ဆီလီကွန်ကာလက်သည်လှေများ

Semicorex silicon carbide လှေများသည်ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှုကိုပြသသည်။ သူတို့၏အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူရှိန်သောခုခံမှုသည်ကြာရှည်စွာလည်ပတ်နေသောအသက်ရှည်မှုကိုသေချာစေသည့်ပျက်စီးမှုသို့မဟုတ်ပုံပျက်မှုအန္တရာယ်ကိုလျော့နည်းစေသည်။ မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆ SIC ဖွဲ့စည်းမှုသည်သာလွန်ကောင်းမွန်သောစက်ဘီးစီးခြင်းဖြင့်ပင်ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာသမာဓိကိုထိန်းသိမ်းထားသည်။ စက်မှုစိတ်ဖိစီးမှုကိုဤထူးခြားမှုကိုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းသည် Wafer ညစ်ညမ်းမှုနှင့်ပြိုကွဲခြင်းဖြစ်နိုင်ခြေကိုလျော့နည်းစေသည်။ ထို့အပြင် SIC လှေများသည်ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာခုခံမှုများကိုရုပ်သိမ်းခြင်း, ဤဝိသေသလက်ခဏာသည်မလိုချင်သောတုန့်ပြန်မှုများနှင့်ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းအားကိုလျှော့ချနိုင်သည့်မလိုလားအပ်သောတုံ့ပြန်မှုများကိုကာကွယ်ပေးသည်။

silicon carbide လှေများသည်မြင့်မားသောအပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်ဓာတ်ပြုခြင်းငှါဓာတ်အားပေးစက်ရုံများအပေါ်တိကျသောထိန်းချုပ်မှုအပေါ်တိကျသောထိန်းချုပ်မှုနှင့်ဓာတ်ပြုခြင်းငှါဓာတ်တိုးခြင်းနှင့်ပျံ့နှံ့နေသော focks များ၌အဓိက အသုံးပြု. ဆိုနိုင်သည်။ အရည်အသွေးမြင့် silicon dioxide layers ကြီးထွားရန်အပူဓာတ်တိုးများအတွင်းဓာတ်တိုးများအတွင်းကသူတို့ပံ့ပိုးပေးပြီး Dopant Gases နှင့်ထိန်းချုပ်ထားသည့်ထိတွေ့မှုမှတစ်ဆင့်ယူနီဖောင်းကိုလွယ်ကူချောမွေ့စေသည်။ ထို့အပြင်၎င်းတို့သည်ကြာရှည်စွာအပူထိတွေ့မှုလိုအပ်သည့် AnnEnealing နှင့်အခြားအပူချိန်ကုသမှုများအတွက်တည်ငြိမ်သောပလက်ဖောင်းများကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။

ရိုးရာ quartz နှင့်ဖိုက်လှေများနှင့်နှိုင်းယှဉ်လျှင် Silicon Carbide လှေများသည်မပြည့်စုံသောကြာရှည်ခံမှု, ညစ်ညမ်းမှုကိုလျှော့ချနိုင်စဉ်ကြမ်းတမ်းသောအပူနှင့်ဓာတုအခြေအနေများကိုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းစွမ်းရည်သည်၎င်းတို့အားပိုမိုတိကျသောဆီမီးကွန်ဒတ်တင်ခြင်းထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက်ရွေးချယ်မှုကိုနှစ်သက်စေသည်။ အရည်အသွေးနှင့်ဆန်းသစ်တီထွင်မှုကိုအာရုံစိုက်ခြင်းဖြင့်ကျွန်ုပ်တို့၏ဆီလီကွန်ကာဘက်ကာလက်လှေများသည်ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ Semiconductor ထုတ်လုပ်သူများအတွက်အထွက်နှုန်းနှင့်ထိရောက်သောစွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားခြင်း, Advanced Node Technologies သို့မဟုတ်အမွေမီ Semiconductor လုပ်ကြံပွဲများအတွက်ဖြစ်စေ, ဤလှေများသည်တင်းကြပ်သောစက်မှုလုပ်ငန်းလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်ယုံကြည်စိတ်ချရသောဖြေရှင်းချက်တစ်ခုပေးပါသည်။

(1) သယ်ဆောင်ခြင်းနှင့်ကာကွယ်ခြင်း - ဆီလီကွန်ကာလက်လှေများသည် silicons သို့မဟုတ် slots များမှလျှပ်တစ်ပြက်များသို့မဟုတ် silifers များကိုကာကွယ်ရန်အတွက် silicon carbide ပစ္စည်းများအားအပူချိန်နှင့်ချေးယူမှုမြင့်မားမှုကိုအသုံးပြုသည်။

(2) ယူနီဖောင်းအပူပေးခြင်း - ဆီလီကွန်ကာလက်လှေသည်အပူကုသမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းပျော့ပျောင်းသောအရာများကိုအညီအမျှအပူပေးရန်ခွင့်ပြုသည်။ ဤသည်က Wafer ၏အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီ၏အပူချိန်နှင့်တုံ့ပြန်မှုနှုန်းသည်အပူကုသမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းတွင်တည်ရှိနေသည်ကိုသေချာစေရန်ကူညီသည်။

လက်ရှိတွင်အဓိကအမျိုးအစားသုံးမျိုးရှိသည်Silicon carbide ကြွေထည်ပစ္စည်းများ - တုံ့ပြန်မှု sintering, pressureless sintering နှင့် recrystallization sinteringization sintering လုပ်ခြင်း။ အပလီကေးရှင်းများအနေဖြင့်တုန့်ပြန်မှု Silicon Silicon Carbide သည်ပိုမိုသင့်လျော်ပြီးကုန်ကျစရိတ်သက်သာသည့်ထုတ်ကုန်ဖြစ်သည်။ Recrystallized Sic လှေများသည်များသောအားဖြင့်ယူနစ်အစိတ်အပိုင်းများကို ဦး စွာဆွတ်ခူးပြီးအစိတ်အပိုင်းများကိုအပူချိန်မြင့်မားစွာဖြင့်လှေထဲသို့ပေါင်းစပ်ရန် Si Paste ကိုသုံးပါ။ Recrystallization pazousing သည်ဆိုသော် SIC အုတ်မြစ်မရှိလျှင်၎င်းသည် Sicemonductor ဖြစ်စဉ်သို့တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းကိုမိတ်ဆက်ပေးလိမ့်မည်။ CVD-SIC CORATE နှင့်အတူ RECRSTALLIVESS SIC လှေသည်အရှည်ဆုံးထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်ဖြစ်ပြီးအလွန်စျေးကြီးသည်။ SIC coated coverite လှေများနှင့်နှိုင်းယှဉ်ပါက CVD-SIC COC COC COUCTED RECRSTALSIDEST SEN သို့လှေများတွင် CTE မတိုက်ဆိုင်ပြ problem နာမရှိပါ။