SiC ဒေါင်လိုက်လှေများ

Semicorex SiC Vertical Boats များသည် ဒေါင်လိုက်မီးဖိုတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် အမြင့်ဆုံးအပူ၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး ထုတ်လုပ်ထားသည့် wafer carriers များဖြစ်သည်။ သန့်ရှင်းသပ်ရပ်စွာ တည်ဆောက်ထားပါတယ်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၎င်းတို့သည် ဓာတ်တိုးခြင်း၊ ပျံ့နှံ့ခြင်း၊ LPCVD နှင့် ဒေါင်လိုက်မီးဖိုစနစ်များတွင် ပေါင်းထည့်ခြင်းအဖြစ် မှတ်သားထားသော အလွန်အဆင့်မြင့်သော wafer အပူအအေးလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် ၎င်းတို့သည် ကြံ့ခိုင်မှု၊ တာရှည်ခံမှုနှင့် သန့်ရှင်းမှု၏ အကောင်းဆုံးချိန်ခွင်လျှာဖြစ်ကြောင်း ကျွန်ုပ်တို့ယုံကြည်ပါသည်။

ဒေါင်လိုက်မီးဖို ပြုပြင်ခြင်းပတ်ဝန်းကျင်များသည် အပူချိန် 1,200°C ကျော်လွန်လေ့ရှိပြီး မကြာခဏ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ထပ်ခါတလဲလဲထိတွေ့နိုင်သော wafer ပံ့ပိုးမှုစနစ် လိုအပ်ပြီး ညစ်ညမ်းမှုပြဿနာများမရှိဘဲ အရွယ်အစားအလိုက် တည်ငြိမ်နေမည်ဖြစ်သည်။ SiC Vertical Boats များသည် recrystallized သို့မဟုတ် CVD silicon carbide ၏ ပင်ကိုယ်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် အပူဓာတ်ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် အဆိုပါအခြေအနေများတွင် ၎င်းတို့၏ကြံ့ခိုင်မှုတွင် ထူးချွန်ပါသည်။ ၎င်းတို့၏ အလွန်နည်းသော အပူချိန် ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းသည် လျင်မြန်သော အပူစက်ဘီးစီးခြင်းကြောင့် တုန်လှုပ်ခြင်း သို့မဟုတ် ပုံပျက်ခြင်း အနည်းဆုံးဖြစ်ကြောင်း သေချာစေသည်။ ထို့အပြင်၊ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုသည် အလွှာအထူ၊ ဓာတုပစ္စည်းပရိုဖိုင်များနှင့် လျှပ်စစ်စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် အရေးကြီးသော wafer-to-wafer တစ်သမတ်တည်းဖြစ်မှုအတွက် အရေးကြီးသော wafers အားလုံးတွင် ဒေသဆိုင်ရာအပူချိန်တူညီမှုကို ပေးစွမ်းပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ပမာဏမြင့်ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ အရေးကြီးသောကဏ္ဍများ။

သမားရိုးကျ quartz လှေများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက SiC Vertical Boats များသည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားနှင့် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ Quartz သည် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ ကြွပ်ဆတ်လာပြီး အထူးသဖြင့် ပြင်းထန်သော မီးဖိုဓာတုဗေဒပစ္စည်းများတွင် အစားထိုးစရိတ်ပိုကြီးပြီး ထုတ်လုပ်မှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်အနေနှင့်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သည် ပျံ့နှံ့မှုနှင့် LPCVD လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အဖြစ်များလေ့ရှိသည့် ကလိုရင်း၊ HCl သို့မဟုတ် အမိုးနီးယားကဲ့သို့သော အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ကြာရှည်စွာထိတွေ့ပြီးနောက်တွင်ပင် ၎င်း၏သမာဓိကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသော ဝတ်ဆင်မှုနှင့် ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု ခုခံမှုသည် အမှုန်အမွှားများဖြစ်ပေါ်မှုကို လျှော့ချပေးကာ wafer မျက်နှာပြင်များကို ညစ်ညမ်းမှုနှင့် အပြစ်အနာအဆာများ ဖြစ်ပေါ်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။

