SiC coating သည် chemical vapor deposition (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် susceptor ပေါ်သို့ ပါးလွှာသောအလွှာဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းသည် ပြိုကွဲနေသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအား 10 ဆ၊ အပူချိန်နှင့် ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိသောပစ္စည်းကိုပေးဆောင်သည့် တီးဝိုင်းကွာဟမှု 3x အပါအဝင်၊ ဆီလီကွန်ထက် အားသာချက်များစွာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ပိုမိုကြာရှည်ခံသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်စေရန်၊ လည်ပတ်ချိန်များကို လျှော့ချပေးပြီး အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်စေပါသည်။
SiC coating တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များစွာရှိသည်။
မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု- CVD SiC coated susceptor သည် သိသာထင်ရှားသောအပူရှိန်ပြိုကွဲခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန် 1600°C အထိခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဓာတုခံနိုင်ရည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များအပါအဝင် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
Wear Resistance- SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ပြင်းထန်စွာ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်း ပါ၀င်သည့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
Thermal Conductivity- CVD SiC coating သည် ပစ္စည်းအား မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှု လိုအပ်သော အပူချိန်မြင့်သော application များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် မာကျောမှု- ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor သည် မြင့်မားသော ခိုင်ခံ့မှုနှင့် မာကျောမှုရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားလိုအပ်သော အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
SiC coating ကို အမျိုးမျိုးသော application များတွင် အသုံးပြုသည်။
LED ထုတ်လုပ်မှု- CVD SiC coated susceptor ကို အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV LED အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဖြစ်သည်။
မိုဘိုင်းဆက်သွယ်ရေး- CVD SiC coated susceptor သည် GaN-on-SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန် HEMT ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Semiconductor Processing- CVD SiC coated susceptor ကို wafer processing နှင့် epitaxial growth အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များအတွက် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုပါသည်။
SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ
Silicon Carbide Coating (SiC) graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် coating ကို CVD method ဖြင့် high density graphite grades များတွင် အသုံးပြုထားသောကြောင့် အပူချိန် 3000°C အထက်ရှိသော မီးဖိုထဲတွင် လည်ပတ်နိုင်ပြီး လေဟာနယ်တွင် 2200°C ရှိပါသည် .
ပစ္စည်း၏ အထူးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် သေးငယ်သောထုထည်သည် လျင်မြန်သော အပူနှုန်းများ၊ တူညီသော အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုကို ခွင့်ပြုပေးပါသည်။
Semicorex SiC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ရိုးရိုးဂုဏ်သတ္တိ |
ယူနစ် |
တန်ဖိုးများ |
ဖွဲ့စည်းပုံ |
|
FCC β အဆင့် |
တိမ်းညွှတ်မှု |
အပိုင်း (%) |
111 နှစ်ခြိုက်သည်။ |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု |
g/cm³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
အပူစွမ်းရည် |
J kg-1 K-1 |
640 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
နိဂုံး CVD SiC coated susceptor သည် susceptor နှင့် silicon carbide တို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ နှင့် မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု အပါအဝင် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုပြုပြင်ခြင်း၊ အပူကုသခြင်း၊ ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် LED ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
အကယ်၍ သင်သည် အရည်အသွေးမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံစုပ်ကိရိယာကို ရှာဖွေနေပါက၊ Semicorex Barrel Susceptor သည် Semiconductor ရှိ SiC Coating ဖြင့် ပြီးပြည့်စုံသော ရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် အပူဖြန့်ဖြူးခြင်းဂုဏ်သတ္တိများက ၎င်းအား ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သည့်အသုံးချပရိုဂရမ်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် စံပြဖြစ်စေသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။၎င်း၏ သာလွန်သော သိပ်သည်းဆနှင့် အပူစီးကူးနိုင်မှုနှင့်အတူ၊ Epitaxial Growth အတွက် Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor သည် အပူချိန်မြင့်ပြီး သံချေးတက်သော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဤဂရပ်ဖိုက်ထုတ်ကုန်သည် အလွန်ကောင်းမွန်သောအကာအကွယ်နှင့် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သည့်အသုံးချပရိုဂရမ်များတွင် ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်နိုင်မှုကို အာမခံပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Wafer Epitaxial အတွက် Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor သည် ၎င်း၏ထူးခြားကောင်းမွန်သောမျက်နှာပြင်နှင့် အရည်အသွေးမြင့် SiC အပေါ်ယံပိုင်းကြောင့် တစ်ခုတည်းသော crystal growth applications များအတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်၊ ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုနှင့် သံချေးတက်ခြင်းတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ၎င်းအား အပူချိန်မြင့်မားပြီး သံချေးတက်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် စံပြရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel သည် အရည်အသွေးမြင့် သန့်ရှင်းသော SiC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက် ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော သိပ်သည်းဆနှင့် အပူစီးကူးနိုင်မှုတို့က ၎င်းအား LPE လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုရန် စံပြရွေးချယ်မှုဖြစ်စေပြီး ခြွင်းချက်အနေဖြင့် အပူဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ခြွင်းချက်မရှိကာကွယ်မှုပေးစွမ်းသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor သည် LPE လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့်၊ ဤထုတ်ကုန်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းများတွင် အသုံးပြုရန် ပြီးပြည့်စုံပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Epitaxial Reactor Chamber အတွက် Semicorex ၏ SiC-Coated Susceptor Barrel သည် သာလွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် အပူစီးကူးမှု ဂုဏ်သတ္တိများပါရှိသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အလွန်ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် သံချေးတက်ခြင်း၊ ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်တို့ကိုလည်း ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။