SiC coating သည် chemical vapor deposition (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် susceptor ပေါ်သို့ ပါးလွှာသောအလွှာဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းသည် ပြိုကွဲနေသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအား 10 ဆ၊ အပူချိန်နှင့် ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိသောပစ္စည်းကိုပေးဆောင်သည့် တီးဝိုင်းကွာဟမှု 3x အပါအဝင်၊ ဆီလီကွန်ထက် အားသာချက်များစွာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ပိုမိုကြာရှည်ခံသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်စေရန်၊ လည်ပတ်ချိန်များကို လျှော့ချပေးပြီး အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်စေပါသည်။
SiC coating တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များစွာရှိသည်။
မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု- CVD SiC coated susceptor သည် သိသာထင်ရှားသောအပူရှိန်ပြိုကွဲခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန် 1600°C အထိခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဓာတုခံနိုင်ရည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များအပါအဝင် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
Wear Resistance- SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ပြင်းထန်စွာ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်း ပါ၀င်သည့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
Thermal Conductivity- CVD SiC coating သည် ပစ္စည်းအား မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှု လိုအပ်သော အပူချိန်မြင့်သော application များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် မာကျောမှု- ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor သည် မြင့်မားသော ခိုင်ခံ့မှုနှင့် မာကျောမှုရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားလိုအပ်သော အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
SiC coating ကို အမျိုးမျိုးသော application များတွင် အသုံးပြုသည်။
LED ထုတ်လုပ်မှု- CVD SiC coated susceptor ကို အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV LED အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဖြစ်သည်။
မိုဘိုင်းဆက်သွယ်ရေး- CVD SiC coated susceptor သည် GaN-on-SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန် HEMT ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Semiconductor Processing- CVD SiC coated susceptor ကို wafer processing နှင့် epitaxial growth အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များအတွက် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုပါသည်။
SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ
Silicon Carbide Coating (SiC) graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် coating ကို CVD method ဖြင့် high density graphite grades များတွင် အသုံးပြုထားသောကြောင့် အပူချိန် 3000°C အထက်ရှိသော မီးဖိုထဲတွင် လည်ပတ်နိုင်ပြီး လေဟာနယ်တွင် 2200°C ရှိပါသည် .
ပစ္စည်း၏ အထူးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် သေးငယ်သောထုထည်သည် လျင်မြန်သော အပူနှုန်းများ၊ တူညီသော အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုကို ခွင့်ပြုပေးပါသည်။
Semicorex SiC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ရိုးရိုးဂုဏ်သတ္တိ |
ယူနစ် |
တန်ဖိုးများ |
ဖွဲ့စည်းပုံ |
|
FCC β အဆင့် |
တိမ်းညွှတ်မှု |
အပိုင်း (%) |
111 နှစ်ခြိုက်သည်။ |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု |
g/cm³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
အပူစွမ်းရည် |
J kg-1 K-1 |
640 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
နိဂုံး CVD SiC coated susceptor သည် susceptor နှင့် silicon carbide တို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ နှင့် မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု အပါအဝင် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုပြုပြင်ခြင်း၊ အပူကုသခြင်း၊ ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် LED ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
Sememaorex မှ Sic Epitaxial Module သည်တာရှည်ရာ, သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်းနှင့်တိကျသောအင်ဂျင်နီယာကိုပေါင်းစပ်ထားပြီး၎င်းသည်တာရှည်ခံခြင်း, coated braphite solutions များနှင့်ပတ် 0 န်းကျင်ကို 0 ယ်ယူရန်အတွက်ရေရှည်စွမ်းဆောင်ရည်အတွက်မပြည့်စုံသောအရည်အသွေးအတွက် semicorex ကိုရွေးချယ်ပါ။ *
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex အထက်တစ်ဝက်လသည် EarterAxial ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင်အသုံးပြုရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသော semi-coated coaber sortceptor ဖြစ်သည်။ ရေရှည်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့်သာလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့်သာလွန်ကောင်းမွန်သည့်အရည်အသွေးမြင့်အရည်အသွေးကိုသေချာစေရန်စက်မှုလုပ်ငန်း ဦး ဆောင်ပစ္စည်းများသန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်း,
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Sic COC COCETER CACESERS သည်အပူချိန်မြင့်မားသော Semiconductor ဖြစ်စဉ်များတွင်အကောင်းဆုံးသောပံ့ပိုးမှုအတွက်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသော CVD Silicon Carbide နှင့်အတူ cvd silicon carbide နှင့်အတူ cover high-cpd silicon carbide နှင့်အတူ coated surve suchite suactors ဖြစ်ကြသည်။ ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ Semiconductor Fabs မှယုံကြည်ရသောအချည်းနှီးသောန့်သတ်ခြင်းအရည်အသွေး, တိကျသောထုတ်လုပ်မှုအတွက် Semicorex ကိုရွေးချယ်ပါ။ *
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Sic COCKED SUAPERS SUAPERS သည်စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်သောလေယာဉ်တင်သင်္ဘောများမှာ Pressurueless အခြေအနေများအောက်တွင် Ultrathin ရုပ်ရှင်စုပ်ယူမှုအတွက်အထူးဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများအင်ဂျင်နီယာ, တိကျသော porce control and ser cocicex နည်းပညာ, Semicorex သည်လာမည့်မျိုးဆက်သစ် semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့်ပြည့်စုံစေရန်စက်မှုလုပ်ငန်းဆိုင်ရာယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့်စိတ်ကြိုက်ပြုပြင်ပြောင်းလဲရေးလုပ်ငန်းများသို့ပို့ဆောင်သည်။ *
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex 8 လက်မအရွယ် wafferholder ကွင်းများသည်တိကျသော wafer fixation နှင့်ရန်လိုသောအပူနှင့်ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာပတ်ဝန်းကျင်တွင်ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုပေးရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ Semicorex သည်လျှောက်လွှာတင်သောအင်ဂျင်နီယာ, တင်းကျပ်သောရှုထောင့်ထိန်းချုပ်မှုနှင့်အဆင့်မြင့် semiconductor processing ၏တိကျခိုင်မာစွာတောင်းဆိုမှုများနှင့်ကိုက်ညီရန်တသမတ်တည်း sin အပေါ်ယံပိုင်းအရည်အသွေးကိုပေးသည်။ *
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex RTP SIC CISPP sic သောပြားများသည်စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောလေကြောင်းလိုင်းများကိုအလျင်အမြန်ပြောင်းလဲရန်အတွက်အသုံးပြုရန်အတွက်စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောလေယာဉ်တင်သင်္ဘောများဖြစ်သည်။ Semiconductor ထုတ်လုပ်သူများထံမှယုံကြည်သော semicorex သည်သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူတည်ငြိမ်မှု, ကြာရှည်ခံမှုနှင့်တိကျခိုင်မာသည့်အရည်အသွေးစံချိန်စံညွှန်းများနှင့်တိကျမှန်ကန်သောကုန်ထုတ်လုပ်မှုမှကျောထောက်နောက်ခံပြုထားသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။