Semicorex MOCVD Wafer Carriers သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ထိပ်တန်းလိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသောပစ္စည်းသည် အရည်အသွေးမြင့် wafers များကိုပေးဆောင်သည့်အပူပရိုဖိုင်နှင့် laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုပင်သေချာစေသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ MOCVD Wafer Carriers များသည် အလွန်သန့်စင်ပြီး အပူချိန်မြင့်မားသော ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် ထုတ်ကုန်၏တစ်ပြေးညီနှင့်တစ်သမတ်တည်းဖြစ်မှုကိုသေချာစေသည်။ အက်ဆစ်၊ အယ်လကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် သေးငယ်သော အမှုန်အမွှားများဖြင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။ ၎င်း၏အပူချိန်မြင့်မားသောဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုခုခံမှု 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိမြင့်မားသောအပူချိန်တွင်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေသည်။
Semiconductor လုပ်ငန်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ MOCVD Wafer Carriers အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
Semiconductor လုပ်ငန်းအတွက် MOCVD Wafer Carriers များ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းမှု |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
MOCVD အတွက် SiC Coated Graphite Susceptor ၏ အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု- မြင့်မားသောအပူချိန် ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့်ပြုလုပ်သည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းခြင်း သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။