Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် Semicorex ၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor ကို epitaxy နှင့် MOCVD ကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်သော wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ တည်ငြိမ်ပြီး အပူချိန် 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိရှိသော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ သယ်ဆောင်သူများသည် အပူပရိုဖိုင်းများ၊ laminar ဓာတ်ငွေ့ စီးဆင်းမှုပုံစံများကိုပင် သေချာစေပြီး ညစ်ညမ်းခြင်း သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးပါသည်။
အပူချိန်မြင့်မားပြီး ကြမ်းတမ်းသောဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များကို ကိုင်တွယ်နိုင်သည့် wafer carrier လိုအပ်ပါသလား။ Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် Semicorex ၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor ထက် ပိုမကြည့်ပါနဲ့။ ကျွန်ုပ်တို့၏ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများသည် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ အပူတူညီမှုနှင့် တာရှည်ခံဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်တို့ကို ပေးစွမ်းနိုင်သော ကောင်းမွန်သော SiC crystal coating ပါရှိသည်။
Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC susceptor အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် susceptor ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
Inductively-Coupled Plasma (ICP) အတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor ၏ အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု- မြင့်မားသောအပူချိန် ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့်ပြုလုပ်သည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။