6 လက်မ SiC လှေ

Semicorex 6 Inch SiC Boat သည် ဓာတ်တိုးမှု၊ ပျံ့နှံ့မှုနှင့် အခြားအပူစွမ်းအင်ဆိုင်ရာ လုပ်ငန်းစဉ်များကဲ့သို့သော အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် အထူးသဖြင့် အပူချိန်မြင့်သော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် အဆင့်မြင့် wafer carrier တစ်ခုဖြစ်သည်။ အရည်အသွေးမြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် ဤထုတ်ကုန်သည် အရေးကြီးသောအပူချိန်မြင့်သည့်လုပ်ငန်းဆောင်စဉ်အတွင်း ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များကို ကိုင်ဆောင်ထားရန် ခိုင်ခံ့သောအဖြေကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး သာလွန်သောအပူတည်ငြိမ်မှု၊ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ် အနည်းဆုံးဖြစ်စေပါသည်။

6 Inch SiC Boat သည် ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ၎င်း၏ထူးခြားသောအပူဂုဏ်သတ္တိများ၊ ဓာတုဗေဒခံနိုင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံနိုင်မှုတို့အတွက် လူသိများသော သန့်စင်မြင့်ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ကို အသုံးပြု၍ ထုတ်လုပ်ထားသည်။ SiC ကို ၎င်း၏ မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ် (ခန့်မှန်းခြေ 2,700°C ခန့်) ကြောင့် ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် ပျံ့နှံ့ခြင်း မီးဖိုများတွင် wafer processing ကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်သော applications များအတွက် စံပြဖြစ်စေသောကြောင့် SiC ကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုပါသည်။ သင်္ဘော၏ဒီဇိုင်းသည် ကောင်းမွန်သောဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာခိုင်မာမှုနှင့်တူညီသောအပူဖြန့်ဖြူးမှုကိုသေချာစေသည်၊ ၎င်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု၊ ဓာတ်တိုးမှုနှင့်အခြားအပူကုသမှုများတွင်တစ်သမတ်တည်းရလဒ်များရရှိရန်အတွက်အရေးကြီးပါသည်။

အဓိကအင်္ဂါရပ်များနှင့် အကျိုးကျေးဇူးများ

မြင့်မားသောအပူဓာတ်တည်ငြိမ်မှု

SiC ၏ထူးခြားသောအပူစီးကူးမှုသည် 6 Inch SiC Boat သည် ကွဲထွက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်စီးခြင်းမရှိဘဲ လွန်ကဲသောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် သေချာစေသည်။ ဤပိုင်ဆိုင်မှုသည် ဓာတ်တိုးမှုနှင့် ပျံ့နှံ့မှုဖြစ်စဉ်များအတွင်း အထူးတန်ဖိုးရှိပြီး တိကျသောအပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုသည် တသမတ်တည်းရှိသော wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုခုခံမှု

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၏ မွေးရာပါ ဓာတုချေးစားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းသည် အောက်ဆီဂျင်၊ နိုက်ထရိုဂျင် သို့မဟုတ် အခြားသော ဓာတ်ပြုဒြပ်စင်များကဲ့သို့ ပြင်းထန်သောဓာတ်ငွေ့များနှင့် ထိတွေ့လေ့ရှိသည့် ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အသုံးပြုရန်အတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ သင်္ဘောသည် အပူချိန်မြင့်မားသော၊ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ဓာတ်ပြုပတ်ဝန်းကျင်တွင် ၎င်း၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး ညစ်ညမ်းမှုဖြစ်နိုင်ခြေကို လျှော့ချပေးသည်။

မြင့်မားသောအပူချိန်ကြာရှည်ခံမှု

6 Inch SiC Boat သည် အပူချိန် 1,500°C အထိ လုပ်ဆောင်ရန် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ဖြစ်ပြီး ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် ပျံ့နှံ့ခြင်းအပါအဝင် အပူချိန်မြင့်သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ လုပ်ငန်းစဉ်များစွာအတွက် လိုအပ်ပါသည်။ ဤမြင့်မားသော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်သည် လိုအပ်ချက်ရှိသော အပလီကေးရှင်းများတွင်ပင် တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို အာမခံပါသည်။

ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်နည်းပါးခြင်း။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် အရေးပါသောအချက်များထဲမှတစ်ခုမှာ wafer မျက်နှာပြင်၏ညစ်ညမ်းမှုကို နည်းပါးအောင်ပြုလုပ်ခြင်းဖြစ်သည်။ SiC ၏ အညစ်အကြေးနည်းသော အဆင့်များနှင့် ဓာတ်ပြုမှုမရှိသော သဘောသဘာဝသည် 6 Inch SiC Boat သည် သန့်ရှင်းပြီး ထိန်းချုပ်ထားသော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးကြောင်း သေချာစေပြီး စီမံဆောင်ရွက်နေစဉ်အတွင်း မလိုလားအပ်သော ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးသည်။

ယူနီဖောင်း Wafer ပံ့ပိုးမှု

လှေ၏ဒီဇိုင်းသည် wafer များကို အညီအမျှ ထောက်ပံ့ပေးနိုင်ပြီး အကောင်းဆုံးသော wafer ချိန်ညှိမှုကို ထိန်းသိမ်းကာ အပူချိန်မြင့်မားသော လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပျော့ပြောင်းခြင်း သို့မဟုတ် မှားယွင်းမှုမှန်သမျှကို ကာကွယ်ပေးပါသည်။ တစ်သမတ်တည်းရလဒ်များကိုသေချာစေရန်နှင့် wafer ချို့ယွင်းချက်များကိုကာကွယ်ရန်အတွက် ဤဝတ်စုံပံ့ပိုးမှုသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်စရာများ

