Semicorex သည် semiconductor processing တွင် ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် သင်၏လုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများသည် အလွန်သိပ်သည်းပြီး အပူချိန်မြင့်မားပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer နှင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းတစ်ခုလုံးတွင် မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိပါသည်။
သန့်စင်မှုမြင့်မားသော SiC ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာရှိ လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အရေးကြီးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကမ်းလှမ်းချက်သည် Epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD အတွက် Silicon Carbide wafer boat၊ cantilever paddles၊ tubes စသည်တို့ကဲ့သို့သော wafer processing equipment အတွက် စားသုံးနိုင်သော အစိတ်အပိုင်းများမှ ကွာဝေးပါသည်။
semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အားသာချက်များ
epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD ကဲ့သို့သော ပါးလွှာသော ဖလင် စုဆောင်းခြင်း အဆင့်များ၊ သို့မဟုတ် etching သို့မဟုတ် ion implant ကဲ့သို့သော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။ Semicorex သည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) တည်ဆောက်မှုတွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်အား ပံ့ပိုးပေးသည်၊၊ တသမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်အတွက် အပူတူညီမှုပင်။
Chamber Lids →
ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသည့် Chamber Lids များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle သည် အထူးသဖြင့် diffusion နှင့် RTP ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ပျံ့နှံ့မှု သို့မဟုတ် LPCVD မီးဖိုများတွင် အသုံးပြုသည့် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
လုပ်ငန်းစဉ် Tube →
Process Tube သည် RTP, diffusion ကဲ့သို့သော semiconductor processing applications အမျိုးမျိုးတွင် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Wafer Boats →
Wafer Boat ကို semiconductor processing တွင်အသုံးပြုသည်၊ ၎င်းသည် နူးညံ့သိမ်မွေ့သော wafer များကို ထုတ်လုပ်မှု၏ အရေးကြီးသော အဆင့်များအတွင်း ဘေးကင်းစေရန် သေချာစေရန် စေ့စပ်သေချာစွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။
Inlet Rings →
MOCVD စက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသော SiC ဓာတ်ငွေ့အဝင်အဝိုင်းသည် မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်မှုရှိသည်။
အာရုံစူးစိုက်ကွင်း →
Semicorex သည် Silicon Carbide Coated focus ring သည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုသန့်ရှင်းရေးအတွက် အမှန်တကယ်တည်ငြိမ်သည်။
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks သည် wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဖြစ်သည်။
Semicorex တွင် Alumina (Al2O3)၊ Silicon Nitride (Si3N4)၊ Aluminum Nitride (AIN)၊ Zirconia (ZrO2)၊ Composite Ceramic စသည်တို့တွင် ကြွေထည်ပစ္စည်းများလည်း ပါရှိပါသည်။
Semicorex ZrO2 Crucible ကို တည်ငြိမ်သော zirconia ကြွေထည်မှ ဖန်တီးထားပြီး 94.7% zirconium dioxide (ZrO2) နှင့် 5.2% yttrium oxide (Y2O3) ကို အလေးချိန် ရာခိုင်နှုန်းအားဖြင့် သို့မဟုတ် တနည်းအားဖြင့် 97% ZrO2 နှင့် 3% Y2O3 mol ရာခိုင်နှုန်းဖြင့် တင်ပြပါသည်။ ဤတိကျသောဖော်မြူလာသည် ZrO2 Crucible အား စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောစက်မှုလုပ်ငန်းလုပ်ငန်းစဉ်များ၏လိုအပ်ချက်များကိုအထူးဖြည့်ဆည်းပေးသည့်အားသာချက်ရှိသောဝိသေသလက္ခဏာများအစုံအလင်ဖြင့်ထောက်ပံ့ပေးသည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Al2O3 Cutting Blade သည် ရုပ်ရှင်နှင့် သတ္တုပါး၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများနှင့် အီလက်ထရွန်နစ် အစိတ်အပိုင်းများ၏ ရှုပ်ထွေးပွေလီသော အစိတ်အပိုင်းများ တပ်ဆင်ခြင်းအပါအဝင် စက်မှုလုပ်ငန်းနယ်ပယ်အစုံတွင် ဖြတ်တောက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ပြင်းထန်သောတောင်းဆိုချက်များကို ပြည့်မီစေရန် စေ့စပ်သေချာစွာ တီထွင်ထားပါသည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။SiC Ceramic Seal Ring သည် ၎င်း၏ ကြံ့ခိုင်သော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုအတွက် ကျော်ကြားသည်။ Semicorex သည် ခေတ်မီစက်မှုလုပ်ငန်း၏ တင်းကျပ်သောတောင်းဆိုချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးသည့် အရည်အသွေးမြင့် SiC ကြွေထည်တံဆိပ်ကွင်းများကို ပေးဆောင်ပါသည်။ စက်တံဆိပ်များ၏ ထိရောက်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ရာတွင် ဤကွင်းများသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်လာပါသည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Furnace Tube သည် ၎င်းတို့၏ ပျံ့နှံ့မှု လုပ်ငန်းစဉ်များကို မြှင့်တင်ရန် ရည်ရွယ်သော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်သူများ အတွက် မရှိမဖြစ် လိုအပ်သော ပစ္စည်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ ပြိုင်ဘက်ကင်းသော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ၊ တိကျသောဒီဇိုင်းနှင့် အသုံးပြုရလွယ်ကူမှုတို့နှင့်အတူ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Furnace Tube သည် အထွက်နှုန်းနှင့် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။ လျင်မြန်သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ အခင်းအကျင်းတွင် သင်ထူးချွန်ရန် လိုအပ်သော နောက်ဆုံးပေါ်ဖြေရှင်းချက်များအား ပံ့ပိုးပေးရန် Semicorex အား ယုံကြည်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex မှ SiC Plate သည် ၎င်းတို့၏ ICP etching လုပ်ငန်းစဉ်များကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ရှာဖွေနေသည့် LED စက်မှုလုပ်ငန်းရှိ ထုတ်လုပ်သူတိုင်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ၊ တိကျသောအင်ဂျင်နီယာနှင့် ပေါင်းစပ်ရလွယ်ကူမှုတို့ဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Plate သည် စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် သင်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်း၏ ရှေ့တန်းတွင်ရှိနေရန် လိုအပ်သောဖြေရှင်းချက်များကို ပေးအပ်ရန် Semicorex အား ယုံကြည်ပါ။*
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex မှ AlN Heater သည် ဆီလီကွန် wafer များကို ပံ့ပိုးပေးပြီး အပူပေးရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ သန့်စင်မြင့်မားသော အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိတ် (AlN) မှ ဖန်တီးထားသည့် ဤအပူပေးစက်သည် အထူးသဖြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အမျိုးမျိုးသော တိကျမှုမြင့်မားသော အပလီကေးရှင်းများ၏ လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးသည့် အဆင့်မြင့်အင်္ဂါရပ်များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။**
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။