၎င်း၏သာလွန်သောသိပ်သည်းဆနှင့် အပူစီးကူးနိုင်မှုနှင့်အတူ၊ Epitaxial Growth အတွက် Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor သည် အပူချိန်မြင့်မားပြီး သံချေးတက်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဤဂရပ်ဖိုက်ထုတ်ကုန်သည် အလွန်ကောင်းမွန်သောအကာအကွယ်နှင့် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်အသုံးချပလီကေးရှင်းများတွင် ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်ရည်ရရှိစေပါသည်။
Epitaxial Growth အတွက် Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor သည် ၎င်း၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှုနှင့် အပူဖြန့်ဖြူးခြင်း ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း wafer များတွင် epixial အလွှာဖွဲ့စည်းခြင်းအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာသည် အလိုအပ်ဆုံးသော အပူချိန်မြင့်ပြီး သံချေးတက်သော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင်ပင် သာလွန်ကောင်းမွန်သော ကာကွယ်မှုကို ပေးပါသည်။
Semicorex တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ဖောက်သည်များအား အရည်အသွေးမြင့်ပြီး ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ထုတ်ကုန်များကို ပေးအပ်ရန် အာရုံစိုက်ပါသည်။ Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Coated Barrel Susceptor သည် စျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိပြီး ဥရောပနှင့် အမေရိကဈေးကွက်များစွာသို့ တင်ပို့သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် တစ်သမတ်တည်း အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များနှင့် ထူးခြားသော ဖောက်သည်ဝန်ဆောင်မှုကို ပေးဆောင်ရန် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။
Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် SiC Coated Barrel Susceptor ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
Epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် SiC Coated Barrel Susceptor ၏အင်္ဂါရပ်များ
- ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာနှစ်ခုစလုံးသည် ကောင်းမွန်သောသိပ်သည်းဆရှိပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်သင့်သောလုပ်ငန်းခွင်များတွင် ကောင်းမွန်သောအကာအကွယ်အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နိုင်သည်။
- Silicon carbide coated susceptor သည် တစ်ခုတည်းသော crystal growth အတွက် အသုံးပြုသော မျက်နှာပြင် ညီညာမှု အလွန်မြင့်မားသည်။
- ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာကြားရှိ အပူချဲ့ကိန်း၏ ခြားနားချက်ကို လျှော့ချပါ၊ ကွဲအက်ခြင်းနှင့် ကွဲအက်ခြင်းများကို ကာကွယ်ရန် ပေါင်းစပ်ခိုင်ခံ့မှုကို ထိရောက်စွာ တိုးတက်စေသည်။
- ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ နှစ်ခုစလုံးသည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းရှိပြီး အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးခြင်းဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။
- မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်၊ မြင့်မားသော အပူချိန် ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု၊ ချေးခုခံမှု။