Semicorex MOCVD Wafer Carriers သည် Semiconductor Industry အတွက် ထိပ်တန်း ကယ်ရီယာ တစ်ခုဖြစ်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ထိပ်တန်းဝန်ဆောင်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသောပစ္စည်းသည် အရည်အသွေးမြင့် wafers များကိုပေးဆောင်သည့်အပူပရိုဖိုင်နှင့် laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုပင်သေချာစေသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ MOCVD Wafer Carriers များသည် အလွန်သန့်စင်ပြီး အပူချိန်မြင့်မားသော ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအခိုးအငွေ့များ စုပုံလာသဖြင့် ထုတ်ကုန်၏ တစ်ပြေးညီနှင့် လိုက်လျောညီထွေရှိမှုတို့ကို သေချာစေသည်။ အက်ဆစ်၊ အယ်လကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် သေးငယ်သော အမှုန်အမွှားများဖြင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။ ၎င်း၏အပူချိန်မြင့်မားသောဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုခုခံမှု 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိမြင့်မားသောအပူချိန်တွင်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေသည်။
Semiconductor လုပ်ငန်းအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ MOCVD Wafer Carriers အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
Semiconductor လုပ်ငန်းအတွက် MOCVD Wafer Carriers များ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
MOCVD အတွက် SiC Coated Graphite Susceptor ၏ အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- မြင့်မားသော အပူချိန် ကလိုရင်းအခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။