Semicorex SiC Ceramic Paddles များသည် အရည်အသွေးမြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် cantilever wafer သယ်ဆောင်သူများဖြစ်ပြီး အပူချိန်မြင့်သော semiconductor furnace လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး အထူးကောင်းမွန်သော အပူတည်ငြိမ်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှုနည်းပြီး တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို ပေးဆောင်သည်။ Semicorex သည် ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ သုံးစွဲသူများထံ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် SiC ကြွေမီးဖိုအစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးကာ စိတ်ကြိုက်ဒီဇိုင်းများ၊ တိကျစွာထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် photovoltaic လုပ်ငန်းများအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းသို့ ပို့ဆောင်ပေးခြင်း။*
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုသည် ပိုမိုတင်းကျပ်သော လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှုနှင့် မြင့်မားသောထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းကို ဆက်လက်တောင်းဆိုနေသောကြောင့် wafer ကိုင်တွယ်မှုအစိတ်အပိုင်းများသည် ထူးခြားသောအတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှုခံနိုင်ရည်နှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်အောက်တွင် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအား ပေးဆောင်ရမည်ဖြစ်သည်။ SiC Ceramic Paddles များသည် ထူးထူးခြားခြား ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ ခိုင်မာမှုကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ် အပူချိန်မြင့်သော မီးဖိုလုပ်ငန်းစဉ်တစ်လျှောက် wafer များကို သယ်ယူပို့ဆောင်ရန်နှင့် ပံ့ပိုးရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အထူးအင်ဂျင်နီယာလုပ်ထားသော cantilever wafer သယ်ဆောင်သူများဖြစ်သည်။
မြင့်မားသော သန့်စင်မှုမှ ထုတ်လုပ်သည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ကြွေထည်၊ Semicorex SiC Ceramic Paddles များကို ပျံ့နှံ့ခြင်း၊ ဓာတ်တိုးခြင်း၊ annealing၊ LPCVD နှင့် အခြားအပူပေးခြင်းဆိုင်ရာ ကိရိယာများတွင် အသုံးများပါသည်။ ၎င်းတို့၏ ပေါ့ပါးသော်လည်း တောင့်တင်းသော cantilever တည်ဆောက်ပုံသည် သယ်ဆောင်ခြင်းနှင့် ဖြုတ်ချစဉ်အတွင်း wafer တုန်ခါမှုကို လျော့နည်းစေပြီး တိကျသောနေရာချထားမှုနှင့် မီးဖိုစနစ်အတွင်း ဘေးကင်းသော လွှဲပြောင်းမှုများကို သေချာစေသည်။
တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းနှင့် တသမတ်တည်းစွမ်းဆောင်ရည်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် ဤလှော်ကားများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သူများ၏ လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကို မြှင့်တင်ရန်၊ ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို လျှော့ချရန်နှင့် စက်ပစ္စည်းများ၏ ကုန်ထုတ်စွမ်းအားကို တိုးမြင့်စေရန် ကူညီပေးပါသည်။
---
သမားရိုးကျ wafer ကိုင်တွယ်ကိရိယာများနှင့် မတူဘဲ SiC Ceramic Paddles များသည် အချိန်ကြာမြင့်စွာ အပူချိန် 1,000°C ကျော်လွန်နိုင်သည့် မီးဖိုခန်းအတွင်း တိုက်ရိုက်လည်ပတ်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။
၎င်းတို့၏ cantilever configuration သည် အော်ပရေတာများ သို့မဟုတ် အလိုအလျောက် ကိုင်တွယ်သည့်စနစ်များကို ဂရုတစိုက်ထိန်းချုပ်ထားသော အပူပတ်ဝန်းကျင်ကို မထိခိုက်စေဘဲ wafer လှေများကို ထည့်သွင်းခြင်းနှင့် ဖယ်ရှားနိုင်စေပါသည်။ ထပ်ခါတလဲလဲ အပူပေးခြင်း နှင့် အအေးပေးခြင်း သံသရာတစ်လျှောက်လုံး လှော်တက်များသည် ၎င်းတို့၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် အတိုင်းအတာ တိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး သယ်ယူစဉ်အတွင်း wafer များကို လုံခြုံစွာ ပံ့ပိုးပေးနိုင်သည်။
