ထောက်ကွင်း

Semicorex Support Ring သည် single-wafer epitaxy စနစ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အရေးကြီးသော စက်အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး၊ တိကျသော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် နေရာချထားခြင်းတို့သည် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ lift shaft assembly နှင့် ညှိနှိုင်းလုပ်ဆောင်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသောကြောင့် Support Ring သည် loading and unloading operations အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသော wafer elevation ကို လုပ်ဆောင်နိုင်ပြီး process chamber နှင့် robotic handling systems များအကြား ယုံကြည်စိတ်ချရသော wafer လွှဲပြောင်းမှုကို သေချာစေသည်။

သန့်စင်မြင့်မြင့်ဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားပါသည်။quartz ပစ္စည်းများSupport Ring သည် အပူချိန်မြင့်မားမှု၊ အဆိပ်သင့်သည့် ဓာတ်ငွေ့များနှင့် တင်းကျပ်သော ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်မှု လိုအပ်ချက်များဖြင့် သတ်မှတ်သည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပတ်ပတ်၀န်းကျင်တွင် လည်ပတ်ရန် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏တိကျသောဂျီသြမေတြီနှင့် ခိုင်ခံ့သောတည်ဆောက်မှုတို့သည် epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တစ်လျှောက် အလိုအလျောက် wafer ကိုင်တွယ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးနေစဉ် တသမတ်တည်း wafer တည်နေရာကို ထိန်းသိမ်းရန် ကူညီပေးသည်။

Single-Wafer Epitaxy စနစ်များတွင် လုပ်ဆောင်ချက်များ

wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ wafer သည် ပုံမှန်အားဖြင့် တုံ့ပြန်မှုခန်းအတွင်းရှိ susceptor ပေါ်တွင် တည်ရှိသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်လည်ပတ်မှုပြီးဆုံးပြီး wafer ကိုလွှဲပြောင်းရန်လိုအပ်သောအခါ၊ ဓာတ်လှေကားယန္တရားသည်အသက်ဝင်သည်။

lift shaft သည် အောက်ဘက်သို့ရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ၊ quartz Support Ring ၏ ပံ့ပိုးမှု tabs သုံးခုသည် shaft assembly နှင့် ချိတ်ဆက်ထားသော lift pin များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အဆိုပါ lift pins များသည် wafer မျက်နှာပြင်နှင့် ဆက်စပ်၍ အထက်သို့ ရွေ့ကာ wafer ကို susceptor မှ ညင်သာစွာ မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ မြှင့်တင်ပြီးသည်နှင့် စက်ရုပ်လက်တံသည် အခန်းထဲသို့ လုံခြုံစွာဝင်ရောက်ကာ wafer ကိုထုတ်ယူနိုင်စေမည့် အပြောင်းအရွှေ့အမြင့်တွင် နေရာချထားပါသည်။

ဤဂရုတစိုက်ညှိနှိုင်းလှုပ်ရှားမှုကိုသေချာစေသည်-

* အလွန်အကျွံတုန်ခါမှုမရှိဘဲတည်ငြိမ်သော wafer ရုတ်သိမ်းခြင်း။

* လွှဲပြောင်းစဉ်တွင်တိကျသော wafer နေရာချထားခြင်း။

* wafer အစွန်းပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကိုလျှော့ချ

* ပိုမိုကောင်းမွန်သော automation ယုံကြည်စိတ်ချရမှု

* လုပ်ငန်းစဉ်များစွာအတွင်း တစ်သမတ်တည်း ကိုင်တွယ်ဆောင်ရွက်မှု

ထို့ကြောင့် Support Ring သည် wafer integrity နှင့် equipment throughput နှစ်မျိုးလုံးကို ထိန်းသိမ်းရာတွင် အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။

အလိုအလျောက် Wafer လွှဲပြောင်းခြင်းအတွက် တိကျမှုဒီဇိုင်း

ခေတ်မီတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုသည် ပိုမိုတိကျသော wafer ကိုင်တွယ်မှုလိုအပ်သည်။ wafer အနေအထားတွင် အနည်းငယ်သွေဖည်သွားသည့်တိုင် စက်ရုပ်ချိန်ညှိမှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ကို ထပ်ခါထပ်ခါလုပ်ဆောင်နိုင်မှုအပေါ် သက်ရောက်မှုရှိသည်။

