Semicorex သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ၏ အကြီးစားထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းကို အာရုံစိုက်ပါသည်။ Semiconductor စက်ပစ္စည်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ Gas Inlet Ring သည် စျေးနှုန်းကောင်းမွန်ပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကဈေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
Semicorex Gas Inlet Ring သည် Semiconductor Equipment အတွက် SiC Coated ဖြစ်ပြီး၊ ထူထပ်ပြီး ခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်းဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် မြင့်မားသော corrosion နှင့် အပူခံနိုင်ရည်ဂုဏ်သတ္တိများအပြင် ထူးကဲသောအပူစီးကူးမှုပါရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဓာတုငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြု၍ ဂရပ်ဖိုက်ပေါ်သို့ SiC ကို ပါးလွှာသောအလွှာတွင် လိမ်းသည်။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ Gas Inlet Ring သည် အပူပရိုဖိုင်၏ညီညွှတ်မှုကိုသေချာစေရန် အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်တွင် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန် ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးရန် ကူညီပေးသည်။
Semiconductor Equipment အတွက် Gas Inlet Ring အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
Semiconductor စက်ပစ္စည်းအတွက် Gas Inlet Ring ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
Semiconductor Equipment အတွက် Gas Inlet Ring ၏ အင်္ဂါရပ်များ
â မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဂရပ်ဖိုက်
â သာလွန်သော အပူခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတူညီမှု
ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်အတွက် Fine SiC crystal coated
â ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။
â အက်ကြောင်းများနှင့် ကွဲအက်ခြင်းများ မဖြစ်ပေါ်စေရန် ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။