ပုံမှန်မီးဖိုအသုံးပြုမှုတွင်-
* ဆီလီကွန် wafer ပျံ့နှံ့ခြင်း။
* အပူဓာတ်တိုးခြင်း။
* ကြိတ်ခွဲခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များ
* LPCVD လုပ်ဆောင်ခြင်း။
* Semiconductor အပူကုသမှု
* သုတေသနနှင့်စမ်းသပ်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများ
၎င်းတို့၏ တည်ငြိမ်သော စွမ်းဆောင်ရည်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေး စက်ရုံများနှင့် photovoltaic ထုတ်လုပ်မှု နှစ်ခုစလုံးတွင် မရှိမဖြစ် လိုအပ်ပါသည်။
---
အဏုကြည့်မှန်ပြောင်း ညစ်ညမ်းမှုများသည် wafer အထွက်နှုန်းကို သိသိသာသာ သက်ရောက်မှုရှိနိုင်သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်မှုအတွက် ပစ္စည်းများ သန့်ရှင်းမှုသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။
Semicorex သည် SiC Ceramic Paddles ကို အသုံးပြု၍ ထုတ်လုပ်သည်။သန့်စင်မြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်၎င်းသည် ရေရှည်မီးဖိုလည်ပတ်မှုအတွင်း ညစ်ညမ်းမှုနှင့် ပျက်စီးယိုယွင်းမှုတို့ကို ထူးထူးခြားခြား ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ပစ္စည်းအားသာချက်များ ပါဝင်သည်-
* မြင့်မားသောဓာတုသန့်စင်မှု
* အထူးကောင်းမွန်သော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု
* ထူးခြားသောချေးခုခံ
* အလွန်နိမ့်သောအမှုန်မျိုးဆက်
* မြင့်မားသော hardness နှင့် wear resistance
* ရှည်လျားသောလည်ပတ်မှုသက်တမ်း
ဤလက္ခဏာများသည် ထိခိုက်လွယ်သော wafers များကို ညစ်ညမ်းခြင်းမှ ကာကွယ်နေစဉ် သန့်ရှင်းသော မီးဖိုအခြေအနေများကို ထိန်းသိမ်းရာတွင် ကူညီပေးပါသည်။
---
ပြင်းထန်သော အပူချိန်ကို ထပ်ခါထပ်ခါ ထိတွေ့ခြင်းသည် မီးဖိုအစိတ်အပိုင်းများပေါ်တွင် ကြီးမားသော ဖိစီးမှုကို ဖြစ်စေသည်။ အပူတည်ငြိမ်မှု အားနည်းသော ပစ္စည်းများသည် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ ပုံပျက်ခြင်း၊ ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် အတိုင်းအတာ တိကျမှု ဆုံးရှုံးနိုင်သည်။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အပါအဝင် ထူးထူးခြားခြား အပူစွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးသည်-
* အထူးကောင်းမွန်သော အပူချိန်မြင့်သည်။
* နိမ့်သောအပူတိုးချဲ့ကိန်း
* မြင့်မားသောအပူစီးကူး
* ထူးထူးခြားခြား အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
* အပူစက်ဘီးစီးနေစဉ်အတွင်းတည်ငြိမ်သောစက်မှုဂုဏ်သတ္တိများ
ဤအားသာချက်များသည် SiC Ceramic Paddles များကို စဉ်ဆက်မပြတ်ထုတ်လုပ်နေစဉ်အတွင်းပင် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်နေစေပြီး လုပ်ငန်းစဉ်တစ်လျှောက်လုံး တိကျသော wafer နေရာချထားမှုကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
---
အဆိုပါ အစိတ်အပိုင်းများ၏ အဓိပ္ပါယ်မှာ ၎င်းတို့၏ cantilever paddle တည်ဆောက်ပုံ ဖြစ်သည်။ ဤဒီဇိုင်းသည် တောင့်တင်းမှုကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ် မီးဖိုခန်းများအတွင်း နက်ရှိုင်းစွာရောက်ရှိနိုင်သော ရှည်လျားတောင့်တင်းသော ထောက်ကူလက်တံကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။
cantilever configuration သည် လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုဆိုင်ရာ အကျိုးကျေးဇူးများစွာကို ပေးဆောင်သည်-
* ချောမွေ့သော wafer တင်ခြင်းနှင့်ချွတ်ခြင်း။
* သယ်ယူစဉ်အတွင်း တုန်ခါမှုကို လျှော့ချပါ။
* ပိုမိုကောင်းမွန်သောတည်နေရာတည်နေရာတိကျမှု
* wafer အစွန်းများပျက်စီးနိုင်ခြေကိုလျှော့ချ
* အလိုအလျောက် ကိုင်တွယ်မှုစနစ်များနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်ခြင်း။
