SiC coating သည် chemical vapor deposition (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် susceptor ပေါ်သို့ ပါးလွှာသောအလွှာဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းသည် ပြိုကွဲနေသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအား 10 ဆ၊ အပူချိန်နှင့် ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိသောပစ္စည်းကိုပေးဆောင်သည့် တီးဝိုင်းကွာဟမှု 3x အပါအဝင်၊ ဆီလီကွန်ထက် အားသာချက်များစွာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ပိုမိုကြာရှည်ခံသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်စေရန်၊ လည်ပတ်ချိန်များကို လျှော့ချပေးပြီး အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်စေပါသည်။
SiC coating တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များစွာရှိသည်။
မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု- CVD SiC coated susceptor သည် သိသာထင်ရှားသောအပူရှိန်ပြိုကွဲခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန် 1600°C အထိခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဓာတုခံနိုင်ရည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များအပါအဝင် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
Wear Resistance- SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ပြင်းထန်စွာ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်း ပါ၀င်သည့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
Thermal Conductivity- CVD SiC coating သည် ပစ္စည်းအား မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှု လိုအပ်သော အပူချိန်မြင့်သော application များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် မာကျောမှု- ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor သည် မြင့်မားသော ခိုင်ခံ့မှုနှင့် မာကျောမှုရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားလိုအပ်သော အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
SiC coating ကို အမျိုးမျိုးသော application များတွင် အသုံးပြုသည်။
LED ထုတ်လုပ်မှု- CVD SiC coated susceptor ကို အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV LED အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဖြစ်သည်။
မိုဘိုင်းဆက်သွယ်ရေး- CVD SiC coated susceptor သည် GaN-on-SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန် HEMT ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Semiconductor Processing- CVD SiC coated susceptor ကို wafer processing နှင့် epitaxial growth အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များအတွက် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုပါသည်။
SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ
Silicon Carbide Coating (SiC) graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် coating ကို CVD method ဖြင့် high density graphite grades များတွင် အသုံးပြုထားသောကြောင့် အပူချိန် 3000°C အထက်ရှိသော မီးဖိုထဲတွင် လည်ပတ်နိုင်ပြီး လေဟာနယ်တွင် 2200°C ရှိပါသည် .
ပစ္စည်း၏ အထူးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် သေးငယ်သောထုထည်သည် လျင်မြန်သော အပူနှုန်းများ၊ တူညီသော အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုကို ခွင့်ပြုပေးပါသည်။
Semicorex SiC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ရိုးရိုးဂုဏ်သတ္တိ |
ယူနစ် |
တန်ဖိုးများ |
ဖွဲ့စည်းပုံ |
|
FCC β အဆင့် |
တိမ်းညွှတ်မှု |
အပိုင်း (%) |
111 နှစ်ခြိုက်သည်။ |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု |
g/cm³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
အပူစွမ်းရည် |
J kg-1 K-1 |
640 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
နိဂုံး CVD SiC coated susceptor သည် susceptor နှင့် silicon carbide တို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ နှင့် မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု အပါအဝင် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုပြုပြင်ခြင်း၊ အပူကုသခြင်း၊ ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် LED ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
