TaC coating graphite ကို မူပိုင် ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာဖြင့် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို ဖုံးအုပ်ခြင်းဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။
Tantalum carbide (TaC) သည် တန်တလမ် နှင့် ကာဗွန်တို့ ပါဝင်သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် သတ္တုလျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် အရည်ပျော်မှတ် အထူးမြင့်မားသောကြောင့် ၎င်းကို ခိုင်ခံ့မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်နှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့အတွက် လူသိများသော သတ္တုဓာတ်သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်လာသည်။ Tantalum Carbides ၏ အရည်ပျော်မှတ်သည် သန့်ရှင်းမှုပေါ်မူတည်၍ 3880°C ခန့်တွင် အမြင့်ဆုံးဖြစ်ပြီး ဒွိဒြပ်ပေါင်းများကြားတွင် အမြင့်ဆုံး အရည်ပျော်မှတ်တစ်ခုရှိသည်။ MOCVD နှင့် LPE ကဲ့သို့သော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အပူချိန်မြင့်မားသော လိုအပ်ချက်များသည် စွမ်းဆောင်ရည်ထက် ကျော်လွန်သောအခါ ၎င်းသည် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အခြားရွေးချယ်စရာတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။
Semicorex TaC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ပရောဂျက်များ |
ကန့်သတ်ချက်များ |
သိပ်သည်းမှု |
14.3 (gm/cm³) |
အငွေ့ပျံမှု |
0.3 |
CTE (×၁၀စာ-၆/K) |
6.3 |
မာကျောမှု (HK) |
2000 |
ခုခံမှု (Ohm-cm) |
1×10စာ-၅ |
အပူတည်ငြိမ်မှု |
<2500 ℃ |
Graphite Dimension ပြောင်းလဲခြင်း။ |
-10~-20um (ရည်ညွှန်းတန်ဖိုး) |
အပေါ်ယံအထူ |
≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
|
|
အထက်ဖော်ပြပါများသည် ပုံမှန်တန်ဖိုးများဖြစ်သည်။ |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor သည် Semiconductor epitaxial (epi) လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) မီးဖိုများတွင် အသုံးပြုသည့် အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate သည် အထူးသဖြင့် epitaxial (epi) လုပ်ဆောင်ခြင်း အဆင့်တွင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ တင်းကြပ်သော တောင်းဆိုချက်များကို ဖြည့်ဆည်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော နောက်ဆုံးပေါ်ဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex TaC Coated Guide Ring၊ SiC (Silicon Carbide) တစ်ခုတည်းသော ကြီးထွားမှု မီးဖိုများတွင် ဆန်းသစ်တီထွင်မှု၏ အထွတ်အထိပ်ဖြစ်သည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ တိကျသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် စေ့စေ့စပ်စပ်ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး၊ ဤလမ်းညွှန်လက်စွပ်သည် သင်၏ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်များကို ပြိုင်ဘက်ကင်းသောတိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုဖြင့် ပြန်လည်သတ်မှတ်ပေးမည်ဟု ကတိပြုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။သင်၏ wafer epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို ထိရောက်မှုနှင့် တိကျမှုအသစ်များဆီသို့ မြှင့်တင်ရန်အတွက် တော်လှန်သောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည့် Semicorex ဖြတ်တောက်ထားသော TaC Coated Graphite Susceptor၊ ပြိုင်ဘက်ကင်းသော ကျွမ်းကျင်မှုဖြင့် ဖန်တီးထားပြီး ခေတ်မီဆန်းသစ်သော နည်းပညာကို အသုံးပြု၍ Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ တိကျသောလိုအပ်ချက်များကို ပြည့်မီစေရန် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ထားပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုဖြင့် အရည်အသွေးမြင့် Tantalum Carbide Coated Graphite အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုဖြင့် Tantalum Carbide Coated Graphite Susceptor ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။