Inductively-Coupled Plasma (ICP)

Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် Semicorex ၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor ကို epitaxy နှင့် MOCVD ကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်သော wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ တည်ငြိမ်ပြီး အပူချိန် 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိရှိသော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများသည် အပူပရိုဖိုင်းများ၊ laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံများကိုပင် သေချာစေပြီး ညစ်ညမ်းခြင်း သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပါသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

အပူချိန်မြင့်မားပြီး ကြမ်းတမ်းသောဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များကို ကိုင်တွယ်နိုင်သည့် wafer carrier လိုအပ်ပါသလား။ Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် Semicorex ၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor ထက် ပိုမကြည့်ပါနဲ့။ ကျွန်ုပ်တို့၏ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများသည် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ အပူတူညီမှုနှင့် တာရှည်ခံဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်တို့ကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ကောင်းမွန်သော SiC crystal coating ပါရှိသည်။
Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC susceptor အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် susceptor ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β အဆင့်
သိပ်သည်းမှု	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	µm	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
Heat Capacity ၊	J kg-1 K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300