MOCVD အတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာအုပ်ထားသော Graphite Susceptor

Semicorex သည် MOCVD အတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံထိန်းကိရိယာ၏ ထုတ်လုပ်သူနှင့် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာကိုကြီးထွားလာစေရန်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်း၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်အထူးဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ ထုတ်ကုန်ကို ဂီယာ သို့မဟုတ် လက်စွပ်ပုံစံ ဒီဇိုင်းဖြင့် MOCVD တွင် ဗဟိုပြားအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းသည် မြင့်မားသော အပူနှင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လွန်ကဲသော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

MOCVD အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံစုပ်ကိရိယာသည် ပြိုင်ဆိုင်မှုမှ ထင်ရှားပေါ်လွင်စေသည့် အဓိကအင်္ဂါရပ်များစွာရှိသည်။ ၎င်းသည် မျက်နှာပြင်အားလုံးတွင် အပေါ်ယံအလွှာကို သေချာပေါက်စေပြီး ကွဲထွက်ခြင်းမှ ကင်းဝေးစေကာ အပူချိန်မြင့်မားသော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး မြင့်မားသော အပူချိန် 1600°C အထိပင် တည်ငြိမ်မှုကို အာမခံပါသည်။ ထုတ်ကုန်သည် အပူချိန်မြင့်မားသော ကလိုရင်းအခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ထွက်မှုမှတစ်ဆင့် မြင့်မားသောသန့်စင်မှုဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်းသည် အက်ဆစ်၊ အယ်လကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများမှ သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
MOCVD အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံစုပ်ကိရိယာသည် အပူပရိုဖိုင်၏ ညီညာမှုရှိစေရန် အကောင်းဆုံးသော laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန် ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးပေးသည်။

MOCVD အတွက် Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC Î² အဆင့်
သိပ်သည်းဆ	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	Î¼m	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
Heat Capacity ၊	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young’s Modulus	Gpa (4pt bend, 1300â¹۔)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300

MOCVD အတွက် Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor ၏ အင်္ဂါရပ်များ

- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- မြင့်မားသော အပူချိန် ကလိုရင်းအခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။

Hot Tags: MOCVD၊ တရုတ်၊ ထုတ်လုပ်သူများ၊ တင်သွင်းသူများ၊ စက်ရုံ၊ စိတ်ကြိုက်၊ အစုလိုက်၊ အဆင့်မြင့်၊ ကြာရှည်ခံနိုင်သော ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာလိုက် Graphite Susceptor