ICP အတွက် SIC လေယာဉ်တင်သင်္ဘော

Semicorexsicsic-coice-coice cofitite caxition ကိရိယာများ, semicorexsic-coice cofitite carrier ၏မွမ်းမံရန်တောင်းဆိုမှုများကိုဖြည့်ဆည်းပေးရန်အင်ဂျင်နီယာအင်ဂျင်နီယာများနှင့်တွေ့ဆုံရန်, ၎င်း၏အဓိကအားဖြင့် crystal orientation ကိုတင်းတင်းကျပ်ကျပ်ထားရှိသည့်စီးပွားဖြစ် orient ည့်သည်များကိုတင်းတင်းကျပ်ကျပ်ထားရှိပြီး crystal orient ည့်သည်များကိုတင်းတင်းကျပ်ကျပ်ထားရှိပြီး, Plane Thermal compermal compermitivity သည်သမားရိုးကျ antictatic constivesion များထက်သာလွန်သည်။ ဤလမ်းညွှန်အပူစီးဆင်းမှုစီမံခန့်ခွဲမှုသည် 150 မီလီမီတာတွင် 300 မီလီမီတာအထိသေဆုံးတိုင်းသေဆုံးသည်။

ဒီ Ultra-cuttion charactite ပတ်ပတ်လည်ပတ်ရစ်သည် cvd မီးဖိုထဲတွင်အပ်နှံထားသော silicon-carbide layer သည် CVD မီးဖိုထဲတွင်ပူးတွဲအပ်နှံသည်။ SIC သည်ဓာတုဗေဒနှင့်ဓာတုဗေဒအရ 4000 ဒီဂရီအထိ inert နှင့် 0.1% ထက်နည်းသော micro-porosity ကိုဝါကြွားခြင်း, CF₄ / O₂, cf₄ / o₂, cl₂ / bcring နှင့် HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBSMAS သည်0.3μmper100Hoursများအောက်တွင်ဖော်ပြထားသောတိုက်စားမှုနှုန်းကိုပြသခဲ့ပြီးကြိုတင်ကာကွယ်မှုဆိုင်ရာပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကိုကျော်လွှားနိုင်ရန်အတွက်တိုက်စားမှုနှုန်းထားများကိုပြသသည်။

ရှုထောင့်အတိအကျသည်အညီအမျှအကန့်အသတ်ဖြင့်မဖော်ပြထားပါ။ တင်းကျပ်စွာသည်းခံခြင်း, SIC အဖုံး၏အနီးကပ်စိန်ခိုင်မာမှုနှင့်အတူ, စက်မှုညှပ်ခြင်းနှင့်လျှပ်ကူး chuck စက်ဘီးစီးအောက်မှာအမှုန်မျိုးဆက်များကိုခုခံကာကွယ်ခြင်း, Power ICP ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင်လေယာဉ်တင်သင်္ဘောသည်လျှပ်စစ်လျှပ်စစ်ခံနိုင်ရည်နည်း (<40 ·40μω· M) သည်အလျင်အမြန်မြေပြင်လေယာဉ်တည်ငြိမ်မှုကိုမြှင့်တင်ပေးသည်။

Sememorex သယ်ဆောင်သူတိုင်းသည် ppm-level untity underysiss ကိုအတည်ပြုရန် Conline Cystallographical alignment ကိုအတည်ပြုရန် Sem Crostallographical alignment ကိုစစ်ဆေးရန်အတွက်ပြည့်စုံသော Metrologology-Raman Mapping ကိုစစ်ဆေးသည်။ ဘာဖြစ်လို့လဲဆိုတော့ Micro-Lot ထုတ်လုပ်မှုကို (ပြေးနှုန်း 20 အောက်လောက်နည်းတယ်) မှာအခိုင်အမာဆိုလို့စာရင်းအင်းလုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်ရေးဇယားတွေကတော့အစုလိုက်အပြုံလိုက်စျေးကွက်ပေးသွင်းသူတွေကမကိုက်ညီဘူးဆိုတာကိုအာမခံပေးနိုင်ပါတယ်။ စိတ်ကြိုက်ဂျီ ometriks, အိတ်ဆောင်နက်နဲသောအရာနှင့်ကျောထောက်နောက်ခံအအေးလမ်းကြောင်းများနှင့်အတူ hardware stacks တစ်ခုလုံးကိုပြန်လည်ပြုပြင်ခြင်းမရှိဘဲအမြင့်ဆုံးပစ္စည်းကိရိယာများကို optimize လုပ်ဖို့သုံးပတ်,

ကမ္ဘာ့အဆင့်မီ anisotropic certropic confertite ကို hermetic sic သံချပ်ကာဖြင့်စည်းလုံးစေခြင်းဖြင့် Semicorex Sic Carrier သည်ရှည်လျားသောပကတိအတိုင်း 0 င်ရောက်နိုင်သည့်ပတ် 0 န်းကျင်နှင့်အဆင်သင့်ဖြစ်သည့် plasma unforms နှင့်သေစေနိုင်သောလုပ်ရပ်များကိုတက်ကြွစွာတိုးမြှင့်ပေးနိုင်သည်။ အမြဲတမ်းပိုမိုတင်းကျပ်သော linewidths နှင့်ပိုင်ဆိုင်မှုနည်းပါးခြင်းနှင့်ပိုင်ဆိုင်မှုနည်းပါးသောစက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူများအနေဖြင့်,