SiC coating သည် chemical vapor deposition (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် susceptor ပေါ်သို့ ပါးလွှာသောအလွှာဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းသည် ပြိုကွဲနေသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအား 10 ဆ၊ အပူချိန်နှင့် ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိသောပစ္စည်းကိုပေးဆောင်သည့် တီးဝိုင်းကွာဟမှု 3x အပါအဝင်၊ ဆီလီကွန်ထက် အားသာချက်များစွာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ပိုမိုကြာရှည်ခံသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်စေရန်၊ လည်ပတ်ချိန်များကို လျှော့ချပေးပြီး အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်စေပါသည်။
SiC coating တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များစွာရှိသည်။
မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု- CVD SiC coated susceptor သည် သိသာထင်ရှားသောအပူရှိန်ပြိုကွဲခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန် 1600°C အထိခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဓာတုခံနိုင်ရည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များအပါအဝင် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
Wear Resistance- SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ပြင်းထန်စွာ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်း ပါ၀င်သည့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
Thermal Conductivity- CVD SiC coating သည် ပစ္စည်းအား မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှု လိုအပ်သော အပူချိန်မြင့်သော application များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် မာကျောမှု- ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor သည် မြင့်မားသော ခိုင်ခံ့မှုနှင့် မာကျောမှုရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားလိုအပ်သော အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
SiC coating ကို အမျိုးမျိုးသော application များတွင် အသုံးပြုသည်။
LED ထုတ်လုပ်မှု- CVD SiC coated susceptor ကို အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV LED အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဖြစ်သည်။
မိုဘိုင်းဆက်သွယ်ရေး- CVD SiC coated susceptor သည် GaN-on-SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန် HEMT ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Semiconductor Processing- CVD SiC coated susceptor ကို wafer processing နှင့် epitaxial growth အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များအတွက် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုပါသည်။
SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ
Silicon Carbide Coating (SiC) graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် coating ကို CVD method ဖြင့် high density graphite grades များတွင် အသုံးပြုထားသောကြောင့် အပူချိန် 3000°C အထက်ရှိသော မီးဖိုထဲတွင် လည်ပတ်နိုင်ပြီး လေဟာနယ်တွင် 2200°C ရှိပါသည် .
ပစ္စည်း၏ အထူးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် သေးငယ်သောထုထည်သည် လျင်မြန်သော အပူနှုန်းများ၊ တူညီသော အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုကို ခွင့်ပြုပေးပါသည်။
Semicorex SiC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ရိုးရိုးဂုဏ်သတ္တိ |
ယူနစ် |
တန်ဖိုးများ |
ဖွဲ့စည်းပုံ |
|
FCC β အဆင့် |
တိမ်းညွှတ်မှု |
အပိုင်း (%) |
111 နှစ်ခြိုက်သည်။ |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု |
g/cm³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
အပူစွမ်းရည် |
J kg-1 K-1 |
640 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
နိဂုံး CVD SiC coated susceptor သည် susceptor နှင့် silicon carbide တို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ နှင့် မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု အပါအဝင် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုပြုပြင်ခြင်း၊ အပူကုသခြင်း၊ ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် LED ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
Semicorex နောက်ဆုံးပေါ် Epi Pre Heat Ring ဖြင့် သင်၏ semiconductor epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ထိရောက်မှုနှင့် တိကျမှုကို မြှင့်တင်ပါ။ SiC-coated graphite မှ တိကျစွာ ဖန်တီးထားသည့် ဤအဆင့်မြင့်လက်စွပ်သည် အခန်းထဲသို့ မဝင်မီ အပူပေးသည့် လုပ်ငန်းစဉ် ဓာတ်ငွေ့များဖြင့် သင်၏ epitaxial ကြီးထွားမှုကို ကောင်းမွန်အောင် လုပ်ဆောင်ရာတွင် အဓိက အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex SiC အစိတ်အပိုင်းများ Abdeck Segmenten၊ တိကျမှုနှင့် တာရှည်ခံမှုကို ပြန်လည်သတ်မှတ်ပေးသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရေးတွင် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ SiC coated graphite မှ ဖန်တီးထားသည့် ဤသေးငယ်သော်လည်း မရှိမဖြစ် အစိတ်အပိုင်းများသည် ထိရောက်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှု အဆင့်သစ်များဆီသို့ semiconductor processing ကို မြှင့်တင်ရာတွင် အဓိကကျသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex Planetary Disk၊ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက် wafer susceptor သို့မဟုတ် သတ္တု-အော်ဂဲနစ် ဓာတုအငွေ့များ ပေါက်ထွက်ခြင်း (MOCVD) မီးဖိုများအတွင်း Molecular Beam Epitaxy (MBE) လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ကယ်ရီယာ။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ကျွန်ုပ်တို့၏နောက်ဆုံးပေါ် CVD SiC Pancake Susceptor ဖြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် တိကျမှုအထွတ်အထိပ်ကို ထုတ်ဖော်လိုက်ပါ။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် ကျွမ်းကျင်စွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ဤ disc-shaped အစိတ်အပိုင်းသည် အပူချိန်မြင့်သော epitaxial အစစ်ခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ပါးလွှာသော semiconductor wafers များကို ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် အဓိကဒြပ်စင်အဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Epitaxial အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ ခေတ်မီသော Semiconductor SiC အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် သင်၏ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပါ။ ဤ semi-cylindrical အစိတ်အပိုင်းများကို epitaxial ဓာတ်ပေါင်းဖိုများ၏ စားသုံးမှုအပိုင်းအတွက် အထူးဖန်တီးထားပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များကို ကောင်းမွန်အောင်လုပ်ဆောင်ရာတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ကျွန်ုပ်တို့၏နောက်ဆုံးပေါ် Half Parts Drum Products Epitaxial အပိုင်းဖြင့် သင်၏တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာပစ္စည်းများ၏ လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပါ။ LPE ဓာတ်ပေါင်းဖို၏ စားသုံးမှု အစိတ်အပိုင်းများအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး၊ ဤ semi-cylindrical ဆက်စပ်ပစ္စည်းသည် သင်၏ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ လုပ်ငန်းစဉ်များကို ပိုကောင်းအောင် လုပ်ဆောင်ရာတွင် အဓိက အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။
Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။