Planetary Disk

Planetary Disk သည် Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) မီးဖိုများအတွင်း Molecular Beam Epitaxy (MBE) လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော တော်လှန်ရေး wafer carrier နှင့် susceptor ဖြစ်သည်။ အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများမှ ဖန်တီးထားသည့် Planetary Disk သည် သင့်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုကို အမြင့်အသစ်သို့ မြှင့်တင်ရန် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ဖြစ်သည်။

Planetary Disk ကို CVD SiC coated graphite ဖြင့် စေ့စပ်သေချာစွာ ဖန်တီးထားပြီး ထူးခြားသော အပူတည်ငြိမ်မှု၊ မြင့်မားသော သန့်စင်မှုနှင့် အပူချိန်လွန်ကဲမှုတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပါသည်။ ဤအဆင့်မြင့်ပစ္စည်းဖွဲ့စည်းမှုသည် MOCVD ပတ်၀န်းကျင်တွင် တောင်းဆိုနေသော ပိုမိုကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အသက်ရှည်မှုကို အာမခံပါသည်။

ဂရပ်ဖိုက်အလွှာပေါ်ရှိ CVD SiC coating သည် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်။ ဤအင်္ဂါရပ်သည် wafer တစ်လျှောက်ရှိ တသမတ်တည်း အပူချိန်ပရိုဖိုင်များကို သေချာစေရုံသာမက အပူဖိစီးမှုကို လျှော့ချပေးပြီး အလုံးစုံအထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

Planetary Disk ကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ထားပြီး၊ ကျယ်ပြန့်သော semiconductor wafer အရွယ်အစားများနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်ပြီး အမျိုးမျိုးသော ထုတ်လုပ်မှုလိုအပ်ချက်များအတွက် စွယ်စုံရဖြေရှင်းချက်တစ်ခု ဖြစ်လာသည်။ MOCVD မီးဖိုများ၏ ပြင်းထန်သော တောင်းဆိုချက်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားသည့် Planetary Disk သည် ထူးခြားသောကြာရှည်ခံမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပြသထားသည်။ ၎င်း၏ခိုင်ခံ့သောတည်ဆောက်မှုသည် wafer carriers များနှင့် susceptors များနှင့်ဆက်စပ်သောစက်ရပ်ချိန်နှင့်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကုန်ကျစရိတ်များကိုလျှော့ချခြင်းဖြင့်ကြာရှည်စွာစွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေသည်။