည်ခံပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Chamber Lid သည် အပူပရိုဖိုင်၏ ညီညာမှုကို သေချာစေရန် အကောင်းဆုံး laminar gas စီးဆင်းမှုပုံစံကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်တွင် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန် ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးရန် ကူညီပေးသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Chamber Lid အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

Silicon Carbide Chamber Lid ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β အဆင့်
သိပ်သည်းမှု	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	µm	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
Heat Capacity ၊	J kg-1 K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300