Semicorex TaC Coating Susceptor သည် အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် စေ့စေ့စပ်စပ် ဖန်တီးထားပြီး တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာဖြင့် ခိုင်ခံ့သော ပစ္စည်းအင်ဂျင်နီယာတွင် အထွတ်အထိပ်ကို ကိုယ်စားပြုပါသည်။ SiC ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း အလုပ်အကိုင်အတွက် အဓိကအားဖြင့် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ထားပြီး၊ ဤဆန်းသစ်သောအစိတ်အပိုင်းသည် အလွန်အမင်းအပူနှင့် ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကြာရှည်ခံမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်၏ မီးရှူးတန်ဆောင်တစ်ခုအဖြစ် ရပ်တည်လျက်ရှိသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
TaC (Tantalum Carbide) Coating Susceptor သည် အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်မှ စေ့စေ့စပ်စပ် ဖန်တီးထားပြီး တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာဖြင့် ခိုင်ခံ့သော ပစ္စည်းအင်ဂျင်နီယာတွင် အထွတ်အထိပ်ကို ကိုယ်စားပြုသည်။ SiC ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း အလုပ်အကိုင်အတွက် အဓိကအားဖြင့် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ထားပြီး၊ ဤဆန်းသစ်သောအစိတ်အပိုင်းသည် အလွန်အမင်းအပူနှင့် ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကြာရှည်ခံမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်၏ မီးရှူးတန်ဆောင်တစ်ခုအဖြစ် ရပ်တည်လျက်ရှိသည်။
TaC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဘက်စုံသုံး ရည်ရွယ်ချက်များဖြင့် လုပ်ဆောင်ပေးကာ တုံ့ပြန်မှုများ၏ stoichiometry ကို စေ့စေ့စပ်စပ် ထိန်းသိမ်းကာ crystal ကြီးထွားမှုနှင့် epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း မသန့်ရှင်းသော ရွှေ့ပြောင်းခြင်းကို လျော့ပါးစေပြီး ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။ epitaxial အလွှာများနှင့် ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံများထဲသို့ မသန့်ရှင်းမှုများ ဝင်ရောက်ခြင်းမှ အကာအကွယ်ပေးခြင်းဖြင့် TaC Coating Susceptor သည် အထွက်နှုန်းနှင့် အရည်အသွေး ရလဒ်များကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
ဤလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ပေါက်ဖွားလာသော အပူချိန်ကျဲကျဲကျဲများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် TaC Coating Susceptor သည် 2200°C ထက်ကျော်လွန်သော ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ပင် ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှုကို ပြသသည်။ ပြိုင်ဆိုင်မှုမရှိသော ခံနိုင်ရည်အားသည် အလွန်အမင်း အပူဒဏ်နှင့် ရင်ဆိုင်ရချိန်တွင် ချောမွေ့စွာလုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းကို သေချာစေပြီး အလျှော့မပေးဘဲ ဆက်တိုက်လုပ်ဆောင်မှုကို ပေးသည်။
TaC Coating Susceptor ၏ ခိုင်ခံ့သောတည်ဆောက်မှုသည် ဟိုက်ဒရိုဂျင် (H2)၊ အမိုးနီးယား (NH3)၊ silane (SiH4) နှင့် ဆီလီကွန် (Si) တို့၏ အဆိပ်သင့်စေသော သက်ရောက်မှုများကို ပေးစွမ်းနိုင်သောကြောင့် ကြမ်းတမ်းသော ဓာတုပတ်၀န်းကျင်များ၏ ပြင်းထန်သော ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ အတားအဆီးများကို အကာအကွယ်ပေးပါသည်။ ဤဝိသေသလက္ခဏာသည် တင်းကြပ်သောဓာတုသဟဇာတဖြစ်မှုလိုအပ်သော အပလီကေးရှင်းများတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အရာတစ်ခုဖြစ်လာစေပြီး အလိုအပ်ဆုံးအခြေအနေများအောက်တွင် လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုခိုင်မာမှုကို သေချာစေသည်။
ထို့အပြင်၊ TaC Coating Susceptor သည် လုပ်ငန်းစဉ်၏ သမာဓိကို ထိခိုက်စေနိုင်သည့် ပြင်ပမှ အညစ်အကြေးများ သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းမှုများကို ဖယ်ရှားရန် စေ့စပ်သေချာစွာ တီထွင်ထားသော အလွန်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ပါသည်။ ၎င်း၏ အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုဖွဲ့စည်းမှုတွင် သန့်ရှင်းမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို အာမခံသည်၊၊ ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးနှင့် အထွက်နှုန်းကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ရန် ၎င်း၏မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောအခန်းကဏ္ဍကို အလေးပေးဖော်ပြသည်။