SiC Focus Rings

Semicorex အဆင့်မြင့်၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော SiC Focus Rings များသည် ပလာစမာ etch (သို့မဟုတ် dry etch) အခန်းများရှိ ပြင်းထန်သောပတ်ဝန်းကျင်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းကို အာရုံစိုက်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်စျေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

Semicorex သည် SiC Focus Rings သည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသော ဓာတုသန့်စင်မှုအတွက် အမှန်တကယ်တည်ငြိမ်သည်။ SiC Focus Rings သို့မဟုတ် edge rings များသည် wafer edge သို့မဟုတ် perimeter တစ်ဝိုက်တစ်ဝိုက်တွင် ပုံသဏ္ဍာန်တူညီမှုကို တိုးတက်စေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ Plasma etch processing ၏ ခိုင်မာမှု အတွက် အင်ဂျင်နီယာချုပ် ဖြင့် သန့်စင်သော အစိတ်အပိုင်းများ ဖြင့် ညစ်ညမ်းမှု နည်းပါးအောင် နှင့် အချိန်ဇယား မဆွဲဘဲ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်း ပါ။ SiC Coating ဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Focus Rings သည် ထူထဲပြီး ခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်းဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် မြင့်မားသော corrosion နှင့် အပူခံနိုင်ရည်ဂုဏ်သတ္တိများအပြင် ထူးကဲသောအပူစီးကူးမှုပါရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဓာတုငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြု၍ ဂရပ်ဖိုက်ပေါ်သို့ SiC ကို ပါးလွှာသောအလွှာတွင် လိမ်းသည်။

SiC Focus Rings ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β အဆင့်
သိပ်သည်းမှု	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	µm	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
အပူစွမ်းရည်	J kg-1 K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300

SiC Focus Rings ၏အင်္ဂါရပ်များ

- ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးတက်စေရန် CVD Silicon Carbide အပေါ်ယံပိုင်း။

- စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် သန့်စင်ပြီး တောင့်တင်းသော ကာဗွန်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည့် အပူလျှပ်ကာ။

- ကာဗွန်/ကာဗွန်ပေါင်းစပ်အပူပေးစက်နှင့် ပန်းကန်ပြား။ - ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ နှစ်ခုစလုံးသည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းရှိပြီး အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးခြင်းဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။

- တွင်းပေါက်ခံနိုင်ရည်နှင့် သက်တမ်းပိုမိုမြင့်မားစေရန်အတွက် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် SiC coating