TaC coating graphite ကို မူပိုင် ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာဖြင့် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို ဖုံးအုပ်ခြင်းဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။
Tantalum carbide (TaC) သည် တန်တလမ် နှင့် ကာဗွန်တို့ ပါဝင်သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် သတ္တုလျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် အရည်ပျော်မှတ် အထူးမြင့်မားသောကြောင့် ၎င်းကို ခိုင်ခံ့မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်နှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့အတွက် လူသိများသော သတ္တုဓာတ်သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်လာသည်။ Tantalum Carbides ၏ အရည်ပျော်မှတ်သည် သန့်ရှင်းမှုပေါ်မူတည်၍ 3880°C ခန့်တွင် အမြင့်ဆုံးဖြစ်ပြီး ဒွိဒြပ်ပေါင်းများကြားတွင် အမြင့်ဆုံး အရည်ပျော်မှတ်တစ်ခုရှိသည်။ MOCVD နှင့် LPE ကဲ့သို့သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အပူချိန်မြင့်မားသော လိုအပ်ချက်များသည် စွမ်းဆောင်ရည်ထက် ကျော်လွန်သောအခါ ၎င်းသည် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အခြားရွေးချယ်စရာတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။
Semicorex TaC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ပရောဂျက်များ |
ကန့်သတ်ချက်များ |
သိပ်သည်းမှု |
14.3 (gm/cm³) |
အငွေ့ပျံမှု |
0.3 |
CTE (×၁၀စာ-၆/K) |
6.3 |
မာကျောမှု (HK) |
2000 |
ခုခံမှု (Ohm-cm) |
1×10စာ-၅ |
အပူတည်ငြိမ်မှု |
<2500 ℃ |
Graphite Dimension ပြောင်းလဲခြင်း။ |
-10~-20um (ရည်ညွှန်းတန်ဖိုး) |
အပေါ်ယံအထူ |
≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
|
|
အထက်ဖော်ပြပါများသည် ပုံမှန်တန်ဖိုးများဖြစ်သည်။ |
|
Semicorex TaC coated showerhead သည် တုနှိုင်းမရတဲ့ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အသက်ရှည်မှုကို ပေးစွမ်းသည့် ဓာတုအခိုးအငွေ့များ စုပုံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ပါ၀င်ပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC coated chuck သည် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုနယ်ပယ်တွင် သိသာထင်ရှားသောတိုးတက်မှုကို ကိုယ်စားပြုသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။TaC Coating ဖြင့် Semicorex Porous Graphite သည် Silicon Carbide (SiC) crystals များကြီးထွားမှုတွင် အရေးကြီးသောစိန်ခေါ်မှုများကိုဖြေရှင်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အထူးပြုပစ္စည်းဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Tantalum Carbide Coated Porous Graphite သည် Silicon Carbide (SiC) crystal ကြီးထွားမှုနည်းပညာ၏ နောက်ဆုံးဆန်းသစ်တီထွင်မှုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် အခြားသော အပူချိန်မြင့်မားသော အသုံးချပရိုဂရမ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အထူးပြုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Tantalum Carbide Coating Chuck သည် အပူချိန်မြင့်မားပြီး စိတ်ဖိစီးမှုမြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် တိကျသော အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။