Silicon Etching Rings

Silicon etching rings များသည် CCP/ICP etch equipment ၏ ပလာစမာ etch chamber အတွင်းရှိ မရှိမဖြစ် အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်ပြီး ပုံမှန်အားဖြင့် semiconductor wafer ပတ်လည်တွင် ထားရှိကြသည်။ ၎င်းတို့၏အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်များမှာ semiconductor wafer ကိုထောက်ပံ့ပေးရန်၊ တူညီသောပလာစမာဖြန့်ဖြူးမှုကိုထိန်းသိမ်းရန်၊ wafer အစွန်းများကိုကာကွယ်ရန်နှင့် ထို့ကြောင့်ပလာစမာ etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွက်အကောင်းဆုံးလည်ပတ်မှုအခြေအနေများကိုဖန်တီးရန်ဖြစ်သည်။

Semicorex ဆီလီကွန် etching rings ၏ အားသာချက်များ

1. ပရီမီယံပစ္စည်းရွေးချယ်မှု

Semicorex ဆီလီကွန် ထွင်းဖောက်ကွင်းများကို ဂရုတစိုက်ရွေးချယ်ထားသော သန့်စင်မြင့် MCZ မှ ထုတ်လုပ်ပါသည်။monocrystalline ဆီလီကွန်သမားရိုးကျ CZ monocrystalline silicon ထက် အောက်ပါကောင်းမွန်သော ဂုဏ်သတ္တိများကို ပေးဆောင်သည်။

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု: သန့်စင်မှုသည် 99.9999999% ထက်ကျော်လွန်နေသောကြောင့် Semicorex silicon etching rings တွင် အညစ်အကြေးလုံးဝမပါဝင်ပါ။ အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုသည် etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း အစိတ်အပိုင်းအညစ်အကြေးများမှ အနှောင့်အယှက်များကို ထိရောက်စွာ ရှောင်ရှားနိုင်ပြီး မြင့်မားသော etching တိကျမှုကို အာမခံပါသည်။

တည်ငြိမ်ဖွဲ့စည်းပုံ: MCZ monocrystalline silicon သည် သမားရိုးကျ CZ monocrystalline silicon ထက် ချို့ယွင်းချက်နည်းပါးသော သာလွန်ကောင်းမွန်သော သလင်းကျောက်ဖွဲ့စည်းပုံပါရှိသည်။ ဤတည်ငြိမ်သောသလင်းကျောက်ဖွဲ့စည်းပုံသည် Semicorex ဆီလီကွန် ထွင်းထုခြင်းကွင်းများကို ပလာစမာချေးခံနိုင်ရည်အား တိုးမြှင့်ပေးပြီး ၎င်းတို့အား ကြမ်းတမ်းသော ထွင်းထုခြင်းဆိုင်ရာ အခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပါသည်။

အလွန်ကောင်းမွန်သော ခံနိုင်ရည် တူညီမှု-Semicorex ဆီလီကွန် ခြစ်ခြင်းကွင်းများRRG < 5% ဖြင့် ထူးခြားသော ခုခံမှု တူညီမှုကို ပေးစွမ်းသည်။ Res နိမ့် (<0.02 Ω·cm)၊ အလယ်အလတ် Res။ (0.2–25 Ω·cm), မြင့်မားသော Res ။ (> 100 Ω·စင်တီမီတာ)။ ဤကောင်းမွန်သော ခံနိုင်ရည် တူညီမှုသည် အလွန်မြင့်မားသော သို့မဟုတ် နိမ့်ကျသော ခုခံနိုင်မှု ကြောင့် ဖြစ်သော မညီညာသော ပလာစမာ ဖြန့်ဖြူးမှုကို လျှော့ချနိုင်သည်၊ ၎င်းသည် တိကျမှု မြင့်မားသော ပလာစမာ ထုတ်ယူမှုအတွက် စံပြလျှပ်စစ်စက်ကွင်းကို ပံ့ပိုးပေးသည်။

2. တိကျစွာလုပ်ဆောင်ခြင်းနှင့် တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးစစ်ဆေးခြင်း။

Semicorex သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ တန်ဖိုးရှိသော သုံးစွဲသူများအတွက် ပုဂ္ဂိုလ်ရေးသီးသန့် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်းနှင့် နည်းပညာဆိုင်ရာ အကဲဖြတ်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်သည့် အတွေ့အကြုံရှိသော နည်းပညာအဖွဲ့တစ်ခုရှိပြီး ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို အာမခံရန်အတွက် စနစ်တကျ လုပ်ဆောင်ခြင်းနှင့် စစ်ဆေးခြင်းဆိုင်ရာ လုပ်ထုံးလုပ်နည်းများကိုလည်း ချမှတ်ထားသည်။

လိုက်လျောညီထွေရှိသော စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်းဝန်ဆောင်မှုများ- Semicorex သည် ဝယ်ယူသူပုံများပေါ်တွင် အခြေခံ၍ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ နှင့် ဆီလီကွန်ထွင်းခြင်းကွင်းများ၏ အများဆုံးစိတ်ကြိုက်အချင်းသည် 470 မီလီမီတာအထိ ရှိနိုင်သည်။

အဆင့်အတန်းမြင့်သော မျက်နှာပြင် ကုသမှု- ပွတ်တိုက်ခြင်း တိကျမှုကို Ra < 0.1 µm အတွင်း တင်းကြပ်စွာ ထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး ကြိတ်ခွဲခြင်းဖြင့် မျက်နှာပြင် မျက်နှာပြင်ကို Ra > 0.1 µm ရရှိသည်။

တင်းကျပ်သော အရည်အသွေး စစ်ဆေးခြင်း- အတိုင်းအတာ တိုင်းတာခြင်း၊ ခံနိုင်ရည်ရှိမှု စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် အမြင်အာရုံ စစ်ဆေးခြင်းတို့ကို ဆီလီကွန် ထွင်းထုခြင်းကွင်းများသည် ချစ်ပ်များ၊ ခြစ်ရာများ၊ အက်ကွဲကြောင်းများ၊ အစွန်းအထင်းများနှင့် အခြားချို့ယွင်းချက်များ ကင်းစင်ကြောင်း သေချာစေရန် ပြုလုပ်မည်ဖြစ်သည်။