LPE Reactor Chamber အတွက် Semicorex ၏ SiC-Coated Susceptor Barrel သည် သာလွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် အပူကူးယူနိုင်သော ဂုဏ်သတ္တိများပါရှိသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အလွန်ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် သံချေးတက်ခြင်း၊ ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်တို့ကိုလည်း ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
LPE Reactor Chamber အတွက် Semicorex ၏ SiC-Coated Susceptor Barrel သည် တိကျမှုနှင့် တာရှည်ခံမှု၏ အမြင့်ဆုံးစံချိန်စံညွှန်းများဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားသည့် ပရီမီယံအရည်အသွေး ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်း၊ ချေးခံနိုင်ရည်ကို ပေးစွမ်းပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် LPE အသုံးချမှုများနှင့် အလွန်သင့်လျော်ပါသည်။
LPE Reactor Chamber အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC-Coated Susceptor Barrel သည် အပူပရိုဖိုင်၏ ညီညာမှုကို သေချာစေရန် အကောင်းဆုံး laminar gas စီးဆင်းမှုပုံစံကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်တွင် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန် ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးရန် ကူညီပေးသည်။
LPE Reactor Chamber အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC-Coated Susceptor Barrel အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
LPE Reactor Chamber အတွက် SiC-Coated Susceptor Barrel ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
LPE Reactor Chamber အတွက် SiC-Coated Susceptor Barrel ၏ အင်္ဂါရပ်များ
- ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာနှစ်ခုစလုံးသည် ကောင်းမွန်သောသိပ်သည်းဆရှိပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်သင့်သောလုပ်ငန်းခွင်များတွင် ကောင်းမွန်သောအကာအကွယ်အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နိုင်သည်။
- Silicon carbide coated susceptor သည် တစ်ခုတည်းသော crystal growth အတွက် အသုံးပြုသော မျက်နှာပြင် ညီညာမှု အလွန်မြင့်မားသည်။
- ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာကြားရှိ အပူချဲ့ကိန်း၏ ခြားနားချက်ကို လျှော့ချပါ၊ ကွဲအက်ခြင်းနှင့် ကွဲအက်ခြင်းများကို ကာကွယ်ရန် ပေါင်းစပ်ခိုင်ခံ့မှုကို ထိရောက်စွာ တိုးတက်စေသည်။
- ဂရပ်ဖိုက်အလွှာနှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ နှစ်ခုစလုံးသည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းရှိပြီး အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးခြင်းဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။
- မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်၊ မြင့်မားသော အပူချိန် ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု၊ ချေးခုခံမှု။