Semicorex သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန်အတွက် အဆင့်မြင့်၊ သန့်စင်မြင့် Silicon Carbide Coated အစိတ်အပိုင်းများကို တည်ဆောက်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ Semiconductor Wafer Chuck သည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်စျေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
Semicorex ultra-flat Semiconductor Wafer Chuck သည် wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဖြစ်သည်။ MOCVD စက်ပစ္စည်းများမှ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း Wafer Chuck ဒြပ်ပေါင်းကြီးထွားမှုသည် မြင့်မားသော အပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်မှုရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် အထွက်နှုန်းစီမံခန့်ခွဲမှုကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ မျက်နှာပြင်နိမ့်သော ဆက်သွယ်မှုပုံစံများသည် ထိလွယ်ရှလွယ် အပလီကေးရှင်းများအတွက် နောက်ကျောဘက်ရှိ အမှုန်အမွှားများ ဖြစ်နိုင်ချေကို နည်းပါးစေသည်။
Semiconductor Wafer Chuck ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
Semiconductor Wafer Chuck ၏အင်္ဂါရပ်များ
- ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးတက်စေရန် CVD Silicon Carbide အပေါ်ယံပိုင်း။
- အလွန်ပြန့်ကားသောစွမ်းရည်များ
- မြင့်မားသောတင်းမာမှု
- နိမ့်သောအပူချဲ့ထွင်
- အလွန်အမင်းဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်