SiC Vertical Boats များသည် အလွန်သန့်ရှင်းသော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် သိသာထင်ရှားသော အကျိုးကျေးဇူးများကို ပေးဆောင်ပါသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာကိရိယာများ၏ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုလက္ခဏာများကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေနိုင်သော ခွဲခြားသတ်မှတ်နိုင်သော ညစ်ညမ်းနေသောသတ္တုများကို လျှော့ချရန်အတွက် သန့်စင်သော SiC ပစ္စည်းကို တင်းကျပ်သောလုံ့လဖြင့် စီမံဆောင်ရွက်ပါသည်။ SiC Vertical Boat မျက်နှာပြင်များသည် မိုက်ခရိုအမှုန်များ ကြွေကျနိုင်ခြေကို နည်းပါးစေမည့် ညာထောင့်အင်္ဂါရပ်များဖြင့် ကောင်းမွန်စွာ ပြီးမြောက်ပါသည်။ SiC မျက်နှာပြင်များသည် ဓာတုဗေဒနည်းအရ အားနည်းနေပြီး လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် မတုံ့ပြန်သောကြောင့် ညစ်ညမ်းမှုဖြစ်နိုင်ခြေနည်းပါသည်။ ဤအချက်နှင့်ပတ်သက်၍ SiC Vertical Boats များသည် ရှေ့ဆုံးမျဉ်း (FEOL) နှင့် နောက်တန်းအဆုံးလိုင်း (BEOL) wafer လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ကောင်းမွန်သင့်လျော်ပါသည်။

SiC ဒေါင်လိုက်လှေများသည် ဒီဇိုင်းပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ် ပေးဆောင်သည်။ Vertical Boat တစ်ခုစီသည် wafer အချင်းများစွာ (150 mm, 200 mm သို့မဟုတ် 300 mm) wafers များကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန်နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန် အပေါက်နံပါတ်နှင့် အကွာအဝေးကို အသုံးပြုနိုင်သည်။ တိကျသောစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ခြင်းနှင့် အတိုင်းအတာထိန်းချုပ်မှုသည် မှန်ကန်သော wafer ချိန်ညှိမှုနှင့် wafer ပံ့ပိုးမှုတို့ကို သယ်ဆောင်ခြင်း၊ စီမံဆောင်ရွက်ခြင်းနှင့် ဖြုတ်ချစဉ်အတွင်း သေးငယ်သောခြစ်ရာများ သို့မဟုတ် ဖိစီးမှုအက်ကွဲမှုဖြစ်နိုင်ခြေကို နည်းပါးစေပါသည်။ ထို့အပြင်၊ အထူးသဖြင့် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုအတွက် သာလွန်သောအပူချိန်တူညီမှုနှင့်/သို့မဟုတ် အပူချိန်နည်းသောအပူရှိန်လိုအပ်ပါက၊ ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ထားသော ဂျီသြမေတြီများနှင့် အထိုင်ဒီဇိုင်းများကို SiC Vertical Boat ဖွဲ့စည်းမှုပုံစံများတွင် ထည့်သွင်းနိုင်ပြီး စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများကို မထိခိုက်စေဘဲ၊

နောက်ထပ်အားသာချက်တစ်ခုကတော့ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုနဲ့ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှု ထိရောက်မှုပါ။ တောင့်တင်းသော ဆောက်လုပ်ရေး၊SiCဒေါင်လိုက်လှေများသည် အစားထိုးချိန်နှင့် အကြိမ်ရေကို လျှော့ချပေးကာ စက်ရပ်ချိန် သို့မဟုတ် ပိုင်ဆိုင်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချပေးသည်။ SiC ၏ အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်သည် ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများပေါ်တွင် ပိုမိုမြင့်မားသော ပမာဏကို ထုတ်ပေးရန်အတွက် အပူနှင့် အအေးလည်ပတ်မှု တိုတောင်းစေသည်။ SiC Vertical Boats များကို ထိန်းသိမ်းခြင်း သို့မဟုတ် သန့်ရှင်းရေးသည် အလွန်ရိုးရှင်းပါသည်။ ပစ္စည်းသည် အက်ဆစ်ဖြင့် သန့်စင်ခြင်းနှင့် အပူချိန်မြင့်သော ဖုတ်သွင်းခြင်းကဲ့သို့သော semiconductor Fab များတွင် တွေ့ရလေ့ရှိသော သမားရိုးကျ စိုစွတ်သော သို့မဟုတ် ခြောက်သွေ့သော သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်အများစုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အထွက်နှုန်းမြှင့်တင်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်မှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်တွင် တည်ငြိမ်မှုတို့သည် အရေးကြီးသည့်အရာအားလုံးတွင် အရေးပါသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့် ခေတ်မီဆန်းပြားသော ခေတ်မီတွင်၊ SiC Vertical Boats များသည် စစ်မှန်သောနည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်ကို ပေးစွမ်းသည်။ ၎င်းတို့သည် ဒေါင်လိုက်မီးဖိုအသုံးပြုမှု၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် ဓာတုဆိုင်ရာစိန်ခေါ်မှုများကို ကောင်းစွာကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းနိုင်ပြီး wafer ခိုင်မာမှု၊ တသမတ်တည်းရလဒ်များနှင့် စက်ပစ္စည်းများ၏သက်တမ်းပိုရှည်မှုကို ပေးဆောင်ခြင်းဖြင့် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ရန် အထောက်အကူဖြစ်စေပါသည်။