Semicorex RTP SiC Coating Carrier သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတူညီမှုကို ပေးစွမ်းသောကြောင့် ၎င်းသည် semiconductor wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ဖြေရှင်းချက်ဖြစ်လာသည်။ ၎င်း၏အရည်အသွေးမြင့် SiC coated graphite ဖြင့်၊ ဤထုတ်ကုန်သည် epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် အပြင်းထန်ဆုံးသော အပ်နှံမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးခြင်းဂုဏ်သတ္တိများသည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်ရှင်းရေးအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ RTP SiC Coating Carrier သည် အစစ်ခံပတ်ဝန်းကျင်၏ အပြင်းထန်ဆုံးအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တီထွင်ဖန်တီးထားပါသည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခုခံမှုနှင့်အတူ, epitaxy susceptors များသည် epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက်ပြီးပြည့်စုံသောသိုက်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ရှိသည်။ သယ်ဆောင်သူပေါ်ရှိ ကောင်းမွန်သော SiC crystal coating သည် ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်နှင့် ဓာတုသန့်စင်မှုမှ မြင့်မားသောကြာရှည်ခံမှုကို သေချာစေသည်၊
Semicorex တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေးမြင့်၊ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော RTP SiC coating carrier ကို ပေးဆောင်ရန် အာရုံစိုက်ပြီး၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သုံးစွဲသူများ၏ စိတ်ကျေနပ်မှုကို ဦးစားပေးကာ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ဖြေရှင်းနည်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များနှင့် ထူးခြားသော ဖောက်သည်ဝန်ဆောင်မှုကို ပေးဆောင်ခြင်းဖြင့် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ RTP SiC Coating Carrier အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
RTP SiC Coating Carrier ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
RTP SiC Coating Carrier ၏အင်္ဂါရပ်များ
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဂရက်ဖိုက်
သာလွန်သောအပူခံနိုင်ရည်နှင့်အပူတူညီမှု
ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်အတွက် Fine SiC crystal coated
ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။
အက်ကွဲခြင်းနှင့် ကွဲအက်ခြင်းများ မဖြစ်ပေါ်စေရန် ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။