RTP SiC Coating Carrier

Semicorex RTP SiC Coating Carrier သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတူညီမှုကို ပေးစွမ်းသောကြောင့် ၎င်းသည် semiconductor wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ဖြေရှင်းချက်ဖြစ်လာသည်။ ၎င်း၏အရည်အသွေးမြင့် SiC coated graphite ဖြင့်၊ ဤထုတ်ကုန်သည် epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် အပြင်းထန်ဆုံးသော အပ်နှံမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးခြင်းဂုဏ်သတ္တိများသည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုသန့်ရှင်းရေးအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

ကျွန်ုပ်တို့၏ RTP SiC Coating Carrier သည် အစစ်ခံပတ်ဝန်းကျင်၏ အပြင်းထန်ဆုံးအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တီထွင်ဖန်တီးထားပါသည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခုခံမှုနှင့်အတူ, epitaxy susceptors များသည် epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက်ပြီးပြည့်စုံသောသိုက်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ရှိသည်။ သယ်ဆောင်သူပေါ်ရှိ ကောင်းမွန်သော SiC crystal coating သည် ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်နှင့် ဓာတုသန့်စင်မှုမှ မြင့်မားသောကြာရှည်ခံမှုကို သေချာစေသည်၊
Semicorex တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေးမြင့်မားပြီး ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော RTP SiC coating carrier ကို ပံ့ပိုးပေးကာ ဖောက်သည်များ၏ စိတ်ကျေနပ်မှုကို ဦးစားပေးကာ ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးဆောင်ရန် အာရုံစိုက်ထားပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များနှင့် ထူးခြားသော ဖောက်သည်ဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးအပ်ကာ သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ RTP SiC Coating Carrier အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

RTP SiC Coating Carrier ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β အဆင့်
သိပ်သည်းမှု	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	µm	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
အပူစွမ်းရည်	J kg-1 K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300

RTP SiC Coating Carrier ၏အင်္ဂါရပ်များ

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဂရက်ဖိုက်
သာလွန်သောအပူခံနိုင်ရည်နှင့်အပူတူညီမှု
ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်အတွက် Fine SiC crystal coated
ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။
အက်ကွဲခြင်းနှင့် ကွဲအက်ခြင်းများ မဖြစ်ပေါ်စေရန် ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။