6 Inch SiC Boat သည် မတူညီသော wafer အမျိုးအစားများအတွက် အံဝင်ခွင်ကျရှိသော အရွယ်အစား၊ ပုံသဏ္ဍာန်များနှင့် ဖွဲ့စည်းမှုပုံစံများအပါအဝင် ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။ ဓာတ်တိုးခြင်း၊ ပျံ့နှံ့ခြင်း သို့မဟုတ် အခြားအပူလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အသုံးပြုသည်ဖြစ်စေ လှေသည် ဖောက်သည်၏ သီးခြားလုပ်ငန်းစဉ်စီးဆင်းမှုအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ပြုလုပ်နိုင်သည်။

Semiconductor Manufacturing တွင်အသုံးချမှုများ

6 Inch SiC Boat ကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုတွင် အပူချိန်မြင့်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အဓိက အသုံးပြုပါသည်။ wafer လုပ်ငန်းစဉ်အောင်မြင်ရန်အတွက် အပူချိန်နှင့် လေထုကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ရန်လိုအပ်သည့် oxidation နှင့် diffusion မီးဖိုများတွင် အထူးသဖြင့် ထိရောက်မှုရှိပါသည်။

• ဓာတ်တိုးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ် ဓာတ်တိုးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ ဆီလီကွန်ဝေဖာများသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် အောက်ဆီဂျင်နှင့်ထိတွေ့ပြီး ပါးလွှာသောဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်အလွှာကို wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်၌ဖွဲ့စည်းသည်။ 6 Inch SiC Boat သည် ဤအပူချိန်မြင့်မားသောလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း wafer များကို လုံလုံခြုံခြုံနှင့် အညီအမျှ ကိုင်ဆောင်ထားပြီး ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် မှားယွင်းခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပြီး တူညီသော အောက်ဆိုဒ်အလွှာများ ကြီးထွားမှုကို သေချာစေသည်။
• ပျံ့နှံ့မှုဖြစ်စဉ်- ပျံ့နှံ့မှုဖြစ်စဉ်တွင်၊ ၎င်း၏လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကိုမွမ်းမံရန်၊ အညစ်အကြေးများကို ဆီလီကွန် wafer အတွင်းသို့ ထည့်သွင်းသည်။ SiC Boat သည် အရေးကြီးသောအဆင့်တွင် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပျံ့နှံ့မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို တိကျသောထိန်းချုပ်မှုတွင် အဓိကအရေးကြီးသည့်နေရာဖြစ်သည့် ဤအရေးကြီးသောအဆင့်တွင် wafers များအတွက် တည်ငြိမ်ပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသောပံ့ပိုးမှုပေးပါသည်။ ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူတည်ငြိမ်မှုသည် လိုချင်သော dopant ပရိုဖိုင်ကိုရရှိရန်အတွက် အရေးကြီးသောတူညီသောအပူပေးမှုကိုသေချာစေသည်။
• အခြား အပူချိန်မြင့် အက်ပ်များ ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် ပျံ့နှံ့ခြင်းအပြင်၊ 6 Inch SiC Boat ကို annealing၊ nitridation နှင့် epitaxial growth ကဲ့သို့သော အခြားသော အပူချိန်မြင့်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့်အပူရှော့တိုက်ခြင်းမှခံနိုင်ရည်ရှိသော၎င်းသည် semiconductor ကိရိယာထုတ်လုပ်ခြင်းအဆင့်အမျိုးမျိုးအတွက်စွယ်စုံရဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။

အခြားပစ္စည်းများထက် အားသာချက်များ

ဂရပ်ဖစ် သို့မဟုတ် ဂရပ်ဖိုက်ကဲ့သို့သော ရိုးရာပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် သိသာထင်ရှားသော အားသာချက်များကို ပေးဆောင်သည်။ ဂရပ်ဖိုက်လှေများသည် ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်နိုင်ပြီး ညစ်ညမ်းမှုကို မိတ်ဆက်နိုင်သော်လည်း ဂရပ်ဖိုက်လှေများသည် အပူရှော့နှင့် ဓာတုဗေဒတုံ့ပြန်မှုများကို ပိုမိုခံရနိုင်ချေရှိသည်။ SiC လှေများသည် ညစ်ညမ်းမှု၊ အပူမတည်ငြိမ်မှု သို့မဟုတ် ပျက်စီးယိုယွင်းမှုအန္တရာယ်များမရှိဘဲ ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် ၎င်းတို့၏စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ၎င်းသည် 6 Inch SiC Boat သည် အပူချိန်မြင့်သော semiconductor processing အတွက် ပိုမိုယုံကြည်စိတ်ချရပြီး ထိရောက်သော ရွေးချယ်မှုဖြစ်စေသည်။

Semicorex 6 Inch SiC Boat သည် အဆင့်မြင့် wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် လိုအပ်သော တည်ငြိမ်မှု၊ ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်နှင့် အပူပိုင်း စွမ်းဆောင်ရည်တို့ကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အရေးပါသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်မှု၊ ဓာတုချေးယူမှုကိုခံနိုင်ရည်ရှိပြီးညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်အနည်းဆုံးဖြစ်စေသည် oxidation၊ diffusion နှင့်အခြားအပူချိန်မြင့်မားသော semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက်အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်စေသည်။ သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး သို့မဟုတ် အကြီးစားထုတ်လုပ်မှုတွင် အသုံးပြုသည်ဖြစ်စေ 6 Inch SiC Boat သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် အရည်အသွေးအမြင့်ဆုံးရလဒ်များကို သေချာစေရန်အတွက် လိုအပ်သော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပေးဆောင်သည်။