SiC coating သည် chemical vapor deposition (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် susceptor ပေါ်သို့ ပါးလွှာသောအလွှာဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းသည် ပြိုကွဲနေသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအား 10 ဆ၊ အပူချိန်နှင့် ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိသောပစ္စည်းကိုပေးဆောင်သည့် တီးဝိုင်းကွာဟမှု 3x အပါအဝင်၊ ဆီလီကွန်ထက် အားသာချက်များစွာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ပိုမိုကြာရှည်ခံသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်စေရန်၊ လည်ပတ်ချိန်များကို လျှော့ချပေးပြီး အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်စေပါသည်။
SiC coating တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များစွာရှိသည်။
မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု- CVD SiC coated susceptor သည် သိသာထင်ရှားသောအပူရှိန်ပြိုကွဲခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန် 1600°C အထိခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဓာတုခံနိုင်ရည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များအပါအဝင် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
Wear Resistance- SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ပြင်းထန်စွာ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်း ပါ၀င်သည့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
Thermal Conductivity- CVD SiC coating သည် ပစ္စည်းအား မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှု လိုအပ်သော အပူချိန်မြင့်သော application များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် မာကျောမှု- ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor သည် မြင့်မားသော ခိုင်ခံ့မှုနှင့် မာကျောမှုရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားလိုအပ်သော အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
SiC coating ကို အမျိုးမျိုးသော application များတွင် အသုံးပြုသည်။
LED ထုတ်လုပ်မှု- CVD SiC coated susceptor ကို အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV LED အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဖြစ်သည်။
မိုဘိုင်းဆက်သွယ်ရေး- CVD SiC coated susceptor သည် GaN-on-SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန် HEMT ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Semiconductor Processing- CVD SiC coated susceptor ကို wafer processing နှင့် epitaxial growth အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များအတွက် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုပါသည်။
SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ
Silicon Carbide Coating (SiC) graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် coating ကို CVD method ဖြင့် high density graphite grades များတွင် အသုံးပြုထားသောကြောင့် အပူချိန် 3000°C အထက်ရှိသော မီးဖိုထဲတွင် လည်ပတ်နိုင်ပြီး လေဟာနယ်တွင် 2200°C ရှိပါသည် .
ပစ္စည်း၏ အထူးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် သေးငယ်သောထုထည်သည် လျင်မြန်သော အပူနှုန်းများ၊ တူညီသော အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုကို ခွင့်ပြုပေးပါသည်။
Semicorex SiC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ရိုးရိုးဂုဏ်သတ္တိ |
ယူနစ် |
တန်ဖိုးများ |
ဖွဲ့စည်းပုံ |
|
FCC β အဆင့် |
တိမ်းညွှတ်မှု |
အပိုင်း (%) |
111 နှစ်ခြိုက်သည်။ |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု |
g/cm³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
အပူစွမ်းရည် |
J kg-1 K-1 |
640 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
နိဂုံး CVD SiC coated susceptor သည် susceptor နှင့် silicon carbide တို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ နှင့် မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု အပါအဝင် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုပြုပြင်ခြင်း၊ အပူကုသခြင်း၊ ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် LED ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
Semicorex သည် MOCVD အတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံထိန်းကိရိယာ၏ ထုတ်လုပ်သူနှင့် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာကိုကြီးထွားလာစေရန်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်း၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်အထူးဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ ထုတ်ကုန်ကို ဂီယာ သို့မဟုတ် လက်စွပ်ပုံစံ ဒီဇိုင်းဖြင့် MOCVD တွင် ဗဟိုပြားအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းသည် မြင့်မားသော အပူနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platform ၏ ကျော်ကြားသော ပေးသွင်းသူနှင့် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာကိုကြီးထွားလာစေရန်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်း၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်အထူးဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ ထုတ်ကုန်ကို ဂီယာ သို့မဟုတ် လက်စွပ်ပုံစံ ဒီဇိုင်းဖြင့် MOCVD တွင် ဗဟိုပြားအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းသည် မြင့်မားသော အပူနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် Wafer Epitaxy အတွက် အရည်အသွေးမြင့် MOCVD Cover Star Disc Plate ၏ ကျော်ကြားသော ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် အထူးသဖြင့် wafer ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာကိုကြီးထွားလာစေရန်အတွက်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်မှုလုပ်ငန်း၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်အထူးဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ susceptor ကို ဂီယာ သို့မဟုတ် လက်စွပ်ပုံစံ ဒီဇိုင်းဖြင့် MOCVD တွင် ဗဟိုပြားအဖြစ် အသုံးပြုပါသည်။ ထုတ်ကုန်သည် မြင့်မားသောအပူနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အလွန်အမင်းပတ်ဝန်းကျင်တွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် MOCVD Susceptor ၏ ထိပ်တန်းပေးသွင်းသူနှင့် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် အထူးသဖြင့် wafer ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာကြီးထွားမှုတွင်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်မှုလုပ်ငန်းများတွင်ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ susceptor ကို ဂီယာ သို့မဟုတ် လက်စွပ်ပုံစံ ဒီဇိုင်းဖြင့် MOCVD တွင် ဗဟိုပြားအဖြစ် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ထုတ်ကုန်သည် မြင့်မားသောအပူနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်စေသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် SiC Coated MOCVD Susceptor ၏ ဦးဆောင်ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်တွင် epitaxial အလွှာကိုကြီးထွားစေရန်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်မှုလုပ်ငန်းများအတွက်အထူးဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော Silicon Carbide ဖြင့်အုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်သယ်ဆောင်သူအား ဂီယာ သို့မဟုတ် လက်စွပ်ပုံစံဒီဇိုင်းဖြင့် MOCVD တွင်ဗဟိုပြားအဖြစ်အသုံးပြုသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ susceptor ကို MOCVD စက်ပစ္စည်းများတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုထားပြီး အပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ရှိစေရန်နှင့် လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် တည်ငြိမ်မှုကောင်းစေပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ၏ အကြီးစားထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းကို အာရုံစိုက်ပါသည်။ MOCVD အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Coated Graphite Susceptor သည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်စျေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။