TaC Coated Planetary Susceptor

Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer ထုတ်လုပ်မှု၏ အရည်အသွေးနှင့် ထိရောက်မှုကို သေချာစေရန်အတွက် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ဂရပ်ဖိုက်နှင့် tantalum carbide (TaC) ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည့် TaC Coated Planetary Susceptor သည် ခေတ်မီတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၏လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီသည့် ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်လက္ခဏာများကိုပေးဆောင်သည်။

Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor သည် ၎င်း၏ထူးခြားသောအပူဂုဏ်သတ္တိများ၊ စက်စွမ်းအားနှင့် အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်အတွက် ရွေးချယ်ထားသော သန့်ရှင်းသောဂရပ်ဖိုက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောမာကျောမှု၊ အရည်ပျော်မှတ်မြင့်မားမှုနှင့် ထူးခြားသည့်ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်အတွက် လူသိများသော ဂရပ်ဖိုက်ခံခံကိရိယာအား တန်တလမ်ကာဘိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့် မြှင့်တင်ထားသည်။ TaC coating သည် အကာအကွယ်အလွှာတစ်ခုအနေဖြင့် လုပ်ဆောင်ပြီး ဂရပ်ဖိုက်များကို အဆိပ်သင့်စေသော ဓာတ်ငွေ့များနှင့် epitaxial ကြီးထွားမှုအတွင်း ကြုံတွေ့ရသော ပြင်းထန်သောဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များမှ ကာကွယ်ပေးသည်။ TaC ၏ မြင့်မားသော မာကျောမှုသည် susceptor ၏ တာရှည်ခံမှုကို တိုးမြင့်စေပြီး ဝတ်ဆင်မှုကို လျှော့ချကာ ၎င်း၏ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှု သက်တမ်းကို တိုးစေသည်။

TaC Coated Planetary Susceptor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များပေါ်တွင် epitaxial အလွှာများ အပ်နှံခြင်းအတွက် တည်ငြိမ်ပြီး တစ်ပြေးညီသော ပလပ်ဖောင်းတစ်ခုကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ susceptor ၏ ဂြိုလ်ပုံစံဒီဇိုင်းသည် wafer မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို တိကျစွာနှင့်ပင် ခွင့်ပြုပေးသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၏စွမ်းဆောင်ရည်အတွက်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောတသမတ်တည်းနှင့်အရည်အသွေးမြင့် epitaxial အလွှာများရရှိရန်ဤတူညီသောအပူပေးခြင်းသည်အရေးကြီးပါသည်။ TaC Coated Planetary Susceptor သည် တူညီသော အပူချိန် ဖြန့်ဖြူးမှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်မှု စွမ်းရည်သည် ချို့ယွင်းချက်များကို လျော့နည်းစေပြီး epitaxial အလွှာများ၏ ခိုင်မာမှုကို သေချာစေသည်။

၎င်း၏အပူနှင့်ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများအပြင်၊ TaC Coated Planetary Susceptor သည် epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်း၏ ဒီဇိုင်းသည် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု ဒိုင်းနမစ်များ၊ အပူစီးကူးမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုစသည့် အချက်များကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားသည်။ susceptor ၏မျက်နှာပြင်သည် တိကျသောသတ်မှတ်ချက်များအတွက် ဂရုတစိုက်ပြုလုပ်ထားပြီး၊ လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် အကောင်းဆုံးအပြန်အလှန်အကျိုးသက်ရောက်မှုရှိစေရန်နှင့် wafer ပေါ်သို့ ပစ္စည်းများထိရောက်စွာ အပ်နှံမှုကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ဒီဇိုင်းနှင့် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသေးစိတ်အချက်အလတ်များကို အာရုံစိုက်ခြင်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် သာလွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ဖြစ်စေသည်။

Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ သန့်စင်မှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာ၏ ပေါင်းစပ်မှုတွင် ထူးခြားသော အပူ၊ ဓာတုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို ပေးစွမ်းသည်။ susceptor ၏ ဒီဇိုင်းသည် တူညီသော အပူပေးမှုနှင့် ထိရောက်သော ပစ္စည်း အစစ်ခံမှုကို သေချာစေပြီး အရည်အသွေးမြင့် epitaxial အလွှာများနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ၎င်း၏ကြာရှည်ခံမှု၊ လိုက်လျောညီထွေမှုနှင့် စီးပွားရေးအားသာချက်များဖြင့် TaC Coated Planetary Susceptor သည် စက်မှုလုပ်ငန်း၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ထူးချွန်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အဆင့်မြင့်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၏ အဓိကလုပ်ဆောင်သူအဖြစ် ထင်ရှားသည်။