Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် SiC coated RTP Carrier Plate

Epitaxial Growth အတွက် Semicorex SiC Coated RTP Carrier Plate သည် semiconductor wafer processing applications များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။ ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များ စသည်တို့၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် MOCVD မှ ဆောင်ရွက်သော ၎င်း၏ အရည်အသွေးမြင့် ကာဗွန်ဂရပ်ဖိုက် ခံနိုင်ရည်ရှိပစ္စည်းများနှင့် quartz crucibles များဖြင့်၊ ဤထုတ်ကုန်သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် epitaxial ကြီးထွားမှု လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။ SiC coated carrier သည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် အစွမ်းထက်သောအပူဖြန့်ဖြူးခြင်းဂုဏ်သတ္တိများကိုသေချာစေပြီး RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုသန့်စင်မှုအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်စေသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC coated RTP Carrier Plate သည် အစစ်ခံပတ်ဝန်းကျင်၏ အပြင်းထန်ဆုံးအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခုခံမှုနှင့်အတူ, epitaxy susceptors များသည် epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက်ပြီးပြည့်စုံသောသိုက်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ရှိသည်။ သယ်ဆောင်သူပေါ်ရှိ ကောင်းမွန်သော SiC crystal coating သည် ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်နှင့် ဓာတုသန့်စင်မှုမှ မြင့်မားသောကြာရှည်ခံမှုကို သေချာစေသည်၊
Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Coated RTP Carrier Plate အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် SiC Coated RTP Carrier Plate ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β အဆင့်
သိပ်သည်းမှု	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	µm	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
အပူစွမ်းရည်	J kg-1 K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300

Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် SiC Coated RTP Carrier Plate ၏အင်္ဂါရပ်များ

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဂရက်ဖိုက်
သာလွန်သောအပူခံနိုင်ရည်နှင့်အပူတူညီမှု
ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်အတွက် Fine SiC crystal coated
ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။
အက်ကွဲခြင်းနှင့် ကွဲအက်ခြင်းများ မဖြစ်ပေါ်စေရန် ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။

Hot Tags: Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် SiC coated RTP Carrier Plate၊ တရုတ်၊ ထုတ်လုပ်သူများ၊ ပေးသွင်းသူများ၊ စက်ရုံ၊ စိတ်ကြိုက်၊ အစုလိုက်၊ အဆင့်မြင့်၊ တာရှည်ခံ

ထုတ်ကုန် Tag

ဆက်စပ်အမျိုးအစား