ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ထုတ်လုပ်သည့်အနေဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့သည် သင့်အား Semiconductor အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးလိုပါသည်။ Semicorex သည် semiconductor processing တွင် ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် သင်၏လုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာများသည် အလွန်သိပ်သည်းပြီး အပူချိန်မြင့်မားပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer နှင့် wafer ပြုပြင်ခြင်းနှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းတစ်ခုလုံးတွင် မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိပါသည်။
သန့်စင်မှုမြင့်မားသော SiC coated အစိတ်အပိုင်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာရှိ လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အရေးကြီးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကမ်းလှမ်းချက်သည် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားလာနေသော အပူပိုင်းဇုန်များအတွက် ဂရပ်ဖိုက်စားသုံးနိုင်သောပစ္စည်းများမှသည် Epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD အတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ခံစုပ်ကိရိယာများကဲ့သို့သော wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တိကျမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများအထိ ပါဝင်သည်။
semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အားသာချက်များ
epitaxy သို့မဟုတ် MOCVD ကဲ့သို့ ပါးလွှာသော ဖလင် စုဆောင်းခြင်း အဆင့်များ သို့မဟုတ် etching သို့မဟုတ် ion implant ကဲ့သို့သော wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။ Semicorex သည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) coated graphite တည်ဆောက်မှုတွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ တသမတ်တည်း epi layer အထူနှင့် ခံနိုင်ရည်အတွက် အပူတူညီမှုပင်။
အခန်းဖုံးများ
ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းတွင်အသုံးပြုသည့် Chamber Lids များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိရပါမည်။
အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု âυ¹
End effector သည် wafer processing equipment နှင့် carriers များကြားရှိ semiconductor wafer များကို ရွေ့လျားပေးသည့် စက်ရုပ်၏လက်ဖြစ်သည်။
အဝင်သံကွင်းများ
MOCVD စက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားသော SiC ဓာတ်ငွေ့အဝင်အဝိုင်းသည် မြင့်မားသောအပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အလွန်အမင်းတည်ငြိမ်မှုရှိသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်ရှိသည်။
အာရုံစူးစိုက်ကွင်း
Semicorex သည် Silicon Carbide Coated focus ring သည် RTA၊ RTP သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုသန့်ရှင်းရေးအတွက် အမှန်တကယ်တည်ငြိမ်သည်။
Wafer Chuck -
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks သည် wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC coated ဖြစ်သည်။
ဖြန့်ကျက်မီးဖိုများအတွက် Semicorex လုပ်ငန်းစဉ်ပြွန်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာများထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးပြုသည့် အထူးပြုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် ၎င်းတို့၏ လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို ပြုပြင်မွမ်းမံရန်အတွက် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers အတွင်းသို့ အညစ်အကြေးများကို ဖြန့်ကျက်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ထိန်းချုပ်ထားသော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။SiC Process Tube သည် wafer လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် အပူကုသမှုအတွက် ပြွန်ပုံသဏ္ဍာန် ဓာတ်ပေါင်းဖိုတစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex CVD-SiC ရေချိုးခန်းခေါင်းသည် ကြာရှည်ခံမှု၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီမံခန့်ခွဲမှုနှင့် ဓာတုပျက်စီးခြင်းမှ ခံနိုင်ရည်တို့ကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် CVD လုပ်ငန်းစဉ်များတောင်းဆိုရန်အတွက် သင့်လျော်သောရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်စေသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။wafers ပေါ်ရှိ ပစ္စည်းများ၏ etching and chemical vapor deposition (CVD) အတွက် ပလာစမာယန္တရားတွင်၊ ဖြစ်စဉ်ဓာတ်ငွေ့များကို CVD SiC coated graphite shower head မှတဆင့် process chamber သို့ ပေးဆောင်ပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex silicon carbide cantilever paddle သည် အမျိုးမျိုးသော အပူပိုင်းလုပ်ဆောင်ခြင်းဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် မီးဖိုများတွင်အသုံးပြုသည့် အထူးပြုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ကြီးမားသော wafer loading force silicon carbide SiC ceramic cantilever paddle သည် တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်၊ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ပုံပျက်မသွားဘဲ ကြီးမားသော wafer loading force ကြောင့် စက်ရုပ်အလိုအလျောက်တင်ခြင်းနှင့် ကိုင်တွယ်ခြင်းစနစ်အတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ Semicorex သည် အရည်အသွေးပြည့်မီသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။