Silicon carbide ceramic (SiC) သည် ဆီလီကွန်နှင့် ကာဗွန်ပါဝင်သော အဆင့်မြင့် ကြွေထည်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်၏ အစေ့အဆန်များကို အလွန်မာကျောသော ကြွေထည်များအဖြစ် sintering လုပ်ခြင်းဖြင့် အတူတကွ ချိတ်ဆက်နိုင်သည်။ Semicorex သည် သင့်လိုအပ်ချက်အဖြစ် စိတ်ကြိုက် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။
အသုံးချမှု
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများသည် အပူချိန် 1,400°C အထက်အထိ ဆက်လက်တည်ရှိနေပါသည်။ မြင့်မားသော Young's modulus > 400 GPa သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက် အစိတ်အပိုင်းများအတွက် သာမာန်အပလီကေးရှင်းတစ်ခုသည် ပန့်များနှင့် မောင်းနှင်မှုစနစ်များတွင် ပွတ်တိုက်မှုရှိသောဝက်ဝံများနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတံဆိပ်များကို အသုံးပြု၍ သွက်လက်သောတံဆိပ်ခတ်ခြင်းနည်းပညာဖြစ်သည်။
အဆင့်မြင့်ဂုဏ်သတ္တိများနှင့်အတူ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုရန်အတွက်လည်း စံပြဖြစ်သည်။
Wafer Boats →
Semicorex Wafer Boat သည် sintered silicon carbide ceramic ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အပူဒဏ်တို့ကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ အဆင့်မြင့် ကြွေထည်များသည် စွမ်းရည်မြင့်မားသော wafer သယ်ဆောင်သူများအတွက် အမှုန်အမွှားများနှင့် ညစ်ညမ်းမှုများကို လျော့ပါးစေပြီး အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်နှင့် ပလာစမာကြာရှည်ခံမှုကို ပေးစွမ်းပါသည်။
ဓါတ်ပြုထားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်
အခြား sintering လုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက densification process အတွင်း sintering တုံ့ပြန်မှု အရွယ်အစားပြောင်းလဲမှုသည် သေးငယ်ပြီး တိကျသောအတိုင်းအတာဖြင့် ထုတ်ကုန်များကို ထုတ်လုပ်နိုင်သည်။ သို့သော်၊ sintered လုပ်ထားသောကိုယ်ထည်တွင် SiC ပမာဏအများအပြားရှိနေခြင်းသည် sintered SiC ကြွေထည်များ၏တုံ့ပြန်မှုမြင့်မားသောအပူချိန်ကိုပိုမိုဆိုးရွားစေသည်။
ဖိအားကင်းစင်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်
ဖိအားကင်းစင်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SSiC) သည် အထူးသဖြင့် ပေါ့ပါးပြီး တစ်ချိန်တည်းတွင် မာကျောသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ကြွေထည်ဖြစ်သည်။ SSiC သည် ပြင်းထန်သော အပူချိန်တွင်ပင် အဆက်မပြတ်နီးပါး ရှိနေသည့် မြင့်မားသော ခွန်အားဖြင့် လက္ခဏာရပ်ဖြစ်သည်။
Recrystal ဆီလီကွန်ကာဗိုက်
Recrystallized silicon carbide (RSiC) သည် သန့်စင်မြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြမ်းမှုန့် နှင့် လုပ်ဆောင်ချက် မြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အမှုန့် တို့ကို ရောစပ်ပြီး သုတ်လိမ်းပြီးနောက် 2450 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင် ဖုန်စုပ်စက်ဖြင့် ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းထားသော မျိုးဆက်သစ်ပစ္စည်းများဖြစ်သည်။
မျိုးဆက်သစ် lithography နှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းဆိုင်ရာ အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော၊ Semicorex အလွန်သန့်စင်သော ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများသည် ညစ်ညမ်းမှုအနည်းဆုံးဖြစ်စေပြီး ထူးခြားသောအသက်တာရှည်စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ Wafer Vacuum Chuck သည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်စျေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် တာရှည်ခံအာရုံစူးစိုက်ကွင်းများကို Semicorex သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသည့် ပလာစမာအတက်အဆင်းအခန်းများ၏ လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ focus rings များကို သန့်ရှင်းလတ်ဆတ်သော ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး ထူထပ်ကာ ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။ SiC coating သည် မြင့်မားသော သံချေးတက်ခြင်းနှင့် အပူခံနိုင်ရည်ရှိသော ဂုဏ်သတ္တိများအပြင် လွန်စွာကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှုပါရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ focus rings များ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးတက်စေရန်အတွက် ဓာတုငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြု၍ ဂရပ်ဖိုက်ပေါ်တွင် SiC ကို အလွှာပါးလွှာသောအလွှာများတွင် အသုံးချပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Plasma processing focus ring သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ပလာစမာအတက်အဆင်းပြုလုပ်ခြင်း၏ မြင့်မားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အဆင့်မြင့်၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော Silicon Carbide Coated Components များသည် အလွန်အမင်းပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားပြီး ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy semiconductors အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသောအသုံးချပရိုဂရမ်များတွင် အသုံးပြုရန်သင့်လျော်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex အဆင့်မြင့်၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော SiC Focus Rings များသည် ပလာစမာ etch (သို့မဟုတ် dry etch) အခန်းများရှိ ပြင်းထန်သောပတ်ဝန်းကျင်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းကို အာရုံစိုက်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်စျေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Coated Graphite ၏ အကြီးစားထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ MOCVD Inlet Seal Ring သည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်ဈေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Coated Graphite ၏ အကြီးစားထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ MOCVD Inlet Rings များသည် ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကန်ဈေးကွက်များစွာကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။