တရုတ် ကြွေ ထုတ်လုပ်သူများ၊ တင်သွင်းသူများ၊ စက်ရုံ

Semicorex သည် semiconductor processing တွင် ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် သင်၏လုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာများသည် အလွန်သိပ်သည်းပြီး အပူချိန်မြင့်မားပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer နှင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းတစ်ခုလုံးတွင် မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိပါသည်။

သန့်စင်မှုမြင့်မားသော SiC ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာရှိ လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အရေးကြီးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကမ်းလှမ်းချက်သည် Epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD အတွက် Silicon Carbide wafer boat၊ cantilever paddles၊ tubes စသည်တို့ကဲ့သို့သော wafer processing equipment အတွက် စားသုံးနိုင်သော အစိတ်အပိုင်းများမှ ကွာဝေးပါသည်။

semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အားသာချက်များ

epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD ကဲ့သို့သော ပါးလွှာသော ဖလင် စုဆောင်းခြင်း အဆင့်များ၊ သို့မဟုတ် etching သို့မဟုတ် ion implant ကဲ့သို့သော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။ Semicorex သည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) တည်ဆောက်မှုတွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ တသမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်အတွက် အပူတူညီမှုပင်။

Chamber Lids →
ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသည့် Chamber Lids များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။

Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle သည် အထူးသဖြင့် diffusion နှင့် RTP ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ပျံ့နှံ့မှု သို့မဟုတ် LPCVD မီးဖိုများတွင် အသုံးပြုသည့် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။

လုပ်ငန်းစဉ် Tube →
Process Tube သည် RTP, diffusion ကဲ့သို့သော semiconductor processing applications အမျိုးမျိုးတွင် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။

Wafer Boats →
Wafer Boat ကို semiconductor processing တွင်အသုံးပြုသည်၊ ၎င်းသည် နူးညံ့သိမ်မွေ့သော wafer များကို ထုတ်လုပ်မှု၏ အရေးကြီးသော အဆင့်များအတွင်း ဘေးကင်းစေရန် သေချာစေရန် စေ့စပ်သေချာစွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။

Inlet Rings →
MOCVD စက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသော SiC ဓာတ်ငွေ့အဝင်အဝိုင်းသည် မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်မှုရှိသည်။

အာရုံစူးစိုက်ကွင်း →
Semicorex သည် Silicon Carbide Coated focus ring သည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုသန့်ရှင်းရေးအတွက် အမှန်တကယ်တည်ငြိမ်သည်။

Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks သည် wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဖြစ်သည်။

Semicorex တွင် Alumina (Al2O3)၊ Silicon Nitride (Si3N4)၊ Aluminum Nitride (AIN)၊ Zirconia (ZrO2)၊ Composite Ceramic စသည်တို့တွင် ကြွေထည်ပစ္စည်းများလည်း ပါရှိပါသည်။