ဇယားကွက်ပါရှိသော Susceptor

Semicorex Susceptor သည် Semiconductor wafers များ၏ epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင် အသုံးပြုသည့် အထူးပြုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤအရေးကြီးသောပစ္စည်းကိရိယာသည် သတ္တု-အော်ဂဲနစ်ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း (MOCVD) စနစ်တွင် ပစ္စည်းများ အပ်နှံစဉ် wafer များကို သယ်ဆောင်ရန်နှင့် ပံ့ပိုးရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ဇယားကွက်ပါသော Susceptor သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ wafer ပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာများ၏ တူညီမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန်အတွက် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။

Susceptor with Grid ကို ၎င်း၏လုပ်ငန်းဆောင်တာအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ဖန်တီးထားသည်။ ဤကိစ္စတွင်၊ ၎င်းအား MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) coated graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ဤပစ္စည်းများရွေးချယ်မှုသည် အပူချိန်မြင့်မားခြင်း၊ ဓာတုတည်ငြိမ်မှုနှင့် လွန်ကဲသောအပူစီးကူးခြင်းအပါအဝင် အားသာချက်များစွာကို ပေးဆောင်သည်။ ဂရပ်ဖိုက်ပေါ်ရှိ SiC coating သည် susceptor ၏ ကြာရှည်ခံမှုနှင့် epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်အတွင်း ကြုံတွေ့ရသော ပြင်းထန်သောအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်အား တိုးမြင့်စေသည်။

ဇယားကွက်ဖွဲ့စည်းပုံပါရှိသော Susceptor သည် semiconductor wafers များအတွက် ပံ့ပိုးမှုယန္တရားတစ်ခုအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ ဓာတ်ငွေ့များ ထိရောက်စွာ စီးဆင်းမှုနှင့် ပစ္စည်းများ တစ်ပြေးညီ ကွဲထွက်နိုင်စေမည့် wafers များကို လုံခြုံစွာ ထားနိုင်ရန် ဗျူဟာမြောက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ဇယားကွက်ပုံစံသည် wafer မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် အပူနှင့် ဓာတ်ပြုပစ္စည်းများကို အညီအမျှ ဖြန့်ဝေပေးကာ epitaxial အလွှာအထူနှင့် ဖွဲ့စည်းမှုကို တိကျသောထိန်းချုပ်မှုကို အထောက်အကူဖြစ်စေသည်။

Semicorex Susceptor သည် အဆင့်မြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးပါသော အစိတ်အပိုင်း တစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ခိုင်ခံ့သောတည်ဆောက်မှုနှင့် အထူးပြုဒီဇိုင်းများသည် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကိုရရှိရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာတစ်ခုဖြစ်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများကို သာလွန်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုဖြင့် ထုတ်လုပ်မှုကိုသေချာစေသည်။