Semicorex SiC ICP Etching Disk သည် အစိတ်အပိုင်းများမျှသာမဟုတ်ပါ။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းသည် အသေးစားအလတ်စားပြုလုပ်ခြင်းနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို မညှာမတာလိုက်စားခြင်းကြောင့် SiC ကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများအတွက် ဝယ်လိုအားသည် ပြင်းထန်လာမည်ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် ကျွန်ုပ်တို့၏နည်းပညာဖြင့်မောင်းနှင်သောကမ္ဘာကိုအားဖြည့်ရန် လိုအပ်သောတိကျမှု၊ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့်စွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေသည်။ကျွန်ုပ်တို့သည် Semicorex မှအရည်အသွေးမြင့်မားသောကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော SiC ICP Etching Disk ကိုထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့်ထောက်ပံ့ခြင်းအတွက်ရည်ရွယ်ပါသည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc ၏ ကျယ်ပြန့်သော ဂုဏ်သတ္တိများ ရှိပြီး ၎င်းအား တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည့် နည်းပညာမြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်ပစ္စည်းများ၏ အောင်မြင်မှုအတွက် အဓိကကျသော တိကျမှု၊ ကြာရှည်မှုနှင့် ကြံ့ခိုင်မှုတို့ဖြစ်သည်။ Semicorex တွင်ကျွန်ုပ်တို့သည်အရည်အသွေးမြင့်မားသောကုန်ကျစရိတ်သက်သာမှုနှင့်အတူပေါင်းစပ်ထားသောစွမ်းဆောင်ရည်မြင့် SiC Coated Epitaxy Disc ကိုထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့်ထောက်ပံ့ခြင်းအတွက်ရည်ရွယ်ပါသည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ICP Etch အတွက် Semicorex SiC Susceptor သည် အရည်အသွေးမြင့် စံချိန်စံညွှန်းများနှင့် လိုက်လျောညီထွေရှိမှုကို ထိန်းသိမ်းထားရန် အဓိကထား ထုတ်လုပ်ထားသည်။ အဆိုပါ susceptor များကိုဖန်တီးရန်အသုံးပြုသည့် ခိုင်မာသောကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များသည် batch တစ်ခုစီတိုင်းသည် တင်းကြပ်သောစွမ်းဆောင်ရည်စံနှုန်းများနှင့်ကိုက်ညီပြီး semiconductor etching တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တသမတ်တည်းရလဒ်များထုတ်ပေးကြောင်းသေချာစေပါသည်။ ထို့အပြင်၊ Semicorex သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ လျင်မြန်သောအလှည့်အပြောင်းတောင်းဆိုမှုများနှင့်အညီ လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန်အတွက် အရေးကြီးသော လျင်မြန်သောပေးပို့မှုအချိန်ဇယားများကို ပေးဆောင်ရန် တပ်ဆင်ထားပါသည်။ အရည်အသွေးကို ထိခိုက်မှုမရှိစေဘဲ ထုတ်လုပ်မှုအချိန်ဇယားများကို ပြည့်မီကြောင်းသေချာစေပါသည်။ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာစွာဖြင့် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ICP Etch အတွက် SiC Susceptor ။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Coated Support Ring သည် semiconductor epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်အသုံးပြုသောမရှိမဖြစ်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Coated Ring သည် ခေတ်မီ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော semiconductor epitaxial ကြီးထွားမှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ဆိုလာဆဲလ်ပျံ့ပွားမှုအတွက် Semicorex SiC Boat ၏ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် ပြောင်မြောက်သောစွမ်းဆောင်ရည်သည် ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်မှု၏ လိုအပ်ချက်အခြေအနေများတွင် တသမတ်တည်း ပို့ဆောင်ပေးနိုင်ခြင်းမှ အရင်းခံပါသည်။ SiC ၏ အရည်အသွေးမြင့် ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများသည် ဤလှေများသည် ကျယ်ပြန့်သော လည်ပတ်မှုအခြေအနေများပေါ်တွင် အကောင်းဆုံးလုပ်ဆောင်နိုင်စေရန် သေချာစေပြီး တည်ငြိမ်ပြီး ထိရောက်သော ဆိုလာဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်မှုကို အထောက်အကူဖြစ်စေပါသည်။ ၎င်းတို့၏ စွမ်းဆောင်ရည် အရည်အချင်းများတွင် အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှု၊ အပူပိုင်း တည်ငြိမ်မှုနှင့် ပတ်ဝန်းကျင် ဖိအားများကို ခံနိုင်ရည် ရှိစေကာ Solar Cell Diffusion အတွက် SiC Boat သည် photovoltaic လုပ်ငန်းတွင် မရှိမဖြစ် လိုအပ်သော ကိရိယာတစ်ခု ဖြစ်လာသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။