TaC coating graphite ကို မူပိုင် ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာဖြင့် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို ဖုံးအုပ်ခြင်းဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။
Tantalum carbide (TaC) သည် တန်တလမ် နှင့် ကာဗွန်တို့ ပါဝင်သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် သတ္တုလျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် အရည်ပျော်မှတ် အထူးမြင့်မားသောကြောင့် ၎င်းကို ခိုင်ခံ့မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်နှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့အတွက် လူသိများသော သတ္တုဓာတ်သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်လာသည်။ Tantalum Carbides ၏ အရည်ပျော်မှတ်သည် သန့်ရှင်းမှုပေါ်မူတည်၍ 3880°C ခန့်တွင် အမြင့်ဆုံးဖြစ်ပြီး ဒွိဒြပ်ပေါင်းများကြားတွင် အမြင့်ဆုံး အရည်ပျော်မှတ်တစ်ခုရှိသည်။ MOCVD နှင့် LPE ကဲ့သို့သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အပူချိန်မြင့်မားသော လိုအပ်ချက်များသည် စွမ်းဆောင်ရည်ထက် ကျော်လွန်သောအခါ ၎င်းသည် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အခြားရွေးချယ်စရာတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။
Semicorex TaC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ပရောဂျက်များ |
ကန့်သတ်ချက်များ |
သိပ်သည်းမှု |
14.3 (gm/cm³) |
အငွေ့ပျံမှု |
0.3 |
CTE (×၁၀စာ-၆/K) |
6.3 |
မာကျောမှု (HK) |
2000 |
ခုခံမှု (Ohm-cm) |
1×10စာ-၅ |
အပူတည်ငြိမ်မှု |
<2500 ℃ |
Graphite Dimension ပြောင်းလဲခြင်း။ |
-10~-20um (ရည်ညွှန်းတန်ဖိုး) |
အပေါ်ယံအထူ |
≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
|
|
အထက်ဖော်ပြပါများသည် ပုံမှန်တန်ဖိုးများဖြစ်သည်။ |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Part သည် SiC crystal ကြီးထွားမှုနှင့် epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး တာရှည်ခံ Tantalum Carbide coating ဖြင့် အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် ဓာတုဒဏ်ခံနိုင်ရည်ကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။ Semicorex သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆန်းသစ်သောဖြေရှင်းချက်၊ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ လိုအပ်ချက်များနှင့်အညီ အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်သော ယုံကြည်စိတ်ချရသော၊ ကြာရှည်ခံသောအစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် ကျွမ်းကျင်မှုတို့ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coated Graphite Chuck သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် တိကျသော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် အပူချိန်မြင့်မားသောလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအက်ပလီကေးရှင်းများတောင်းဆိုရာတွင် အကောင်းဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကိုသေချာစေသည့် ၎င်း၏ဆန်းသစ်သော၊ တာရှည်ခံထုတ်ကုန်များအတွက် Semicorex ကိုရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC လက်စွပ်သည် SiC တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှုအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အကောင်းဆုံးသော ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် အပူချိန် ထိန်းချုပ်မှုတို့ကို သေချာစေသည်။ သင်၏ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည့် တာရှည်ခံပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဖြေရှင်းနည်းများကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများနှင့် တိကျသောအင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ ကျွမ်းကျင်မှုအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Tantalum Carbide Part သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုဆိုင်ရာအသုံးချမှုများတွင် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားစွာအသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် TaC-coated ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ပုံဆောင်ခဲအရည်အသွေးနှင့် ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော အရည်အသွေးမြင့် အစိတ်အပိုင်းများအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Tantalum Carbide rings များသည် အဆင့်မြင့် semiconductor ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့၏ထူးခြားမာကျောမှု၊ မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်နှင့် ဓာတုမသန်စွမ်းမှုတို့ကြောင့် လူသိများသော Semicorex တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ဖောက်သည်များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ဆန်းသစ်တီထွင်မှု၏ ရှေ့တန်းတွင်ရှိနေကြောင်း သေချာစေမည့် အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်အမြင့်ဆုံး ထုတ်ကုန်များကို ပေးအပ်ရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor သည် wafer အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်မြှင့်တင်ရန် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial ကြီးထွားမှုတွင် အသုံးပြုသည့် ဂရပ်ဖိုက်ဗန်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ သာလွန်ကောင်းမွန်သော SiC epitaxy ရလဒ်များနှင့် susceptor သက်တမ်းကို ပိုမိုသေချာစေမည့် ၎င်း၏အဆင့်မြင့် အပေါ်ယံနည်းပညာနှင့် တာရှည်ခံဖြေရှင်းချက်များအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။