SiC-Coated Epitaxial Susceptors

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအလွှာဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုဦးတည်ချက် (အလျားလိုက်နှင့် ဒေါင်လိုက်) အပါအဝင် အပူချိန်၊ ဖိအား၊ အမှုန်အမွှားများ ဖြည့်တင်းခြင်းနှင့် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုတို့အပါအဝင် epitaxial deposition အတွင်း MOCVD သို့မဟုတ် CVD စက်များတွင် အခြေစိုက်စခန်းတွင် တိုက်ရိုက်မထားရှိနိုင်ပါ။ ထို့ကြောင့်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအလွှာများကို ထောက်ပံ့ရန်နှင့် လုံခြုံစေရန်အတွက် epitaxial susceptors များကို MOCVD/CVD စနစ်များရှိ ဓာတ်ပြုခန်း၏အလယ်ဗဟိုတွင် နေရာချထားရန် လိုအပ်ပြီး တုန်ခါမှု သို့မဟုတ် အနေအထားအရ နေရာရွှေ့ပြောင်းခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။

High-purity graphite ကို Semicorex အတွက် matrix material အဖြစ် အသုံးပြုသည်။SiC-coated epitaxial susceptorsအဆင့်မြင့် CVD နည်းပညာများဖြင့် ၎င်းတို့၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာကို ဖုံးအုပ်ထားသည်။ Semicorex SiC-coated epitaxial susceptors များသည် epitaxial အလွှာဖွဲ့စည်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောအစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့၏ အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှာ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအလွှာများပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာများ ကြီးထွားမှုအတွက် တည်ငြိမ်ပြီး ထိန်းချုပ်နိုင်သော လည်ပတ်မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးဆောင်ရန်ဖြစ်ပြီး၊ ထို့ကြောင့် wafer မျက်နှာပြင် အရည်အသွေး၏ ညီညွတ်မှုကို သေချာစေနိုင်သည်။

Semicorex SiC-coated epitaxial susceptors များ၏ဝိသေသလက္ခဏာများ

1. 1600 ℃ လည်ပတ်မှုအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိရန် ထူးထူးခြားခြား အပူချိန်မြင့်သည်။

2.High thermal conductivity ၊ semiconductor substrates ပေါ်ရှိ တူညီသော အပူချိန် ဖြန့်ဖြူးမှုကို ထိန်းသိမ်းရန် လျင်မြန်သော အပူလွှဲပြောင်းပေးပါသည်။

3. ဓာတုပစ္စည်း ယိုယွင်းပျက်စီးမှုနှင့် ချေးကို ခုခံရန် ပြင်းထန်သော ဓာတုပစ္စည်း ချေးယူမှု လုပ်ငန်းစဉ် နှင့် epitaxial အလွှာများ ညစ်ညမ်းမှုကို ရှောင်ရှားခြင်း။

4. အပေါ်ယံပိုင်းကွဲအက်ခြင်းနှင့် delamination ဖြစ်ပွားမှုကိုရှောင်ရှားရန် Superior အပူရှော့ခ်ခုခံမှု။

5. ထူးခြားသော မျက်နှာပြင် ညီညာမှု၊ ကွာဟချက်များနှင့် ချို့ယွင်းချက်များကို လျှော့ချပေးသည့် အလွှာများနှင့် သပ်သပ်ရပ်ရပ် သင့်လျော်သည်။

6. ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုရှည်စေပြီး အစိတ်အပိုင်းများ အစားထိုးခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အချိန်နှင့် စီးပွားရေးဆုံးရှုံးမှုများကို လျှော့ချပေးသည်။

Semicorex SiC-coated epitaxial susceptors များ၏အသုံးချမှုများ

ကောင်းမွန်သောအားသာချက်များစွာဖြင့်၊ Semicorex SiC-coated epitaxial susceptors များသည် epitaxial ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များ၏တစ်ပြေးညီနှင့်ထိန်းချုပ်နိုင်သောကြီးထွားမှုကိုကူညီဆောင်ရွက်ပေးရာတွင်အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပြီး semiconductor epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။

1.GaN epitaxial ကြီးထွားမှု

2.SiC epitaxial ကြီးထွားမှု

3.Si epitaxial ကြီးထွားမှု