TaC coating graphite ကို မူပိုင် ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာဖြင့် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို ဖုံးအုပ်ခြင်းဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။
Tantalum carbide (TaC) သည် တန်တလမ် နှင့် ကာဗွန်တို့ ပါဝင်သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် သတ္တုလျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် အရည်ပျော်မှတ် အထူးမြင့်မားသောကြောင့် ၎င်းကို ခိုင်ခံ့မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်နှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့အတွက် လူသိများသော သတ္တုဓာတ်သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်လာသည်။ Tantalum Carbides ၏ အရည်ပျော်မှတ်သည် သန့်ရှင်းမှုပေါ်မူတည်၍ 3880°C ခန့်တွင် အမြင့်ဆုံးဖြစ်ပြီး ဒွိဒြပ်ပေါင်းများကြားတွင် အမြင့်ဆုံး အရည်ပျော်မှတ်တစ်ခုရှိသည်။ MOCVD နှင့် LPE ကဲ့သို့သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အပူချိန်မြင့်မားသော လိုအပ်ချက်များသည် စွမ်းဆောင်ရည်ထက် ကျော်လွန်သောအခါ ၎င်းသည် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အခြားရွေးချယ်စရာတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။
Semicorex TaC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ပရောဂျက်များ |
ကန့်သတ်ချက်များ |
သိပ်သည်းမှု |
14.3 (gm/cm³) |
အငွေ့ပျံမှု |
0.3 |
CTE (×၁၀စာ-၆/K) |
6.3 |
မာကျောမှု (HK) |
2000 |
ခုခံမှု (Ohm-cm) |
1×10စာ-၅ |
အပူတည်ငြိမ်မှု |
<2500 ℃ |
Graphite Dimension ပြောင်းလဲခြင်း။ |
-10~-20um (ရည်ညွှန်းတန်ဖိုး) |
အပေါ်ယံအထူ |
≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
|
|
အထက်ဖော်ပြပါများသည် ပုံမှန်တန်ဖိုးများဖြစ်သည်။ |
|
Semicorex TaC Coating Jig သည် ဂရပ်ဖိုက်မှ စေ့စေ့စပ်စပ် ဖန်တီးထားပြီး တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာ၏ ခံနိုင်ရည်ရှိသော အလွှာဖြင့် ခိုင်ခံ့သော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း အဓိက အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုအဖြစ် ရပ်တည်ပါသည်။ ဤအရေးပါသော ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ပျံ့နှံ့နေသော တင်းကြပ်သောလုပ်ငန်းဆောင်ရွက်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့် တိကျသောစံချိန်စံညွှန်းများကို ဖြည့်ဆည်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် နောက်ဆုံးပေါ်ပစ္စည်းများသိပ္ပံနှင့် တိကျသောအင်ဂျင်နီယာ၏ပေါင်းစပ်မှုကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coating Susceptor သည် အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် စေ့စေ့စပ်စပ် ဖန်တီးထားပြီး တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာဖြင့် ခိုင်ခံ့သော ပစ္စည်းအင်ဂျင်နီယာတွင် အထွတ်အထိပ်ကို ကိုယ်စားပြုပါသည်။ SiC ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း အလုပ်အကိုင်အတွက် အဓိကအားဖြင့် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ထားပြီး၊ ဤဆန်းသစ်သောအစိတ်အပိုင်းသည် အလွန်အမင်းအပူနှင့် ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကြာရှည်ခံမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်၏ မီးရှူးတန်ဆောင်တစ်ခုအဖြစ် ရပ်တည်လျက်ရှိသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Tantalum Carbide Coated Ring သည် semiconductor processing တွင်အသုံးပြုသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်များအတွင်းရှိ ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် လုပ်ဆောင်ချက်များစွာကို ဆောင်ရွက်ပေးသည့် အထူးပြုအလွှာဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coated Graphite Parts များသည် semiconductor processing ၏ လိုအပ်ချက်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် တိကျစွာဖန်တီးထားသော အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coating Graphite Cover သည် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် epitaxial (epi) လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အပူအသုံးချမှုနယ်ပယ်တွင် နောက်ဆုံးပေါ်ဖြေရှင်းချက်ကို ကိုယ်စားပြုသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coating Ring သည် အပူစက်ကွင်းအတွင်းရှိ monocrystal ကြီးထွားမှုနယ်ပယ်တွင် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုအဖြစ် ရပ်တည်နေသည်။ တိကျမှုနှင့် ဆန်းသစ်တီထွင်မှုဖြင့် ဖန်တီးထားသော ဤအထူးပြုလမ်းညွှန်လက်စွပ်သည် monocrystalline ပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှု၏ ရှုပ်ထွေးသောလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။