စိတ်ကြိုက် SiC Cantilever Paddle

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle သည် wafer loading system နှင့် diffusion furnace အကြား အရေးကြီးသော ချိတ်ဆက်မှုအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပေးပြီး၊ အပူချိန်မြင့်သော အပြောင်းအလဲလုပ်ဇုန်သို့ ဆီလီကွန် wafers များ တင်ဆောင်သည့် quartz သို့မဟုတ် SiC wafer လှေများကို သယ်ဆောင်ရန် တာဝန်ရှိသည်။ ၎င်းတို့၏ ဒီဇိုင်းနှင့် ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများကို ဤတောင်းဆိုနေသော အလုပ်အတွက် စေ့စေ့စပ်စပ် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် ပြုလုပ်ထားပါသည်။

တည်ငြိမ်သော Wafer သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးအတွက် ခိုင်မာသော Cantilever Structureမီးဖိုထဲသို့ ဆန့်ထုတ်ထားသော တောင့်တင်းသောလက်တံဖြင့် သွင်ပြင်လက္ခဏာဖြစ်သော cantilevered ဒီဇိုင်းသည် ထူးခြားသောတည်ငြိမ်မှုနှင့် wafer လှုပ်ရှားမှုအပေါ် တိကျသောထိန်းချုပ်မှုကိုပေးသည်။ ၎င်းသည် သယ်ယူရာတွင် သယ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း wafer ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် မှားယွင်းခြင်း ဖြစ်နိုင်ခြေကို နည်းပါးစေပြီး တုန်ခါမှုကင်းသော သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးကို ချောမွေ့စေပြီး တုန်ခါမှုကင်းသော သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးကို သေချာစေသည်။

ထိရောက်သော Batch Processing အတွက် မြင့်မားသော Load CapacitySiC ကြွေထည်များ၏ မွေးရာပါ ခိုင်ခံ့မှုနှင့် တောင့်တင်းမှုသည် Custom SiC Cantilever Paddle အား ဆီလီကွန် wafers များ၏ လေးလံသောဝန်များကို ထားရှိနိုင်စေပြီး ပျံ့နှံ့မှုသံသရာတစ်ခုစီ၏ ဖြတ်သန်းမှုကို တိုးမြှင့်ကာ ထုတ်လုပ်မှုပမာဏ ပိုမိုမြင့်မားလာစေပါသည်။

ချောမွေ့စွာပေါင်းစပ်ခြင်းအတွက် တိကျသော Dimensional Control Custom SiC Cantilever Paddle ကို တိကျသော အတိုင်းအတာ သတ်မှတ်ချက်များ အတွက် စေ့စပ်သေချာစွာ ဖန်တီးထားပြီး ပျံ့နှံ့မှု မီးဖိုစနစ်အတွင်း ပြီးပြည့်စုံသော အံဝင်ခွင်ကျ ဖြစ်စေရန်နှင့် အလိုအလျောက် wafer ကိုင်တွယ် စက်ရုပ်များနှင့် ချောမွေ့စွာ ပေါင်းစပ်မှုကို လွယ်ကူချောမွေ့စေပါသည်။

အထူးသဖြင့် SiC ကြွေထည်များကို ရွေးချယ်ခြင်း။တုံ့ပြန်မှု Bonded Silicon Carbide (RBSiC)နှင့်Sintered Silicon Carbide (SSiC)Custom SiC Cantilever Paddle အတွက် ရွေးချယ်စရာ ပစ္စည်းသည် အပူချိန်မြင့်သော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ၎င်းတို့၏ ထူးခြားသော စွမ်းဆောင်မှု လက္ခဏာများ ကြောင့် ဖြစ်သည်-

မယိမ်းယိုင်သော မြင့်မားသော အပူချိန် တည်ငြိမ်မှု- Custom SiC Cantilever Paddle သည် ပျံ့နှံ့နေသော မီးဖိုများအတွင်း ကြုံတွေ့ရသည့် မြင့်မားသော အပူချိန် (1600°C အထိ) တွင်ပင် ပုံပျက်ခြင်းနှင့် ပုတ်ခြင်းတို့ကို ထူးခြားစွာ ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ၎င်းသည် တသမတ်တည်းရှိသော wafer အထောက်အပံ့ကို သေချာစေပြီး wafer တူညီမှုကို ထိခိုက်စေနိုင်သည့် လျော့ရဲခြင်း သို့မဟုတ် ကွေးခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပါသည်။

ထူးခြားသော အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်-ပျက်စီးမှုမရှိဘဲ လျင်မြန်သော အပူချိန်အကူးအပြောင်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းသည် မရေမတွက်နိုင်သော ပျံ့နှံ့မှုသံသရာများအတွင်း Custom SiC Cantilever Paddle ၏ သမာဓိကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။ SiC ကြွေထည်များသည် ဤကိစ္စရပ်တွင် ထူးချွန်ပြီး ကုန်ကျစရိတ်များစွာဖြင့် စက်ရပ်သွားနိုင်သည့် ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် အရိုးကျိုးခြင်းအန္တရာယ်ကို လျော့နည်းစေသည်။

တိကျသော ချိန်ညှိမှုအတွက် အပူချိန်နိမ့်ချဲ့ခြင်း-SiC ကြွေထည်များ၏ အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု အနည်းဆုံးဖြစ်သော Custom SiC Cantilever Paddle သည် လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း တွေ့ကြုံခံစားခဲ့ရသည့် ကျယ်ပြန့်သော အပူချိန်အကွာအဝေးတစ်လျှောက် ၎င်း၏အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားကြောင်း သေချာစေသည်။ တူညီသောအပူပေးမှုနှင့် တစ်သမတ်တည်းပျံ့နှံ့မှုပရိုဖိုင်များကို သေချာစေရန် မီးဖိုအတွင်း တိကျသော wafer ချိန်ညှိမှုကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် ၎င်းသည် အရေးကြီးပါသည်။