Semiconductor Processing အတွက် ကြာရှည်ခံသော Focus Rings

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများကို Semicorex သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသည့် ပလာစမာအတက်အဆင်းအခန်းများ၏ လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ focus rings များကို သန့်ရှင်းလတ်ဆတ်သော ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး ထူထပ်ကာ ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။ SiC coating သည် မြင့်မားသော သံချေးတက်ခြင်းနှင့် အပူခံနိုင်ရည်ရှိသော ဂုဏ်သတ္တိများအပြင် လွန်စွာကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှုပါရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ focus rings များ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးတက်စေရန်အတွက် ဓာတုငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြု၍ ဂရပ်ဖိုက်ပေါ်တွင် SiC ကို အလွှာပါးလွှာသောအလွှာများတွင် အသုံးချပါသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများကို wafer အစွန်း သို့မဟုတ် ပတ်၀န်းကျင်တစ်ဝိုက်ရှိ ထုထည်တူညီမှုကို မြှင့်တင်ရန်၊ ညစ်ညမ်းမှုအနည်းဆုံးဖြစ်အောင်နှင့် အချိန်ဇယားမဆွဲဘဲ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုပြုလုပ်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းတို့သည် လျင်မြန်သော အပူအအေးခံခြင်း (RTA)၊ လျင်မြန်သော အပူပေးလုပ်ဆောင်ခြင်း (RTP) နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုအတွက် အလွန်တည်ငြိမ်ပါသည်။

Semicorex တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် အရည်အသွေးမြင့်၊ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော တာရှည်ခံအာရုံခံကွင်းများကို ပေးဆောင်ရန် အာရုံစိုက်ပြီး၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သုံးစွဲသူများ၏ စိတ်ကျေနပ်မှုကို ဦးစားပေးကာ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ဖြေရှင်းနည်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များနှင့် ထူးခြားသော ဖောက်သည်ဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးအပ်ကာ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများအကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β အဆင့်
သိပ်သည်းမှု	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	µm	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
Heat Capacity ၊	J kg-1 K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများ၏အင်္ဂါရပ်များ

● တွင်းပေါက်ခံနိုင်ရည်နှင့် သက်တမ်းပိုမိုမြင့်မားရန်အတွက် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် SiC အပေါ်ယံပိုင်း။

● ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် SiC အလွှာနှစ်ခုစလုံးသည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။

● ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးတက်စေရန်အတွက် SiC ကို ပါးလွှာသော အလွှာများတွင် အသုံးပြုသည်။

Hot Tags: ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တာရှည်ခံအာရုံခံကွင်းများ၊ တရုတ်၊ ထုတ်လုပ်သူများ၊ ပေးသွင်းသူများ၊ စက်ရုံ၊ စိတ်ကြိုက်၊ အစုလိုက်၊ အဆင့်မြင့်၊ တာရှည်ခံ

ထုတ်ကုန် Tag

ဆက်စပ်အမျိုးအစား