Support Ring သည် ဓာတ်လှေကားပင်တွယ်စနစ်တစ်လျှောက် တူညီသောဝန်ဖြန့်ဖြူးမှုကိုပေးစွမ်းသည့် တိကျသောစက်ဖြင့် ပံ့ပိုးမှုအင်္ဂါရပ်များဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ပံ့ပိုးမှုတက်ဘ်သုံးခုသည် ဓာတ်လှေကားယန္တရားနှင့် တည်ငြိမ်သောထိတွေ့ဆက်ဆံမှုကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး လှုပ်ရှားမှုကို နည်းပါးစေပြီး ကြိုတင်မှန်းဆနိုင်သော ရုတ်သိမ်းသည့်အပြုအမူကို အာမခံပါသည်။

အဓိက ဒီဇိုင်းအကျိုးကျေးဇူးများ ပါဝင်သည်-

* တိကျသော lift-pin ပံ့ပိုးမှုဂျီသြမေတြီ

* အလွန်ကောင်းမွန်သောအတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု

* ဓာတ်လှေကား တပ်ဆင်ခြင်းနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ အပြန်အလှန် ချောမွေ့မှု

* ထပ်ခါတလဲလဲ လည်ပတ်နေချိန်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသော နေရာချထားခြင်း။

* မိတ်လိုက်သော အစိတ်အပိုင်းများတွင် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဝတ်ဆင်မှုကို လျှော့ချပေးသည်။

ဤဝိသေသလက္ခဏာများသည် ပိုမိုကောင်းမွန်သော စနစ်ဖွင့်ချိန်နှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုလိုအပ်ချက်များကို လျှော့ချပေးသည်။

စိတ်ကြိုက်အင်ဂျင်နီယာစွမ်းရည်များ

မတူညီသော epitaxy ပလပ်ဖောင်းများသည် မကြာခဏဆိုသလို ထူးခြားသော ဂျီသြမေတြီများ၊ အတိုင်းအတာများနှင့် lift-pin ပုံစံများကို လိုအပ်ပါသည်။ Semicorex သည် ဖောက်သည် စက်ကိရိယာ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်သော ပံ့ပိုးမှု Ring ဖြေရှင်းချက်များအား ပံ့ပိုးပေးပါသည်။

စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်စရာများ ပါဝင်သည်-

* အမျိုးမျိုးသောအချင်းနှင့်အထူ

* စိတ်ကြိုက်ပံ့ပိုးမှု-တဘ်ဖွဲ့စည်းပုံများ

* မတူညီသော lift-pin ချိတ်ဆက်မှုဒီဇိုင်းများ

* လုပ်ငန်းစဉ်အလိုက် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုများ

* တင်းကျပ်စွာသည်းခံနိုင်မှုတိကျစွာစက်စက်

ဤပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ်သည် ရှိပြီးသားစက်ပစ္စည်းများနှင့် မျိုးဆက်သစ်ဓာတ်ပေါင်းဖိုပလပ်ဖောင်းနှစ်ခုစလုံးတွင် ချောမွေ့စွာပေါင်းစည်းနိုင်စေပါသည်။

အသုံးချမှု

Support Rings ကို အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်-

* ဆီလီကွန် epitaxy စနစ်များ

* Silicon carbide (SiC) epitaxy ဓာတ်ပေါင်းဖိုများ

* ဂယ်လီယမ်နိုက်ထရိတ် (GaN) စီမံဆောင်ရွက်ပေးသည့် စက်ကိရိယာ

* Single-wafer CVD စနစ်များ

* အဆင့်မြင့် semiconductor wafer ကိုင်တွယ်သည့်ပလပ်ဖောင်းများ

တိကျသော wafer positioning သည် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုနှင့် အထွက်နှုန်းကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်သည့် အလိုအလျောက်ထုတ်လုပ်သည့်ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ၎င်းတို့၏အခန်းကဏ္ဍသည် အထူးအရေးကြီးပါသည်။

အရည်အသွေးနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှု

Semicorex သည် အတိုင်းအတာ တိကျမှု၊ ပစ္စည်း လိုက်လျောညီထွေမှုနှင့် ရေရှည်ယုံကြည်နိုင်မှုတို့ကို သေချာစေရန် ထုတ်လုပ်မှုတစ်လျှောက်တွင် ပြင်းထန်သော အရည်အသွေး-ထိန်းချုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များကို ကျင့်သုံးပါသည်။ ပံ့ပိုးမှုလက်စွပ်တိုင်းကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ လိုအပ်ချက်စံချိန်စံညွှန်းများနှင့် ကိုက်ညီစေရန် ထုတ်လုပ်ထားပြီး အစိတ်အပိုင်းစွမ်းဆောင်ရည်သည် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုနှင့် စက်ပစ္စည်းများ၏ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းအားကို တိုက်ရိုက်လွှမ်းမိုးနိုင်စေသည်။