TaC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ်

၏လုပ်ဆောင်ချက်TaC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ်:

တိကျသောဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုထိန်းချုပ်ရေး-TaC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ် သည် MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖို၏ ဓာတ်ငွေ့ဆေးထိုးစနစ်အတွင်းတွင် ဗျူဟာမြောက် နေရာယူထားသည်။ ၎င်း၏ အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ ရှေ့ပြေးဓာတ်ငွေ့များ စီးဆင်းမှုကို ညွှန်ကြားရန်နှင့် ဆပ်စထရိတ် wafer မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် ၎င်းတို့၏ တစ်ပြေးညီ ဖြန့်ဖြူးမှုကို သေချာစေရန်ဖြစ်သည်။ တူညီသော epitaxial အလွှာကြီးထွားမှုနှင့် လိုချင်သောပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများရရှိရန်အတွက် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုဒိုင်းနမစ်များအပေါ် တိကျသောထိန်းချုပ်မှုသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

အပူပိုင်းစီမံခန့်ခွဲမှု-TaC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ် သည် အပူပေးခံကိရိယာနှင့် အောက်စထရိတို့နှင့် နီးကပ်နေသောကြောင့် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် လုပ်ဆောင်လေ့ရှိသည်။ TaC ၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းသည် အပူကို ထိထိရောက်ရောက် ပြေပျောက်စေပြီး၊ ဒေသအလိုက် အပူလွန်ကဲခြင်းကို တားဆီးကာ တုံ့ပြန်မှုဇုန်အတွင်း တည်ငြိမ်သော အပူချိန်ပရိုဖိုင်ကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။

MOCVD တွင် TaC ၏အားသာချက်များ

အပူချိန်လွန်ကဲသော ခုခံမှု-TaC သည် 3800°C ထက်ကျော်လွန်သော အရာများအားလုံးတွင် အရည်ပျော်သည့်အချက်များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ 

ထူးထူးခြားခြား ဓာတုမသန်စွမ်းမှု-TaC သည် MOCVD တွင်အသုံးပြုသည့် အမိုးနီးယား၊ ဆီလိန်းနှင့် သတ္တု-အော်ဂဲနစ်ဒြပ်ပေါင်းများကဲ့သို့ ဓာတ်ပြုရှေ့ပြေးဓာတ်ငွေ့များမှ ခြွင်းချက်မရှိ ခြွင်းချက်မရှိ ခုခံနိုင်စွမ်းကို ပြသသည်။

Corrosion Resistance ကို TaC နှင့် SiC နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။

နိမ့်သော အပူပိုင်း ချဲ့ထွင်မှု-MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း အပူချိန်အတက်အကျများကြောင့် TaC ၏အပူချဲ့ခြင်း၏နိမ့်သောကိန်းဂဏန်းသည် အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများကို နည်းပါးစေသည်။ 

မြင့်မားသော ခံနိုင်ရည်ရှိမှု-TaC ၏ မာကျောမှုနှင့် တာရှည်ခံမှုသည် MOCVD စနစ်အတွင်း ဓာတ်ငွေ့များ အဆက်မပြတ်စီးဆင်းမှုနှင့် အလားအလာရှိသော အမှုန်အမွှားများထံမှ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် စုတ်ပြဲခြင်းကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ 

MOCVD စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် အကျိုးကျေးဇူးများ-

MOCVD စက်များတွင် Semicorex TaC Coating Guide Ring ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် သိသိသာသာပါဝင်သည်-

ပိုမိုကောင်းမွန်သော Epitaxial Layer တူညီမှု-TaC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ် မှပံ့ပိုးပေးသော တိကျသောဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုထိန်းချုပ်မှုသည် တစ်သမတ်တည်းရှေ့ပြေးပျံ့နှံ့မှုကိုသေချာစေပြီး၊ တစ်သမတ်တည်းအထူနှင့်ဖွဲ့စည်းမှုနှင့်အတူ အလွန်တူညီသော epitaxial အလွှာကြီးထွားမှုကိုဖြစ်ပေါ်စေသည်။

ပိုမိုကောင်းမွန်သော လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှု-TaC ၏ အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် ဓာတုဗေဒ အားနည်းမှုသည် MOCVD အခန်းအတွင်း ပိုမိုတည်ငြိမ်ပြီး ထိန်းချုပ်ထားသော တုံ့ပြန်မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးကာ လုပ်ငန်းစဉ်ကွဲလွဲမှုများကို လျော့နည်းစေပြီး မျိုးပွားနိုင်စွမ်းကို တိုးတက်စေသည်။

တိုးမြှင့်ထားသော စက်ကိရိယာများ အလုပ်ချိန်-TaC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ် ၏ကြာရှည်ခံမှုနှင့် သက်တမ်းတိုးခြင်းသည် မကြာခဏ အစားထိုးမှုများပြုလုပ်ရန် လိုအပ်ကြောင်း၊ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုရပ်နားချိန်ကို လျှော့ချရန်နှင့် MOCVD စနစ်၏ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှု ထိရောက်မှုကို အမြင့်ဆုံးဖြစ်စေသည်။