Semicorex TAC coaced Planetary Plate သည် Mocvd Eplitaxial Plate အတွက်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသောအထူးတိကျသောအစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး Wafer အိတ်ကပ်များနှင့် optimized gas flow control နှင့်အတူဂြိုဟ်လှုပ်ရှားမှုများနှင့်အတူပါ 0 င်သောအစီအစဉ်ကိုပါ 0 င်သည်။ Semicorex ကိုရွေးချယ်ခြင်းဆိုသည်မှာ Semiconductor Industry အတွက်သိသိသာသာကြာရှည်ခံမှု,
Semicorex TAC coated Planetary Plate သည် MocvD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင်အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုအဖြစ်ဆောင်ရွက်သည်။ ၎င်း၏မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက်စီစဉ်ထားသော Wafer အိတ်ကပ်များဖြင့်ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာဒီဇိုင်းကိုပြသသည်။ ဤအိတ်ကပ်များသည် eafxaxial အလွှာ၏ကြီးထွားမှုအဆင့်တွင်မဆိုဤအိတ်များကိုယုံကြည်စိတ်ချစွာထားရှိရန်နှင့်အလွှာများကိုတည်ငြိမ်စေပြီးအဆင့်မြင့်လှုပ်ရှားမှုများကိုမြင့်တက်စေသည့်လုပ်ငန်းစဉ်အပူချိန်အောက်ရှိအလွှာလှုပ်ရှားမှုများကိုလျှော့ချနိုင်သည်။ Pocket Geometry အတိအကျအတိအကျသည်တူညီသောလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းစိုက်ပျိုးသူများအတွက် 0 တ်ထုတ်သူအထူနှင့်တူညီသည့်ချို့ယွင်းချက်များ၏တူညီသောချို့ယွင်းချက်များနှင့်တူညီသည့်ချို့ယွင်းချက်များနှင့်တူညီသည့်အလွှာချို့တဲ့မှုအဆင့်အတွက်အရေးကြီးသည့်တသမတ်တည်း wafer နေရာချထားမှုကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။
ဂြိုဟ်ပြား၏အရေးကြီးသောဒီဇိုင်းရှုထောင့်သည်ပန်းကန်၏မျက်နှာပြင်တလျှောက်တွင်ကောင်းမွန်သောဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုတွင်းများ၏အင်ဂျင်နီယာများပျံ့နှံ့နေခြင်းဖြစ်သည်။ ဤတွင်းများကိုဂရုတစိုက်ဒီဇိုင်းရေးဆွဲခြင်းနှင့်မဟာဗျူဟာကျကျအများအားဖြင့်ဓာတ်ပေါင်းဖိုရှိရှေ့ပြေးဓာတ်ငွေ့များစီးဆင်းမှုကိုအထူးသဖြင့်ပြင်ဆင်ထားသည်။ မည်သည့် MOCVD ဖြစ်စဉ်တွင်မဆို, ဓာတ်ငွေ့ဒိုင်းနမစ်၏ရှုထောင့်များသည်ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးများ, အပေါ် optimized အပေါက်ဒီဇိုင်းtac coatedဂြိုဟ်ပြားသည် wafers အားလုံးနှင့်အတူတူပင်ဖြစ်စဉ်များကိုတွေ့ကြုံခံစားနိုင်ကြောင်းသေချာစေသည်။
အပေြာင်းtac (tantalum carbide) အပေါ်ယံနောက်ထပ် planetary plate ၏စွမ်းဆောင်ရည်နှင့်ဘဝတိုးချဲ့။ Tantalum Carbide သည်အလွန်ခဲယဉ်းသည်, EstagAxy တွင်ဓာတ်ပေါင်းဖိုရှိအစိတ်အပိုင်းများသည်အပူချိန်မြင့်မားသောအပူချိန်, ဓာတ်ပြုခြင်းဆိုင်ရာရှေ့ပြေးဓာတ်ငွေ့များနှင့်ပလာစမာထိတွေ့မှုများကိုကြုံတွေ့ရလိမ့်မည်။ TAC Coating သည်အားဖြည့်ခြင်း, အောက်စီဂျင်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့်အမှုန်မျိုးဆက်မျိုးဆက်သစ်များကို uncoated သို့မဟုတ်သမားရိုးကျ coated plate ထက်သိသိသာသာတိုးချဲ့ရန်အတွက်ကြံ့ခိုင်ခြင်း,
TAC COCEated Planetary Plate ၏အသက်ရှည်မှုနှင့်ကြာရှည်ခံမှုက၎င်းသည် MOCVD စနစ်များအတွက်ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသည့်ရွေးချယ်မှုဖြစ်စေနိုင်သည်။ ကြာရှည်ခံသော Tac Layer သည်ထပ်ခါတလဲလဲအပူစက်ဘီးစီးခြင်းနှင့်တိုးချဲ့သည့်အချိန်ကုန်ခြင်းများပြုလုပ်နေစဉ်လုပ်ဆောင်မှု၏ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာသမာဓိနှင့်တည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းသိမ်းထားစဉ်အစွန်းရောက်လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့်ထိတွေ့ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
