SiC Epi-Wafer Receptor

Semicorex သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ၏ အကြီးစားထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းကို အာရုံစိုက်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Epi-Wafer Susceptor သည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်ဈေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

Semicorex သည် wafer များကိုပံ့ပိုးရန်အတွက်အသုံးပြုသော MOCVD မှ coated SiC Epi-Wafer Susceptor ကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။ ၎င်းတို့၏ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်တည်ဆောက်မှုသည် သာလွန်သောအပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး တစ်သမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်အတွက် အပူပိုင်းတူညီမှု၊ နှင့် တာရှည်ခံဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ခံနိုင်ရည်တို့ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ Fine SiC crystal coating သည် သန့်ရှင်းပြီး ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်ကို ပေးစွမ်းပြီး သန့်စင်သော wafer များသည် susceptor ကို ၎င်းတို့၏ ဧရိယာတစ်ခုလုံးရှိ အချက်များစွာတွင် ထိတွေ့သောကြောင့် ကိုင်တွယ်ရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Epi-Wafer Susceptor သည် အပူပရိုဖိုင်၏ ညီညာမှုကို သေချာစေရန် အကောင်းဆုံး laminar gas စီးဆင်းမှုပုံစံကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်တွင် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန် ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးရန် ကူညီပေးသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Epi-Wafer Susceptor အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

SiC Epi-Wafer Susceptor ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β အဆင့်
သိပ်သည်းမှု	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	µm	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
အပူစွမ်းရည်	J kg-1 K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300

SiC Epi-Wafer Susceptor ၏အင်္ဂါရပ်များ

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဂရက်ဖိုက်
သာလွန်သောအပူခံနိုင်ရည်နှင့်အပူတူညီမှု
ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်အတွက် Fine SiC crystal coated
ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။
အက်ကွဲခြင်းနှင့် ကွဲအက်ခြင်းများ မဖြစ်ပေါ်စေရန် ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။