ရလဒ်မှာ ပိုမိုဘေးကင်းသော wafer လှုပ်ရှားမှုနှင့် ပမာဏမြင့်မားသော ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများတစ်လျှောက် ပိုမိုကိုက်ညီမှုရှိသည်။
---
မတူညီသော မီးဖိုစနစ်များတွင် ထူးခြားသော အလျား၊ အနံ၊ အထူနှင့် တည်ဆောက်ပုံအင်္ဂါရပ်များပါရှိသော လှော်တက်များ လိုအပ်သည်။ Semicorex သည် အမျိုးမျိုးသော အပူပိုင်းဆိုင်ရာ လုပ်ဆောင်ခြင်း ပလပ်ဖောင်းများနှင့် ချောမွေ့စွာ ပေါင်းစပ်နိုင်ရန် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ထားသော SiC Ceramic Paddles များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်စရာများ ပါဝင်သည်-
* စိတ်ကြိုက်လှော်တက်အရှည်များ
* မတူညီသော cantilever ဂျီသြမေတြီ
* တိကျသောအပေါက်များ သို့မဟုတ် အပေါက်များ
* ပေါ့ပါးသောဖွဲ့စည်းပုံဒီဇိုင်းများ
* အမျိုးမျိုးသောအထူသတ်မှတ်ချက်များ
* အပလီကေးရှင်း-တိကျသောဖွဲ့စည်းပုံများ
အဆင့်မြင့်စက်နှင့် တိကျစွာ ပြုပြင်ခြင်းသည် ထုတ်လုပ်မှုအသုတ်တိုင်းတွင် အလွန်ကောင်းမွန်သော ချောမွေ့မှု၊ အတိုင်းအတာတိကျမှုနှင့် ထပ်တလဲလဲနိုင်သော အရည်အသွေးကို သေချာစေသည်။
---
SiC Ceramic Paddles ကို အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်-
* Semiconductor ပျံ့နှံ့မှု မီးဖိုများ
* ဓာတ်တိုးမီးဖိုစနစ်များ
* လိမ်းဆေးများ
* LPCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများ
* ဆီလီကွန် wafer အပြောင်းအလဲနဲ့ လိုင်းများ
* ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း။
* အပူချိန်မြင့်ဓာတ်ခွဲခန်းမီးဖိုများ
* Photovoltaic ဆဲလ်ထုတ်လုပ်မှု
၎င်းတို့သည် မြင့်မားသော သန့်စင်မှုကို အထူးကောင်းမွန်သော အပူတည်ငြိမ်မှုဖြင့် ပေါင်းစပ်နိုင်သောကြောင့် ၎င်းတို့ကို ထုတ်လုပ်မှုအတိုင်းအတာ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် အဆင့်မြင့် သုတေသနဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
---
Semicorex သည် ပရီမီယံကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းများဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီသော မီးဖိုကိုင်တွယ်မှုအစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်ရန် တိကျသောထုတ်လုပ်မှုကျွမ်းကျင်မှုနှင့်အတူ။ SiC Ceramic Paddle တိုင်းသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ယုံကြည်စိတ်ချရမှု၊ အတိုင်းအတာ လိုက်လျောညီထွေရှိမှုနှင့် အပူပိုင်းပတ်ဝန်းကျင်တွင် ရေရှည်ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုအောက်တွင် ထုတ်လုပ်ထားသည်။
ရှိပြီးသား မီးဖိုအစိတ်အပိုင်းများကို အစားထိုးခြင်း သို့မဟုတ် စက်ကိရိယာပလပ်ဖောင်းအသစ်များ ဖော်ဆောင်ခြင်းပဲဖြစ်ဖြစ်၊ Semicorex သည် သုံးစွဲသူ၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များနှင့် အံဝင်ခွင်ကျရှိသော စိတ်ကြိုက်ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးဆောင်ပါသည်။
---
Semicorex SiC Ceramic Paddles များသည် အပူချိန်မြင့်သော မီးဖိုအသုံးပြုမှုတွင် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းအတွက် အားကိုးရလောက်သော ဖြေရှင်းချက်တစ်ခု ပေးစွမ်းပါသည်။ မှထုတ်လုပ်သည်။သန့်စင်မြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်တောင့်တင်းသော cantilever ဒီဇိုင်းဖြင့် တီထွင်ထားပြီး ၎င်းတို့သည် ထူးခြားသော အပူတည်ငြိမ်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားကို ပေးစွမ်းသည်။ လုံခြုံသော wafer သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနှင့် အလွန်အမင်း စီမံဆောင်ရွက်သည့် အခြေအနေများအောက်တွင် အတိုင်းအတာ တိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းခြင်းဖြင့်၊ ဤလှော်ကားများသည် ထုတ်လုပ်မှု ထိရောက်မှု၊ ပိုမိုကောင်းမွန်သော လုပ်ငန်းစဉ် ညီညွတ်မှုနှင့် သက်တမ်းရှည် စက်ကိရိယာ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းတို့ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။