Semicorex ၏ ICP Silicon Carbon Coated Graphite သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ပါးလွှာသော ဖလင်စုဆောင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို တောင်းဆိုရန်အတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်၊ အပူတူညီမှုပင်၊ နှင့် အကောင်းဆုံးသော laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံများရှိသည်။
epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်အသုံးပြုသော Wafer သယ်ဆောင်သူများသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။ Semicorex ICP Silicon Carbon Coated Graphite susceptors များကို ဤတောင်းဆိုနေသော epitaxy စက်ကိရိယာဆိုင်ရာ အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် အထူးဖန်တီးထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် အင်ဂျင်နီယာချုပ်လုပ်ထားပြီး အသက်ရှည်မှုနှင့် အကောင်းဆုံးရလဒ်များကို သေချာစေသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ ICP Silicon Carbon Coated Graphite သည် အပူပရိုဖိုင်၏ ညီညာမှုကို သေချာစေရန် အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်တွင် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန် ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးရန် ကူညီပေးသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ ICP Silicon Carbon Coated Graphite အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
ICP Silicon Carbon Coated Graphite ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
ICP Silicon Carbon Coated Graphite ၏ အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- မြင့်မားသော အပူချိန် ကလိုရင်းအခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။