SiC-coated planetary susceptors

Semicorex SiC-coated planetary susceptors များသည် Aixtron G2 စက်ပစ္စည်းများတွင် semiconductor epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး ၎င်းတို့သည် wafers များကို လုံခြုံစွာထောက်ပံ့ပေးနိုင်ပြီး ဂြိုဟ်ရွေ့လျားမှုပုံစံဖြင့် လှည့်ပတ်နိုင်သည်။ ဤနည်းအားဖြင့်၊ ဆပ်ပြာမျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် တိကျသောအပူရှိမှုနှင့် တူညီသောဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုကို အောင်မြင်စွာရရှိနိုင်ပြီး၊ ၎င်းသည် wafers များပေါ်တွင် ပရီမီယံအရည်အသွေး epitaxial အလွှာကို အစစ်ခံစေပါသည်။

Semicorex SiC-coated planetary susceptors များ၏ အားသာချက်များ

1. Multi-wafer အိတ်ဆောင်ဒီဇိုင်း

Semicorex SiC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။ဂြိုလ်ဆက်ခံသူများတိကျစွာထိန်းချုပ်ထားသောအတိုင်းအတာများဖြင့် wafer အိတ်များစွာကို တစ်ပြေးညီခွဲဝေပေးပါသည်။ ဤ wafer အိတ်များသည် epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်အတွင်း wafer အလွှာများကို ခိုင်မြဲစွာ ကိုင်ဆောင်ထားနိုင်ပြီး၊ ၎င်းသည် wafer အလွှာများ၏ မလိုလားအပ်သော လှုပ်ရှားမှုကြောင့် ဖြစ်ရသည့် epitaxial ဖြစ်စဉ်ကွဲလွဲမှုများကို ထိရောက်စွာ လျှော့ချနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ ဤ multi-wafer အိတ်ကပ်ဒီဇိုင်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုတည်းတွင် epitaxial deposition အများအပြားကို epitaxial deposition ခံနိုင်ရည်ရှိစေပြီး epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ အလုံးစုံထိရောက်မှုကို များစွာတိုးတက်စေသည်။

2. Optimized Gas Flow Hole စီစဉ်မှု

Semicorex သည် ၎င်းတွင် ဂရုတစိုက် ပြုပြင်ထားသော ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုလမ်းကြောင်းများကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။SiC ဖုံးအုပ်ထားသည်။epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်တစ်လျှောက်လုံး wafer မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုဒိုင်းနမစ်နှင့် အပူတူညီမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် သန့်စင်ပေးသည့် ဂြိုဟ်ခံစုပ်ကိရိယာများ။ ဤအမြော်အမြင်ရှိသော ဒီဇိုင်းသည် အရည်အသွေးမြင့် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များ၊ တူညီသော အလွှာအထူနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော စက်၏ အလုံးစုံစွမ်းဆောင်ရည်ကို ရရှိရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော တုံ့ပြန်မှုခန်းအတွင်း ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုနှုန်းနှင့် ဖြန့်ဖြူးမှုအပေါ် တိကျစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်စေပါသည်။

3. အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု

Semicorex SiC-coated planetary susceptors များသည် အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်သောပစ္စည်းများနှင့် အလွန်နိမ့်သော အညစ်အကြေးအဆင့်များဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ တင်းကျပ်သော သန့်ရှင်းမှုလိုအပ်ချက်များကို အပြည့်အဝ ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။ ၎င်းတို့သည် epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ပုံမှန် အပူချိန်မြင့်မားပြီး အဆိပ်ရှိသော အခြေအနေများအောက်တွင်ပင် သတ္တုဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော wafer ညစ်ညမ်းမှုကို ထိရောက်စွာ လျှော့ချပေးသည်။

4. ကြာရှည်ခံဝန်ဆောင်မှုဘဝ

Semicorex ၏ အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ တင်းကျပ်သော ကုန်ကြမ်းရွေးချယ်မှုမှ အစပြုပါသည်။ SiC-coated planetary susceptors များသည် semiconductor-grade graphite နှင့် silicon carbide တို့မှ တိကျစွာထုတ်လုပ်ထားပြီး အပူချိန်မြင့်မားသော ခံနိုင်ရည်နှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ၎င်းတို့သည် စိန်ခေါ်မှုမြင့်မားသော၊ အလွန်အဆိပ်ပြင်းသော epitaxial လည်ပတ်မှုအခြေအနေများကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ဤကောင်းမွန်သော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများဖြင့်၊ Semicorex SiC-coated planetary susceptors များသည် ၎င်းတို့၏ တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ ခိုင်မာမှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်ပြီး SiC-coated planetary susceptors များ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို လွန်စွာတိုးမြှင့်ပေးသည့် အပူချိန်နှင့် မြင့်မားသော သံချေးတက်သည့်အခန်းများတွင် ၎င်းတို့၏ မျက်နှာပြင်ပျက်စီးမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကျဆင်းမှုကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။