Semiconductor Processing အတွက် ကြာရှည်ခံသော Focus Rings

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများကို wafer အစွန်း သို့မဟုတ် ပတ်၀န်းကျင်တစ်ဝိုက်ရှိ ထုထည်တူညီမှုကို မြှင့်တင်ရန်၊ ညစ်ညမ်းမှုအနည်းဆုံးဖြစ်အောင်နှင့် အချိန်ဇယားမဆွဲဘဲ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုပြုလုပ်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းတို့သည် လျင်မြန်သော အပူအအေးခံခြင်း (RTA)၊ လျင်မြန်သော အပူပေးလုပ်ဆောင်ခြင်း (RTP) နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုအတွက် အလွန်တည်ငြိမ်ပါသည်။

Semicorex တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် အရည်အသွေးမြင့်၊ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော တာရှည်ခံအာရုံခံကွင်းများကို ပေးဆောင်ရန် အာရုံစိုက်ပြီး၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သုံးစွဲသူများ၏ စိတ်ကျေနပ်မှုကို ဦးစားပေးကာ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ဖြေရှင်းနည်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များနှင့် ထူးခြားသော ဖောက်သည်ဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးအပ်ကာ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများအကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများ၏အင်္ဂါရပ်များ

● တွင်းပေါက်ခံနိုင်ရည်နှင့် သက်တမ်းပိုမိုမြင့်မားရန်အတွက် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် SiC အပေါ်ယံပိုင်း။

● ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် SiC အလွှာနှစ်ခုစလုံးသည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။

● ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးတက်စေရန်အတွက် SiC ကို ပါးလွှာသော အလွှာများတွင် အသုံးပြုသည်။