TaC Coated Showerhead

Semicorex TaC coated showerhead သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အဓိကအသုံးပြုသည့် အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် သေးငယ်သောဖလင်များကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များပေါ်တွင် တင်ဆောင်သည့် CVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ TaC coated showerhead ၏အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များကို တစ်ပြေးညီ ဖြန့်ဝေပေးရန်ဖြစ်ပြီး coating နှင့် အကောင်းဆုံးဖလင်အရည်အသွေးကို အာမခံပါသည်။

Tantalum carbide (TaC) သည် ၎င်း၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် ရေချိုးခေါင်းကို ဖုံးအုပ်ရန်အတွက် ရွေးချယ်ထားသည်။ TaC သည် ၎င်း၏ အလွန်မာကျောမှု၊ မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ် နှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူနှင့် ဓာတုဗေဒ တည်ငြိမ်မှုအတွက် လူသိများသည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များပျံ့နှံ့နေသည့် PECVD လုပ်ငန်းစဉ်၏ ပြင်းထန်သောအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော TaC coated ရေချိုးခေါင်းကို စံပြဖြစ်စေသည်။ TaC coating သည် ရေပန်းခေါင်း၏ ကြာရှည်ခံမှုနှင့် သက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးမြင့်စေပြီး မကြာခဏ အစားထိုးခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လိုအပ်မှုကို လျှော့ချပေးသည်။

TaC coated showerhead ၏ ဒီဇိုင်းသည် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုနှင့် ဖြန့်ဖြူးမှုကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် စေ့စပ်သေချာစွာ တီထွင်ထားသည်။ ၎င်းတွင် ဖြစ်စဉ်ဓာတ်ငွေ့များကို ဓာတ်ပြုခန်းထဲသို့ ထည့်သွင်းပေးသည့် တိကျစွာနေရာယူထားသော အပေါက်များစွာကို ပါရှိသည်။ wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ တူညီသောဖလင်များ စုပုံလာစေရန်အတွက် ဓာတ်ငွေ့များကိုပင် ဖြန့်ဖြူးပေးခြင်းသည် အရေးကြီးပါသည်။ ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုတွင် ပုံမမှန်မှုများသည် ပါးလွှာသောဖလင်တွင် ချို့ယွင်းချက်ဖြစ်စေနိုင်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ဆိုးရွားစွာထိခိုက်စေပါသည်။

Semicorex TaC coated showerhead သည် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး လိုက်လျောညီထွေမရှိသော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပေးဆောင်သည်။ တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာမှရရှိသည့် ၎င်း၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများသည် PECVD လုပ်ငန်းစဉ်၏ ကြမ်းတမ်းသောအခြေအနေများကို တာရှည်ခံမှုနှင့် ခံနိုင်ရည်သေချာစေပါသည်။ ၎င်း၏တိကျသောဒီဇိုင်းနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သောလုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းများဖြင့် TaC coated showerhead သည် အရည်အသွေးမြင့်ပါးလွှာသောဖလင်စုဆောင်းမှုကိုရရှိစေရန်အတွက် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပြီး နောက်ဆုံးတွင်အဆင့်မြင့်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများထုတ်လုပ်ရန် ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ စက်မှုလုပ်ငန်း တိုးတက်ပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ ထိုကဲ့သို့သော ဆန်းသစ်တီထွင်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများ၏ အရေးပါမှုသည် ကြီးထွားလာကာ မျိုးဆက်သစ် semiconductor နည်းပညာအတွက် လမ်းခင်းပေးမည်ဖြစ်သည်။