TaC-coated Seal Ring

Semicorex TaC-coated Seal Ring သည် ပလာစမာ etch chemistry (ဥပမာ၊ ဖလိုရင်း၊ ကလိုရင်း၊ ဘရိုမင်)၊ dopants (ဥပမာ၊ ဘိုရွန်၊ ဖော့စဖရပ်စ်) နှင့် ပလာစမာ ဓာတုဗေဒပစ္စည်းများ (ဥပမာ၊ ဘိုရွန်၊ ဖော့စဖရပ်)၊ သန့်ရှင်းရေးအေးဂျင့်။ ဤမသန်မစွမ်းမှုသည် တံဆိပ်ပြိုကွဲခြင်းနှင့် ထိလွယ်ရှလွယ် လုပ်ငန်းစဉ်အခန်းများ၏ ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးသည်။

နှင့် 3800°C ထက်ကျော်လွန်သော အရည်ပျော်မှတ်ဖြင့် TaC-coated Seal Ring သည် wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ကြုံတွေ့ရသော မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ၎င်း၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ခိုင်မာမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအားကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်မြင့်သော လိမ်းခြင်း၊ ထုတ်ယူခြင်းနှင့် ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ယုံကြည်စိတ်ချရသော တံဆိပ်ခတ်ခြင်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေသည်။

TaC-coated Seal Ring ၏ အလွန်မာကျောမှုနှင့် ပွတ်တိုက်မှုနည်းသောကိန်းဂဏန်းများသည် ဝတ်ဆင်မှု၊ ခြစ်ရာနှင့် ပွန်းပဲ့မှုတို့ကို ထူးခြားစွာခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ wafer များနှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများနှင့် ထပ်ခါတလဲလဲ ရွေ့လျားခြင်း သို့မဟုတ် အမှုန်အမွှားများထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် တံဆိပ်ခတ်ခြင်းပျက်ကွက်ခြင်းတို့ကို ဖြစ်စေနိုင်သည့် ရွေ့လျားမှုပိတ်ခြင်းဆိုင်ရာ အလွှာများတွင် ၎င်းသည် အရေးကြီးပါသည်။

TaC-coated Seal Ring သည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်ပင် ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှုနှုန်း အလွန်နည်းပါးပြီး လေဟာနယ်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် စံပြဖြစ်စေပါသည်။ ၎င်းသည် လုပ်ငန်းစဉ် သန့်စင်မှုကို သေချာစေပြီး ထိခိုက်လွယ်သော wafer မျက်နှာပြင်များပေါ်တွင် မလိုလားအပ်သော ညစ်ညမ်းမှုများ ပေါက်ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးသည်။

Semiconductor Applications များတွင် သီးခြားအကျိုးကျေးဇူးများ-

သက်တမ်းတိုး တံဆိပ် သက်တမ်း-TaC-coated Seal Ring သည် ဓာတုတိုက်ခိုက်မှု၊ အပူပြိုကွဲမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဝတ်ဆင်မှုတို့ကို သာလွန်ကောင်းမွန်စွာ ခံနိုင်ရည်ရှိစေခြင်းဖြင့် တံဆိပ်၏သက်တမ်းကို သိသိသာသာတိုးစေသည်။ ၎င်းသည် တံဆိပ်တုံးများ လဲလှယ်ခြင်း အကြိမ်ရေကို လျော့နည်းစေပြီး စက်ရပ်ချိန်နှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု ကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးသည်။

ပိုမိုကောင်းမွန်သော လုပ်ငန်းစဉ် အထွက်နှုန်းနှင့် Wafer အရည်အသွေး-TaC-coated Seal Ring ၏ ပျော့ပျောင်းသော သဘောသဘာဝသည် အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ညစ်ညမ်းမှုကို လျော့နည်းစေပြီး လုပ်ငန်းစဉ် အထွက်နှုန်း မြင့်မားပြီး wafer အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ၎င်းသည် တင်းကြပ်သောချို့ယွင်းချက်သည်းခံနိုင်မှုရှိသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်များထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။

ပိုမိုကောင်းမွန်သော စက်ကိရိယာများ အချိန်နှင့် ကုန်ထုတ်စွမ်းအား-သက်တမ်းပိုရှည်ခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လိုအပ်ချက်များ လျော့ချခြင်းသည် စက်ကိရိယာများ တိုးမြှင့်ချိန်နှင့် အလုံးစုံကုန်ထုတ်စွမ်းအားကို အထောက်အကူပြုသည်။ ၎င်းသည် အထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ရန်နှင့် ထုထည်မြင့်သော semiconductor ထုတ်လုပ်မှု၏ လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။